一种快速降温扩散炉及其废气处理方法.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN114877685A(43)申请公布日2022.08.09(21)申请号202210507615.8(22)申请日2022.05.17(71)申请人江苏芯悦电子科技有限公司地址226000江苏省南通市苏锡通科技产业园区清枫路1号内17幢(72)发明人秦有贵辛奇胡凯徐峰杨军闫乐成秦宝宏(51)Int.Cl.F27B17/00(2006.01)F27D17/00(2006.01)B01D46/62(2022.01)H01L31/18(2006.01)权利要求书1页说明书4页附图3页(54)发明名称一种快速降温扩散炉及其废气处理方法(57)摘要本发明涉及一种快速降温扩散炉，包括炉体、滑罩、第一接插管和第二接插管，所述炉体两相对侧均滑动安装有滑罩，一个所述滑罩内侧安装有若干个贯穿炉体的第一接插管，另一个所述所述滑罩内侧安装有若干个贯穿炉体的第二接插管；冷却水经过连接水管和内道进入第一接插管，然后经过第二接插管和内道从连接水管排出，此时第一接插管和第二接插管通过换热栅增大与炉体内气体的接触面积，进而通过循环的冷却水将炉体内热量转移，将内部热气体排出的同时在炉体内部构建若干组散热管用于冷却水旋转，大大提高了降温的效率。CN114877685ACN114877685A权利要求书1/1页1.一种快速降温扩散炉，其特征在于，包括炉体(1)、滑罩(2)、第一接插管(3)和第二接插管(4)，所述炉体(1)两相对侧均滑动安装有滑罩(2)，一个所述滑罩(2)内侧安装有若干个贯穿炉体(1)的第一接插管(3)，另一个所述所述滑罩(2)内侧安装有若干个贯穿炉体(1)的第二接插管(4)，且第二接插管(4)和第一接插管(3)适配，所述炉体(1)顶侧导通安装有换气筒(5)，所述换气筒(5)内部转动安装有转轴(6)，且转轴(6)上安装有若干个扇叶(7)，所述换气筒(5)顶部外侧安装有换气阀(8)；所述滑罩(2)内部开设有与第一接插管(3)和第二接插管(4)导通的内道(13)，所述滑罩(2)外侧底部安装有与内道(13)导通的连接水管(12)。2.根据权利要求1所述的一种快速降温扩散炉，其特征在于，所述炉体(1)顶侧对称安装有支撑板(9)，且支撑板(9)上安装有电机(10)，所述电机(10)输出端安装有螺纹杆(11)，所述螺纹杆(11)贯穿滑罩(2)与炉体(1)侧壁轴承连接，且螺纹杆(11)和滑罩(2)螺纹连接，所述支撑板(9)内侧安装有贯穿滑罩(2)的导杆。3.根据权利要求1所述的一种快速降温扩散炉，其特征在于，所述第一接插管(3)和第二接插管(4)外侧等距离设置有若干个换热栅(15)，所述第一接插管(3)和第二接插管(4)位于炉体(1)内端均安装有密封环(16)，所述炉体(1)侧壁开设有若干个侧孔(14)，且侧孔(14)的直径与换热栅(15)外径相同，且侧孔(14)的直径小于密封环(16)的外径。4.根据权利要求3所述的一种快速降温扩散炉，其特征在于，所述第一接插管(3)内部安装有限位板(17)，且限位板(17)上贯穿安装有调节杆(18)，所述调节杆(18)一端安装有用于限位的挡板(19)，且调节杆(18)另一端安装有与第一接插管(3)管口适配的活塞(20)，所述调节杆(18)外侧套装有弹簧(21)，且弹簧(21)与限位板(17)以及活塞(20)连接。5.根据权利要求3所述的一种快速降温扩散炉，其特征在于，所述第二接插管(4)位于炉体(1)内一端设置有接插座(22)，且接插座(22)侧壁开设有若干个水孔(23)，所述第二接插管(4)内安装有单向阀(24)，所述接插座(22)与第一接插管(3)适配。6.根据权利要求1所述的一种快速降温扩散炉，其特征在于，所述滑罩(2)上安装有齿条臂(25)，所述转轴(6)顶端位于换气筒(5)外侧安装有转齿(26)，且转齿(26)与齿条臂(25)啮合。7.根据权利要求1所述的一种快速降温扩散炉，其特征在于，所述炉体(1)上还安装有废气处理机构，所述废气处理机构包括第一过滤器(28)，且第一过滤器(28)通过废气管(27)与炉体(1)导通连接，所述第一过滤器(28)通过导管依次与第二过滤器(29)以及处理箱(30)连接，所述处理箱(30)内部填充有用于吸收废气中的三氯化磷、偏磷酸和水蒸气的吸收剂。8.根据权利要求1‑7任一项所述的一种快速降温扩散炉的废气处理方法，其特征在于，该方法的具体操作步骤如下：炉体(1)产生的废气经过废气管(27)进入第一过滤器(28)和第二过滤器(29)，在第一过滤器(28)和第二过滤器(29)内过滤，然后进入处理箱(30)内经过吸收剂吸收废气中的三氯化磷、偏磷酸和水蒸气，然后从处理箱(30)的排气口排出。2CN114877685A说明书1/4页一种