多晶铸锭炉及其热门装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN102828228A*(12)发明专利申请(10)申请公布号CN102828228A(43)申请公布日2012.12.19(21)申请号201110162388.1(22)申请日2011.06.16(71)申请人浙江昱辉阳光能源有限公司地址314117浙江省嘉兴市嘉善县姚庄镇工业园区(72)发明人汤旋(74)专利代理机构北京集佳知识产权代理有限公司11227代理人逯长明(51)Int.Cl.C30B11/00(2006.01)C30B28/06(2006.01)C30B29/06(2006.01)权利要求书权利要求书1页1页说明书说明书55页页附图附图44页(54)发明名称多晶铸锭炉及其热门装置(57)摘要本发明公开了一种热门装置，包括：第一热门装置，其具有至少两个相对设置的第一门体；驱动各个第一门体相向或相离运动的第一驱动装置；设置于第一热门装置下侧的第二热门装置，且该第二热门装置的开启方向与第一热门装置的开启方向具有夹角，其具有至少两个相对设置的第二门体；驱动各个第二门体相向或相离运动的第二驱动装置。本发明通过错层式的至少两个热门装置，使得两个热门同时开启时，开启区域由中间逐渐向四周扩展，形成了一个开度能控制的温度传导区域，使晶体生长更加符合工艺要求。本发明有效地控制晶体生长区域的温度梯度，控制温度辐射量，减少热能的消耗，达到节省电能的目的。本发明还公开了一种具有上述热门装置的多晶铸锭炉。CN1028ACN102828228A权利要求书1/1页1.一种热门装置，用于多晶铸锭炉，其特征在于，包括：第一热门装置，其具有至少两个相对设置的第一门体；驱动各个所述第一门体相向或相离运动的第一驱动装置；设置于所述第一热门装置下侧的第二热门装置，且该第二热门装置的开启方向与所述第一热门装置的开启方向具有夹角，其具有至少两个相对设置的第二门体；驱动各个所述第二门体相向或相离运动的第二驱动装置。2.如权利要求1所述的热门装置，其特征在于，所述第一门体和所述第二门体均为两个，所述第二热门装置的开启方向与所述第一热门装置的开启方向夹角为90°。3.如权利要求1所述的热门装置，其特征在于，还包括：第一热门运动轨道，所述第一门体滑动配合在所述第一热门运动轨道上；第二热门运动轨道，所述第二门体滑动配合在所述第二热门运动轨道上。4.如权利要求1所述的热门装置，其特征在于，还包括：控制所述第一门体的开启位置和关闭位置的第一限位开关；控制所述第二门体的开启位置和关闭位置的第二限位开关。5.如权利要求1所述的热门装置，其特征在于，所述第一热门装置和所述第二热门装置上均设有计算其移动长度的长度编码器。6.如权利要求1所述的热门装置，其特征在于，所述第一驱动装置包括：第一驱动马达；与所述第一驱动马达相连，且轴向定位的第一丝杆；与所述第一门体相连的第一驱动杆，该第一驱动杆上设有第一移动板，所述第一移动板上设有与所述第一丝杆螺纹连接的第一螺母。7.如权利要求6所述的热门装置，其特征在于，所述第二驱动装置包括：第二驱动马达；与所述第二驱动马达相连，且轴向定位的第二丝杆；与所述第二门体相连的第二驱动杆，该第二驱动杆上设有第二移动板，所述第二移动板上设有与所述第二丝杆螺纹连接的第二螺母。8.如权利要求7所述的热门装置，其特征在于，还包括：套设在所述第一驱动杆，且分别与所述第一移动板和炉体相连的第一焊接式压缩波纹管；套设在所述第二驱动杆，且分别与所述第二移动板和炉体相连的第二焊接式压缩波纹管。9.如权利要求1-8任一项所述的热门装置，其特征在于，所述第一门体和所述第二门体均包括隔热门体和包覆在该隔热门体外侧的钼材质框架。10.一种多晶铸锭炉，包括热门装置，其特征在于，所述热门装置为如权利要求1-9任一项所述的热门装置。2CN102828228A说明书1/5页多晶铸锭炉及其热门装置技术领域[0001]本发明涉及硅片加工技术领域，特别涉及一种多晶铸锭炉及其热门装置。背景技术[0002]目前，全球能源越来越紧张，太阳能作为新能源已取得大量应用，光伏行业迅猛发展，其中，晶体生长技术一直是硅片加工中的主要环节。[0003]如图1所示，太阳能电池硅片从结构上有多晶和单晶两类，其中多晶硅片因其制造成本低于单晶硅片而逐渐成为行业发展的主流。目前普遍采用的多晶铸锭炉的热场控制方式为将原生硅放置在一个方形的保温槽1中，通过上下布置的加热器4对多晶硅进行加热，在加热器4外部设置有保温隔热体2。结晶过程时，底部相对设置的两个热门3通过驱动装置6完全打开，利用热场底部的冷却装置5进行冷却降温，进而热场形成一定温度梯度，使硅液进行由下至上的晶体生长。[0004]热门3呈对开的方式打开后，下部的加热器4产生的热量与冷却装置5进行热交换，强迫降低温度，温度控制在一