单晶硅生长炉真空尾气自动除尘装置.pdf
Jo****63
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单晶硅生长炉真空尾气自动除尘装置.pdf
本发明公开了一种单晶硅生长炉真空尾气自动除尘装置,组成包括主罐体、主罐体上盖、毛刷固定架、毛刷、丝杆升降器、进出口管道组件、储气罐;所述过滤罐内含有滤芯、毛刷,主罐体上盖设有毛刷旋转机构;所述上盖提升机构,包含丝杆升降器、提升架。主罐体与丝杆升降器连接,丝杆升降器与提升架连接,提升架与主罐体上盖连接;所述储气罐与脉冲阀连接,脉冲阀与主罐体之间通过波纹管连接;所述进出口管道组件中出气接口与真空泵连接,应急接口与备用的自动清灰除尘罐连接。炉内的毛刷做间歇旋转运动,清理滤芯表面粉尘。又用储气罐内的气体喷吹除尘罐
连续加料直拉单晶炉真空尾气自动除尘装置.pdf
本发明涉及连续加料直拉单晶炉领域,尤其涉及连续加料直拉单晶炉真空尾气自动除尘装置,包括有细粉尘收集箱、环形支撑架、过滤筒、开槽连接架、开槽过滤箱等;细粉尘收集箱顶面固定安装有环形支撑架,环形支撑架上固定安装有过滤筒,过滤筒顶部固接有开槽连接架,开槽连接架顶面固定安装有开槽过滤箱。通过设置的过滤网框,连续加料直拉单晶炉产生的尾气会进入开槽过滤箱内后,过滤网框能够对气体进行过滤,气体中大量的粉尘和颗粒物被过滤网框阻挡向下掉落,使得气体与粉尘和颗粒物分离。
单晶硅生长炉真空支持系统.pdf
一种单晶硅生长炉真空支持系统,包括:主炉腔、主真空泵、辅真空泵、主阀、辅阀、隔离阀和上炉腔,其中:主炉腔由主阀与主真空泵相连,由隔离阀与上炉腔相连,上炉腔由辅阀与辅真空泵相连。本发明在主真空支持存在故障时,可使用辅真空支持,安全性更高。
尾气过滤装置及单晶炉真空系统.pdf
本发明公开的尾气过滤装置,其罐体上分别设有进气口和出气口,罐体内设有浸入过滤油内的第一过滤部和第二过滤部,第二过滤部环绕设置于第一过滤部的周围且位于第一过滤部靠近过滤油液面的一侧。本发明公开的单晶炉真空系统,包括单晶炉、真空泵以及尾气过滤装置,尾气过滤装置连接于单晶炉和真空泵之间。本发明的尾气过滤装置利用两个过滤部对进入的尾气进行分流,使带有杂质的尾气与过滤油充分地接触使得杂质润湿后进入过滤油中,并沉入罐体底部。本发明的单晶炉真空系统在单晶炉与真空泵之间设置尾气过滤装置,该尾气过滤装置可过滤吸收尾气中的大
单晶硅生长炉.pdf
本发明公开了一种单晶硅生长炉,其特征在于在石墨坩埚口上设有分流导流筒,且在主加热器周围设有竖直分流筒,使氩气气流被竖直分流筒分隔成两股,一股进入竖直分流筒内经过主加热器排出腔体,另一股直接从竖直分流筒外排出腔体;并可通过排气阀门调整两股气流的流量,从而调整热场的分布以及减少热量散失。本发明的单晶硅生长炉,能显著降低功耗,缩短晶锭生长周期,降低生产成本。