一种高导热氮化硅陶瓷的制备方法.pdf
曦晨****22
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一种高导热氮化硅陶瓷的制备方法.pdf
本发明涉及一种高导热氮化硅陶瓷的制备方法,首先对Si3N4粉进行热处理和酸洗处理,然后配制Si3N4浆料,用流延工艺制备Si3N4薄层,对薄层切割叠层后得到多孔的氮化硅粉预制体。然后采用高纯硅粉对预制体进行液硅渗透,得到致密的Si3N4/Si。在氮化炉中对Si3N4/Si进行氮化处理,使材料中的Si发生氮化反应生成Si3N4。与制备高导热氮化硅陶瓷常用的工艺如等静压烧结、热压烧结等相比,本发明采用流延法结合液硅渗透成型,氮化烧结工艺,不需或仅需少量机械加工,制备温度低,且不需要添加烧结助剂,避免了晶界相对
一种热压烧结制备高导热氮化硅陶瓷的方法.pdf
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一种高导热AlN陶瓷低温烧结的制备方法。本发明为了寻找AlN陶瓷最佳的制备工艺,以满足AlN陶瓷实际生产的需要。本方法如下:一、助烧剂的制备,二、将氮化铝和助烧剂进行球磨处理,球料比为10~30:1,球磨时间1~14h;三、将步骤二所得粉体烘干后,放入模具中,在烧结炉中一定温度、一定压力下保持一定时间;四、冷却后脱模即得高导热陶瓷片。本发明制备的AlN陶瓷成本低,操作简单,强度高等优点。