一种功能性碳毡整体成型的单晶硅生长炉导流筒制备方法.pdf

本发明是一种功能性碳毡整体成型的单晶硅生长炉导流筒制备方法，其特点是：包括如下步骤：功能性碳毡预处理；配制环氧树脂胶黏剂和酚醛树脂胶黏剂；功能性碳毡的预浸料制备；胎具制备；裁剪功能性碳毡；制作导流筒预制体；树脂固化和树脂碳化处理；机械加工；表面涂层制备。利用本发明可以彻底解决传统石墨导流筒的“掉锅”现象；一次安装到位，无需反复拆装；降低热场热量散失和运行功率；提高拉晶速度和晶棒成品率；提高导流筒表面的热稳定性、抗气流和颗粒性物质冲刷性能。具有减少热场热量散失、减轻导流筒重量，增加导流筒表面强度的优点。

2023-06-19

10

770KB

一种优化的碳毡整体成型单晶硅生长炉导流筒制备方法.pdf

本发明是一种优化的碳毡整体成型单晶硅生长炉导流筒制备方法，其特点是：包括如下步骤：功能性碳毡预处理；配制环氧树脂胶黏剂和酚醛树脂胶黏剂；功能性碳毡的预浸料制备；胎具制备；制作导流筒预制体；树脂固化和树脂碳化；机械加工；制备表面涂层；碳化致密。利用本发明可以彻底解决传统石墨导流筒的“掉锅”现象；一次安装到位，无需经常拆装；降低热场热量散失和运行功率；进一步提高导流筒表面热稳定性、抗气流和颗粒性物质冲刷性能。具有减少热场热量散失、减轻导流筒重量，增加导流筒表面强度的优点。

2023-06-19

10

707KB

一种直拉硅单晶炉用固化炭毡整体导流筒及其制备方法.pdf

一种直拉硅单晶炉用固化炭毡整体导流筒及其制备方法，该直拉硅单晶炉用固化炭毡整体导流筒包括导流筒耳部（1）、导流筒锥形筒部（2）及表面涂层（3）。其制备方法包括以下步骤：(1)设计和制造导流筒胎具；(2)设计炭毡的形状和尺寸；并据此尺寸裁剪下料；(3)坯体制备；(4)坯体固化；(5)坯体炭化；（6）机加工坯体及组装；（7）表面涂层；（8）涂层固化；（9）化学气相沉积强化处理；（10）高温纯化处理。本发明固化炭毡整体导流筒，能有效地提高整体导流筒在高温使用过程中的保温性能，降低功率节约能耗约10%，降低拉晶成

2023-06-19

10

529KB

单晶硅生长炉钼导流筒及加工工艺.pdf

提供一种单晶硅生长炉钼导流筒及加工工艺。核心就是在钼金属板卷制的锥形筒的侧壁上制有形状统一、大小一致、并均匀分布在侧壁的凹凸形状或同种形状的凸起点，利用光学的慢辐射原理，以导流筒本身锥形形状使导流筒侧壁由于凹凸变形和增大了单位面积，改变导流筒内部高温分布。使得钼导流筒不仅在导流降温方面性能提高，更关键处是导流筒中心高温区(单晶棒所处位置)位移到导流筒内壁附近，降低中心区域的温度,从而达到拉晶速度的提升优化。

2023-06-18

10

505KB

单晶硅生长炉用导流筒及其应用.pdf

本发明提供一种单晶硅生长炉用导流筒。该导流筒包括锥形导流内筒和外筒，内筒和外筒之间具有填充保温碳毡的保温层，外筒与保温层之间设有金属钼或钨制备的隔热层。通过锥形内筒吸收来至晶锭的辐射热，并整流气体冷却晶锭，提高晶锭的轴向温度梯度。同时借助导流筒整流气体，提高气体的流速，降低熔体液面处的SiO分压，从而降低熔体中的氧含量。提高晶锭的品质，加快晶体生长速率，降低生产成本。本发明还提供一种借助该导流筒消除石英坩埚壁多晶颗粒的应用方法。

2023-06-10

10

588KB