一种多晶铸锭炉及其定向凝固装置、多晶铸锭方法.pdf
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一种多晶铸锭炉及其定向凝固装置、多晶铸锭方法.pdf
本申请公开了一种定向凝固装置,包括第一保温板、第二保温板和旋转部件;所述第一保温板和所述第二保温板的形状完全相同,且表面设置有多个同心圆环区域,每个所述同心圆环区域上等间隔地设置有多个大小相同的通孔区域,每个所述同心圆环区域上相邻的两个通孔区域之间的实体区域与所述通孔区域的形状相同;所述第一保温板固定在石墨支持平台的下部;所述第二保温板与所述旋转部件固定连接,且所述第二保温板的上表面紧邻所述第一保温板的下表面,且所述第二保温板上的通孔区域相对于所述第一保温板上的通孔区域可选择的完全重合、部分重合或分离。本
多晶铸锭炉及其热门装置.pdf
本发明公开了一种热门装置,包括:第一热门装置,其具有至少两个相对设置的第一门体;驱动各个第一门体相向或相离运动的第一驱动装置;设置于第一热门装置下侧的第二热门装置,且该第二热门装置的开启方向与第一热门装置的开启方向具有夹角,其具有至少两个相对设置的第二门体;驱动各个第二门体相向或相离运动的第二驱动装置。本发明通过错层式的至少两个热门装置,使得两个热门同时开启时,开启区域由中间逐渐向四周扩展,形成了一个开度能控制的温度传导区域,使晶体生长更加符合工艺要求。本发明有效地控制晶体生长区域的温度梯度,控制温度辐射
一种多晶硅铸锭炉及其铸锭方法.pdf
本发明公开了一种多晶硅铸锭炉及其铸锭方法,涉及制备具有一定结构的均匀多晶硅装置技术领域。所述铸锭炉包括炉体隔热层、顶部加热器、石英坩埚、散热台和散热窗口,还包括底部加热器,所述底部加热器位于所述散热台的下侧。底部加热器同顶部加热器采用独立变压器控制,同顶部加热器区分开来调整,底部加热器额定功率在5kw至100kw,在铸锭炉运行过程中的加热、熔化段开启,硅液结晶过程中完全关闭,从而在硅料熔化迅速提高坩埚底部硅料温度,减小硅料熔化时长,提高铸锭炉产能。
多晶铸锭炉铸锭容量调节装置.pdf
一种多晶铸锭炉铸锭容量调节装置,包括下炉体的座套、石墨立柱、石墨下固定板和定向凝固块,石墨立柱包括下固定调节套和上调节柱,下固定调节套的下段套装在座套中,在下固定调节套的上端设有内螺纹孔,上调节柱为上小下大的台阶同心轴,下段为设有外螺纹配柱体,上调节柱的下段外螺纹旋接在下固定调节套的内螺纹孔中,石墨下固定板套装在石墨立柱的上调节柱上,由石墨立柱的上台阶轴向限位,上调节柱的上端套装在定向凝固块下端设有的定位孔中。由于石墨立柱高度方向可调,使定向凝固块在高度方向可调,使现有的多晶铸锭炉具备铸锭有效容量增大的技
一种多晶铸锭炉散热平台以及多晶铸锭炉.pdf
本发明公开了一种多晶铸锭炉散热平台,包括从上到下依次设置的底板和定向导热块,还包括设置在底板顶部和/或底板与定向导热块之间的横向导热板,横向导热板为导热碳纤维经纬编制而成的横向导热板。除此之外,本发明还公开了一种多晶铸锭炉,包括坩埚和如上的多晶铸锭炉散热平台,坩埚设置在多晶铸锭炉散热平台的顶部。所述多晶铸锭炉以及多晶铸锭炉散热平台,通过在底板顶部和/或底板与定向导热块之间设置横向导热板,而横向导热板为导热碳纤维经纬编制而成的横向导热板,使得多晶铸锭炉的坩埚底部的横向热传导速率远大于竖直热传导速率,有利于使