一种直拉硅单晶炉用固化炭毡整体导流筒及其制备方法.pdf
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一种直拉硅单晶炉用固化炭毡整体导流筒及其制备方法.pdf
一种直拉硅单晶炉用固化炭毡整体导流筒及其制备方法,该直拉硅单晶炉用固化炭毡整体导流筒包括导流筒耳部(1)、导流筒锥形筒部(2)及表面涂层(3)。其制备方法包括以下步骤:(1)设计和制造导流筒胎具;(2)设计炭毡的形状和尺寸;并据此尺寸裁剪下料;(3)坯体制备;(4)坯体固化;(5)坯体炭化;(6)机加工坯体及组装;(7)表面涂层;(8)涂层固化;(9)化学气相沉积强化处理;(10)高温纯化处理。本发明固化炭毡整体导流筒,能有效地提高整体导流筒在高温使用过程中的保温性能,降低功率节约能耗约10%,降低拉晶成
一种直拉式硅单晶生长炉用导流筒.pdf
本发明公开了一种直拉式硅单晶生长炉用导流筒,包括导流筒本体,导流筒本体为上大下小的锥形筒状结构,导流筒本体的下端部呈环状分布均匀开有多个分流槽。本发明直拉式硅单晶生长炉用导流筒结构简单,设计合理,使用安全,能有效提高硅单晶的生长效率,可广泛适用于直拉式硅单晶生长设备中。
一种直拉硅单晶炉平底导流筒.pdf
本发明提供一种直拉硅单晶炉平底导流筒,包括导流筒侧壁部、导流筒过渡部和导流筒平底部,导流筒侧壁部、导流筒过渡部与导流筒平底部依次连接,其中,导流筒侧壁部、导流筒过渡部与导流筒平底部均为环状结构,导流筒平底部的直径小于导流筒侧壁部的直径,且导流筒平底部与导流筒侧壁部同轴线设置,以便减小硅溶液液面与导流筒之间的间隙。本发明的有益效果是具有导流筒平底部,导流筒与液面缝隙降少,气体流速加快,可快速带走挥发出的氧,可有效降低大尺寸单晶氧含量,提升大尺寸单晶品质。
一种单晶硅直拉炉用炭/炭拼接保温筒及其制造方法.pdf
本发明公开了一种单晶硅直拉炉用炭/炭拼接保温筒,包括N片炭/炭弧瓣,N片炭/炭弧瓣相邻之间通过榫卯连接结构且沿着圆周方向环绕炭/炭拼接保温筒的轴心线连接,相邻之间的炭/炭弧瓣榫卯连接部位上均设置有M个炭/炭销钉,N片炭/炭弧瓣的一侧均设置有榫头,另一侧均设置有榫槽;本发明还公开了一种单晶硅直拉炉用炭/炭拼接保温筒的制造方法,将炭/炭弧瓣的榫头装入相邻炭/炭弧瓣的榫槽中后安装销钉,经制备涂层和纯化得到炭/炭拼接保温筒。本发明采用榫卯连接结构在拼接接缝处形成阻隔,避免了热量和侵蚀气体对拼接裂缝及保温筒外层装置
一种优化的碳毡整体成型单晶硅生长炉导流筒制备方法.pdf
本发明是一种优化的碳毡整体成型单晶硅生长炉导流筒制备方法,其特点是:包括如下步骤:功能性碳毡预处理;配制环氧树脂胶黏剂和酚醛树脂胶黏剂;功能性碳毡的预浸料制备;胎具制备;制作导流筒预制体;树脂固化和树脂碳化;机械加工;制备表面涂层;碳化致密。利用本发明可以彻底解决传统石墨导流筒的“掉锅”现象;一次安装到位,无需经常拆装;降低热场热量散失和运行功率;进一步提高导流筒表面热稳定性、抗气流和颗粒性物质冲刷性能。具有减少热场热量散失、减轻导流筒重量,增加导流筒表面强度的优点。