坩埚、坩埚组件和单晶炉.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115747949A(43)申请公布日2023.03.07(21)申请号202211522689.5(22)申请日2022.11.30(71)申请人西安奕斯伟材料科技有限公司地址710000陕西省西安市高新区西沣南路1888号1-3-029室(72)发明人杨文武(74)专利代理机构北京银龙知识产权代理有限公司11243专利代理师丁文蕴(51)Int.Cl.C30B15/10(2006.01)C30B29/06(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图2页(54)发明名称坩埚、坩埚组件和单晶炉(57)摘要本发明涉及一种坩埚，包括坩埚主体，所述坩埚主体包括至少两瓣坩埚瓣，相邻两瓣坩埚瓣之间设置凹槽，所述凹槽内嵌设有遮挡条，所述遮挡条采用碳纤维复合材料制成。本发明还涉及一种坩埚组件和单晶炉。本发明实施例在相邻两瓣坩埚瓣之间开设凹槽，并在该凹槽内嵌设由碳纤维复合材料制成的遮挡条，由于碳纤维复合材料与石英坩埚不会发生反应，因此该坩埚装置可重复使用，提高装置的使用寿命，节约成本，降低成本，提高效率。CN115747949ACN115747949A权利要求书1/1页1.一种坩埚，其特征在于，包括坩埚主体，所述坩埚主体包括至少两瓣坩埚瓣，相邻两瓣坩埚瓣之间设置凹槽，所述凹槽内嵌设有遮挡条，所述遮挡条采用碳纤维复合材料制成。2.根据权利要求1所述的坩埚，其特征在于，所述遮挡条包括与所述凹槽的底部接触的第一表面和与所述第一表面相对的第二表面，所述第二表面与所述坩埚的内侧面齐平。3.根据权利要求1所述的坩埚，其特征在于，所述凹槽设置于相邻两瓣坩埚瓣中的至少一个坩埚瓣上。4.根据权利要求1所述的坩埚，其特征在于，相邻两瓣坩埚瓣包括第一坩埚瓣和第二坩埚瓣，所述凹槽包括第一子凹槽和第二子凹槽，所述第一坩埚瓣靠近所述的第二坩埚瓣的一侧设置有所述第一子凹槽，所述第二坩埚瓣靠近所述的第一坩埚瓣的一侧设置有所述第二子凹槽，所述第一子凹槽和所述第二子凹槽相对于所述第一坩埚瓣和所述第二坩埚瓣之间的缝隙对称设置。5.根据权利要求1所述的坩埚，其特征在于，所述坩埚主体包括侧壁和与所述侧壁连接的底部，所述侧壁包括直壁部和弧形部，所述凹槽包括设置于所述侧壁上的第一部分和设置于所述底部上的第二部分，所述第一部分包括设置于所述直壁部的第一子部分和设置于所述弧形部的第二子部分；在所述坩埚主体的轴向方向上，所述第一子部分的长度小于所述直壁部的长度。6.根据权利要求1所述的坩埚，其特征在于，所述遮挡条通过过盈配合的方式连接于所述凹槽内。7.根据权利要求1所述的坩埚，其特征在于，所述坩埚主体包括两瓣坩埚瓣，所述遮挡条为u形结构。8.根据权利要求1所述的坩埚，其特征在于，所述坩埚主体包括两瓣以上的坩埚瓣，所述坩埚还包括位于任意相邻两瓣坩埚瓣之间的多个所述遮挡条，多个所述遮挡条交织呈网状结构。9.一种坩埚组件，其特征在于，包括石英坩埚和位于所述石英坩埚外围的权利要求1‑8任一项所述的坩埚。10.一种单晶炉，其特征在于，包括权利要求7所述的坩埚组件。2CN115747949A说明书1/3页坩埚、坩埚组件和单晶炉技术领域[0001]本发明涉及硅产品制作技术领域，尤其涉及一种坩埚、坩埚组件和单晶炉。背景技术[0002]通常情况石墨坩埚为多瓣结构，两瓣坩埚中间在拼接使用的过程中会有缝隙，为了防止在拉晶过程中硅溶液从缝隙中流出，通常会在缝隙处铺设长方形状的石墨纸用于防止漏液。这种石墨纸每次都需要更换，很是浪费。发明内容[0003]为了解决上述技术问题，本发明提供一种坩埚、坩埚组件和单晶炉，解决相邻两瓣坩埚瓣之间的缝隙的漏液问题。[0004]为了达到上述目的，本发明实施例采用的技术方案是：一种坩埚，包括坩埚主体，所述坩埚主体包括至少两瓣坩埚瓣，相邻两瓣坩埚瓣之间设置凹槽，所述凹槽内嵌设有遮挡条，所述遮挡条采用碳纤维复合材料制成。[0005]可选的，所述遮挡条包括与所述凹槽的底部接触的第一表面和与所述第一表面相对的第二表面，所述第二表面与所述坩埚的内侧面齐平。[0006]可选的，所述凹槽设置于相邻两瓣坩埚瓣中的至少一个坩埚瓣上。[0007]可选的，相邻两瓣坩埚瓣包括第一坩埚瓣和第二坩埚瓣，所述凹槽包括所述第一子凹槽和所述第二子凹槽，所述第一坩埚瓣靠近所述的第二坩埚瓣的一侧设置有所述第一子凹槽，所述第二坩埚瓣靠近所述的第一坩埚瓣的一侧设置有所述第二子凹槽，所述第一子凹槽和所述第二子凹槽相对于所述第一坩埚瓣和所述第二坩埚瓣之间的缝隙对称设置。[0008]可选的，所述坩埚主体包括侧壁和与所述侧壁连接的底部，所述侧壁包括直壁部和弧形部，所述凹槽包括设置于所述侧壁上的第一部分和设置于所述底部上的第二部分，所述第一部分包括设置于所述直壁部的第一子部