连续加料直拉单晶炉真空尾气自动除尘装置.pdf
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相关资料
连续加料直拉单晶炉真空尾气自动除尘装置.pdf
本发明涉及连续加料直拉单晶炉领域,尤其涉及连续加料直拉单晶炉真空尾气自动除尘装置,包括有细粉尘收集箱、环形支撑架、过滤筒、开槽连接架、开槽过滤箱等;细粉尘收集箱顶面固定安装有环形支撑架,环形支撑架上固定安装有过滤筒,过滤筒顶部固接有开槽连接架,开槽连接架顶面固定安装有开槽过滤箱。通过设置的过滤网框,连续加料直拉单晶炉产生的尾气会进入开槽过滤箱内后,过滤网框能够对气体进行过滤,气体中大量的粉尘和颗粒物被过滤网框阻挡向下掉落,使得气体与粉尘和颗粒物分离。
单晶硅生长炉真空尾气自动除尘装置.pdf
本发明公开了一种单晶硅生长炉真空尾气自动除尘装置,组成包括主罐体、主罐体上盖、毛刷固定架、毛刷、丝杆升降器、进出口管道组件、储气罐;所述过滤罐内含有滤芯、毛刷,主罐体上盖设有毛刷旋转机构;所述上盖提升机构,包含丝杆升降器、提升架。主罐体与丝杆升降器连接,丝杆升降器与提升架连接,提升架与主罐体上盖连接;所述储气罐与脉冲阀连接,脉冲阀与主罐体之间通过波纹管连接;所述进出口管道组件中出气接口与真空泵连接,应急接口与备用的自动清灰除尘罐连接。炉内的毛刷做间歇旋转运动,清理滤芯表面粉尘。又用储气罐内的气体喷吹除尘罐
一种直拉单晶炉加料装置.pdf
本发明公开一种直拉单晶炉加料装置,包括加料筒,所述加料筒上设有加料口、出料口,所述加料筒内设有控制杆,所述控制杆顶端设有手柄,控制杆上设有调节阀,控制杆底部设有锥形阀。优选的,所述出料口与锥形阀的尺寸相吻合。优选的,所述调节阀设有调节螺栓。优选的,所述调节螺栓个数为4。
单晶炉自动定量真空加料系统.pdf
本发明公开了一种单晶炉自动定量真空加料系统,包括储料罐,所述储料罐的上端设置计量仓,所述计量仓的上方设置加料仓,所述加料仓的侧面卡接吸料管,所述吸料管的另一端卡接储料罐,所述加料仓的顶部卡接吸料管,所述吸料管的另一端卡接过滤器,所述过滤器通过连接管连通旋涡气泵,所述储料罐内设置主料加料模块,所述计量仓内设置小料加料模块,所述加料仓内设置真空上料模块,所述主料加料模块、小料加料模块和真空上料模块均电性连接PLC控制器,所述PLC控制器电性连接控制屏。该装置能够实现了单晶炉原料的自助定量加料,可以稳定,可靠的
单晶炉及其连续加料装置.pdf
本发明涉及一种单晶炉的连续加料装置,包括:外壳体,设有加料口及起吊接口;支架,固定于外壳体内;料斗,支撑于支架,料斗的底部设有出料口;加料管,上端口位于外壳体内,下端口伸出外壳体的底部;硅料输送装置,位于外壳体内,与出料口及加料管的上端口之间均密封连接;掺杂管,一端位于外壳体的外部,另一端位于加料管的上端口的上方,并与加料管的上端口密封连接;及定位销,固定于外壳体的底部。外壳体可安装至单晶炉的立柱并通过定位销定位,从而能够快速连接至炉体,且硅料输送装置与出料口及加料管之间均密封连接,能在封闭环境下实现连续