一种新型单晶炉坩埚.pdf
萌运****魔王
在线预览结束,喜欢就下载吧,查找使用更方便
相关资料
一种新型单晶炉坩埚.pdf
本发明涉及一种新型单晶炉坩埚,它包括坩埚底座和坩埚圆筒壁,它们组成坩埚本体,在所述坩埚底座底部设有定位口,在所述坩埚底座上部内侧设有凸边,在所述坩埚圆筒壁下部内侧设有凹口,所述坩埚底座和坩埚圆筒壁通过凸边和凹口匹配定位固定,所述坩埚底座为石墨坩埚底座,所述坩埚圆筒壁为碳碳坩埚筒壁,所述坩埚本体为圆柱形,所述坩埚底座的内底为弧形凹底,外底为圆形平底。本发明使用寿命长,节约石墨,运输方便,制作方便。
一种单晶炉坩埚.pdf
本发明涉及一种单晶炉坩埚,它包括坩埚底座、坩埚圆筒壁和埚盖,所述坩埚圆筒壁至少由一段圆筒壁本体组成,在所述坩埚底座底部设有定位口,在所述坩埚底座顶部设有底座凸边,在所述坩埚圆筒壁底部设有筒壁凹口,所述坩埚底座和坩埚圆筒壁通过底座凸边和筒壁凹口定位连接,在所述坩埚圆筒壁顶部设有筒壁凸边,在所述埚盖底部设有埚盖凹口,所述坩埚圆筒壁和埚盖通过筒壁凸边和埚盖凹口定位连接,所述坩埚底座、每段圆筒壁本体和埚盖的高度比为2:3:2。本发明为分体式结构,使用灵活。
一种单晶炉坩埚托盘.pdf
本发明公开了一种坩埚托盘,包括托盘主体,所述托盘主体的底部设有环形凸起,所述环形凸起下设有托杆,所述环形凸起直径等于托盘本体底部直径,所述环形凸起的直径大于托杆的直径,所述环形凸起的直径等于250mm,所述托杆的直径等于80mm。
坩埚、坩埚组件和单晶炉.pdf
本发明涉及一种坩埚,包括筒状主体和底座,所述筒状主体采用碳纤维复合材料制成,所述底座采用石墨材质制成。本发明还涉及一种坩埚组件和单晶炉。本发明实施例提供的坩埚包括筒状主体和底座,所述筒状主体包括多瓣碳纤维复合材料制成的坩埚瓣。相对于相关技术中的石墨材质的坩埚,在承载石英坩埚时,由于碳纤维复合材料与石英不发生反应,因此在拉晶过程中石英坩埚可与本发明实施例中的坩埚可实现紧密贴合,碳纤维复合材料具有很好的高温导热性能,可将热量均匀地传输至石英坩埚,有助于石英坩埚氧的均匀析出,有利于晶棒中径向氧均一性。
坩埚、坩埚组件和单晶炉.pdf
本发明涉及一种坩埚,包括坩埚主体,所述坩埚主体包括至少两瓣坩埚瓣,相邻两瓣坩埚瓣之间设置凹槽,所述凹槽内嵌设有遮挡条,所述遮挡条采用碳纤维复合材料制成。本发明还涉及一种坩埚组件和单晶炉。本发明实施例在相邻两瓣坩埚瓣之间开设凹槽,并在该凹槽内嵌设由碳纤维复合材料制成的遮挡条,由于碳纤维复合材料与石英坩埚不会发生反应,因此该坩埚装置可重复使用,提高装置的使用寿命,节约成本,降低成本,提高效率。