扩散炉炉体.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN108870974A(43)申请公布日2018.11.23(21)申请号201810833677.1(22)申请日2018.07.26(71)申请人青岛晨立电子有限公司地址266200山东省青岛市即墨市通济办事处小李村(72)发明人姜新诚施广博王兆敏(51)Int.Cl.F27B17/00(2006.01)H01L21/67(2006.01)权利要求书1页说明书5页附图5页(54)发明名称扩散炉炉体(57)摘要本发明公开了一种扩散炉炉体，涉及芯片加工领域，现有八寸扩散炉炉体内各处温度均匀性较低的问题，其技术方案要点是包括呈圆筒状设置的炉体外壁、设置在外壁内侧的呈圆筒状设置的保温层、设置在保温层上的螺旋设置的电阻丝以及设置在保温层上用于将电阻丝固定在保温层上的若干绝缘子；在保温层上靠近炉体前端三分之一的部分，相邻两圈电阻丝之间的距离为3～10毫米，炉体中间三分之一端的相邻两圈电阻丝之间的距离为4～毫米，炉体后端三分之一的部分，相邻两圈电阻丝之间的距离为3～10毫米，通过对炉体内各处电阻丝的距离进行控制，提高了炉体内各处温度的均匀性。CN108870974ACN108870974A权利要求书1/1页1.一种扩散炉炉体，其特征在于：包括呈圆筒状设置的炉体外壁(1)、设置在外壁内侧的呈圆筒状设置的保温层(2)、设置在保温层(2)上的螺旋设置的电阻丝(3)以及设置在保温层(2)上用于将电阻丝(3)固定在保温层(2)上的若干绝缘子(4)；在保温层(2)上靠近炉体前端三分之一的部分，相邻两圈电阻丝(3)之间的距离为3～10毫米，炉体中间三分之一端的相邻两圈电阻丝(3)之间的距离为4～12毫米，炉体后端三分之一的部分，相邻两圈电阻丝(3)之间的距离为3～10毫米。2.根据权利要求1所述的扩散炉炉体，其特征在于：所述电阻丝(3)的材料为HRE材质。3.根据权利要求1所述的扩散炉炉体，其特征在于：所述保温层(2)由陶瓷纤维材料制成。4.根据权利要求1所述的扩散炉炉体，其特征在于：所述绝缘子(4)在保温层(2)上分成若干组，每一组绝缘组都沿炉体外壁(1)的长度方向进行排布。5.根据权利要求4所述的扩散炉炉体，其特征在于：所述绝缘子(4)一端插入到保温层(2)当中，另一端伸出保温层(2)，绝缘子(4)伸出保温层(2)的一端的上下两侧分别开设有相互对应的呈半圆状设置的上凹槽(41)和下凹槽(44)，上凹槽(41)和下凹槽(44)的半径都与电阻丝(3)的半径相等；绝缘子(4)位于保温层(2)内的一端的顶部开设有截面呈等腰梯形状的连接槽(42)，连接槽(42)的底部一侧水平设置；绝缘子(4)位于保温层(2)内的一端的底部固定连接有与连接槽(42)相互配合的大小形状与连接槽(42)相同的连接块(43)，当相邻两绝缘子(4)的连接块(43)与连接槽(42)相互配合时，相邻两绝缘子(4)的上凹槽(41)和下凹槽(44)共同组成一个完整的圆。6.根据权利要求5所述的扩散炉炉体，其特征在于：所述连接槽(42)底部两端设置有第一圆角(421)，所述连接块(43)底部两端设置有与第一圆角(421)大小形状完全相同并且与第一圆角(421)相互配合的第二圆角(431)。7.根据权利要求5所述的扩散炉炉体，其特征在于：所述绝缘子(4)伸入到保温层(2)中的一端沿竖直方向开设有连接孔(45)，当相邻两绝缘子(4)的连接块(43)插入到连接槽(42)中之后，相邻两绝缘子(4)的连接孔(45)相互连通；同一组的绝缘子(4)的连接孔(45)当中设置有一将同一组的若干绝缘子(4)连接在一起的连接绳(46)。8.根据权利要求1所述的扩散炉炉体，其特征在于：所述绝缘子(4)由陶瓷材料制成。2CN108870974A说明书1/5页扩散炉炉体技术领域[0001]本发明涉及芯片加工领域，更具体的说，它涉及一种扩散炉炉体。背景技术[0002]扩散炉芯片生产必不可少的生产设备，随着现在芯片行业的发展，大尺寸扩散炉是必须的产品，现在国内的扩散炉大多为4寸和6寸，8寸的扩散炉相对于6寸扩散炉来说炉体内的空间增大，炉体内温度的控制更加困难，使炉体内各处温度均匀性较低，而一旦炉体内各处温度均匀性较低，容易出现生产出芯片电阻率不一致的问题。现在亟需一种炉体内各处温度均匀性较高的8寸扩散炉。发明内容[0003]针对现有技术存在的不足，本发明的目的在于提供一种扩散炉炉体，其通过对炉体内各处电阻丝的距离进行控制，提高了炉体内各处温度的均匀性。[0004]为实现上述目的，本发明提供了如下技术方案：一种扩散炉炉体，包括呈圆筒状设置的炉体外壁、设置在外壁内侧的呈圆筒状设置的保温层、设置在保温层上的螺旋设置的电阻丝以及设置在保温层上用于将电阻丝固