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一种卧式扩散炉快速降温炉体.pdf
2023-06-19
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宏硕****mo
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本发明公开了一种卧式扩散炉快速降温炉体，包括反应石英管和套设于反应石英管外的电阻炉体，反应石英管外壁与所述电阻炉体内壁之间具有横截面为环形的柱状间隙，柱状间隙的两端均设有密封件以使所述柱状间隙形成封闭的通风通道，电阻炉体上设有向所述通风通道送风的进风口和将所述通风通道内的热风排出的出风口。本发明具有可快速降温功能并可以减少温度波动对半导体制件影响的优点。
2023-06-19
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2023-06-19
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2023-06-19
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