一种单晶炉坩埚托盘.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN109306517A(43)申请公布日2019.02.05(21)申请号201811403300.9(22)申请日2018.11.23(71)申请人郭靖地址211700江苏省淮安市盱眙经济开发区梅花大道37-2号(72)发明人郭靖(51)Int.Cl.C30B15/10(2006.01)C30B29/06(2006.01)权利要求书1页说明书2页附图1页(54)发明名称一种单晶炉坩埚托盘(57)摘要本发明公开了一种坩埚托盘，包括托盘主体，所述托盘主体的底部设有环形凸起，所述环形凸起下设有托杆，所述环形凸起直径等于托盘本体底部直径，所述环形凸起的直径大于托杆的直径，所述环形凸起的直径等于250mm，所述托杆的直径等于80mm。CN109306517ACN109306517A权利要求书1/1页1.一种坩埚托盘，包括托盘主体，其特征在于：所述托盘主体的底部设有环形凸起，所述环形凸起下设有托杆。2.如权利要求1所述的坩埚托盘，其特征在于：所述环形凸起直径等于托盘本体底部直径。3.如权利要求1所述的坩埚托盘，其特征在于：所述环形凸起的直径大于托杆的直径。4.如权利要求1所述的坩埚托盘，其特征在于：所述环形凸起的直径等于250mm。5.如权利要求1所述的坩埚托盘，其特征在于：所述托杆的直径等于80mm。2CN109306517A说明书1/2页一种单晶炉坩埚托盘技术领域[0001]本发明涉及单晶炉技术领域，具体涉及一种坩埚托盘。背景技术[0002]直拉单晶炉在使用中，随着单晶炉投料量的增加，石英坩埚承受的压力增大，容易出现石英坩埚开裂的现象，从而发生漏硅问题，当漏硅发生后，硅液会沿着石墨坩埚、坩埚托盘以及石墨埚杆流下，引起各石墨部件粘住或直接断裂，导致无法继续使用，造成部件的损坏和报废，此外，金属波纹管被烫坏还会造成炉内进入空气，从而引发严重事故。发明内容[0003]本发明针对现有技术的不足之处，提供一种坩埚托盘，该坩埚托盘的底部设有用于阻止硅液流到坩埚托杆及炉内其他重要部件上，从而保护炉内的贵重部件免受损坏，并能够保护金属波纹管，防止因炉内进气而引发的危险事故。[0004]本发明解决现有技术问题的方案是：一种坩埚托盘，包括托盘主体，所述托盘主体的底部设有环形凸起，所述环形凸起下设有托杆。[0005]优选的，所述环形凸起直径等于托盘本体底部直径。[0006]优选的，所述环形凸起的直径大于托杆的直径。[0007]优选的，所述环形凸起的直径等于250mm。[0008]优选的，所述托杆的直径等于80mm。[0009]本发明的有益效果：在现有坩埚托盘的底部设置了环形凸起，该环形凸起可以阻止硅液流过，起到保护炉内贵重部件的作用。附图说明[0010]图1为本发明的结构示意图；[0011]图中：1、托盘本体；2、环形凸起；3、托杆。具体实施方式[0012]下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细的说明。[0013]如图1所示一种坩埚托盘，包括托盘主体，所述托盘主体的底部设有环形凸起，所述环形凸起下设有托杆，所述环形凸起直径等于托盘本体底部直径，所述环形凸起的直径大于托杆的直径，所述环形凸起的直径等于250mm，所述托杆的直径等于80mm。[0014]本发明对现有坩埚托盘的结构做出改进，在现有坩埚托盘的底部设置了环形凸起，该环形凸起可以阻止硅液流过，起到保护炉内贵重部件的作用，为企业节省大量资金，此外，本装置还可对金属波纹管起到保护作用，防止因金属波纹管被硅液烫坏，单晶炉内进入空气而引发的危险事故。[0015]对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行3CN109306517A说明书2/2页修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。4CN109306517A说明书附图1/1页图15