涂敷装置以及涂敷方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN106031913A(43)申请公布日2016.10.19(21)申请号201510102889.9(22)申请日2015.03.09(30)优先权数据2014-2207422014.10.29JP(71)申请人中外炉工业株式会社地址日本国大阪府(72)发明人夏贞雄永井久也横山雅树(74)专利代理机构中科专利商标代理有限责任公司11021代理人刘建(51)Int.Cl.B05C5/02(2006.01)B05C11/10(2006.01)权利要求书1页说明书9页附图5页(54)发明名称涂敷装置以及涂敷方法(57)摘要本发明提供涂敷装置以及涂敷方法，能够抑制开始进行涂敷处理时最初从喷嘴喷出的涂覆液以鼓起的方式被涂敷，能够从涂敷处理的开始时刻以适当的涂膜厚度对涂敷对象物进行涂敷，结构简单且用于进行涂膜厚度调节的控制容易。涂敷装置具备：涂覆液供给源，其通过加压将贮存于罐的涂覆液向涂覆液供给系统挤出并供给；喷嘴，其与涂覆液供给系统连接，一边喷出供给来的涂覆液一边相对于涂敷对象物移动，对涂敷对象物进行涂敷处理；开闭阀，其设于涂覆液供给系统，在开始进行涂敷处理时打开，向喷嘴供给涂覆液后关闭，停止涂覆液向喷嘴的供给；以及缓冲罐，其设于涂覆液供给系统，并且内部充满涂覆液，该缓冲罐抑制开闭阀打开时朝向喷嘴传播的压力变化。CN106031913ACN106031913A权利要求书1/1页1.一种涂敷装置，其特征在于，具备：涂覆液供给源，其通过加压而将贮存于罐内的涂覆液向涂覆液供给系统挤出并供给；喷嘴，其与该涂覆液供给系统连接，一边喷出供给来的涂覆液，一边相对于涂敷对象物进行相对移动，对涂敷对象物进行涂敷处理；开闭阀，其设置于所述涂覆液供给系统，在开始进行涂敷处理时打开，向所述喷嘴供给涂覆液，之后关闭，停止涂覆液向该喷嘴的供给；以及缓冲罐，其设置于所述涂覆液供给系统，并且内部充满涂覆液，该缓冲罐抑制在所述开闭阀打开时朝向所述喷嘴传播的压力的变化。2.根据权利要求1所述的涂敷装置，其特征在于，所述缓冲罐为可变容量型。3.根据权利要求1所述的涂敷装置，其特征在于，代替所述缓冲罐，在所述涂覆液供给系统中设置有注射泵，该注射泵配置在所述开闭阀与所述喷嘴之间，该注射泵在开始进行涂敷处理时且是该开闭阀关闭的状态下，向该喷嘴供给涂覆液，代替在开始进行涂敷处理时打开该开闭阀的情况，该开闭阀与由所述注射泵进行的涂覆液的供给停止相应地打开。4.根据权利要求1所述的涂敷装置，其特征在于，在所述涂覆液供给源与所述喷嘴之间，以与涂覆液供给系统并行的方式设置有追加的涂覆液供给系统，在该追加的涂覆液供给系统中设置有注射泵，该注射泵在开始进行涂敷处理时且是所述开闭阀关闭的状态下，向所述喷嘴供给涂覆液，代替在开始进行涂敷处理时打开该开闭阀的情况，该开闭阀与由所述注射泵进行的涂覆液的供给停止相应地打开。5.一种涂敷方法，其特征在于，使用权利要求3所述的涂敷装置，在开始进行涂敷处理时且是所述开闭阀关闭的状态下，从所述注射泵向所述喷嘴供给涂覆液，接着，为了继续进行涂敷处理，与由所述注射泵进行的涂覆液的供给停止相应地打开所述开闭阀，从所述涂覆液供给源向所述喷嘴供给涂覆液。6.一种涂敷方法，其特征在于，使用权利要求4所述的涂敷装置，在开始进行涂敷处理时且是所述涂覆液供给系统的所述开闭阀关闭的状态下，从所述注射泵经由所述追加的涂覆液供给系统向所述喷嘴供给涂覆液，接着，为了继续进行涂敷处理，与由所述注射泵进行的涂覆液的供给停止相应地打开所述开闭阀，从所述涂覆液供给源经由所述涂覆液供给系统向所述喷嘴供给涂覆液。2CN106031913A说明书1/9页涂敷装置以及涂敷方法技术领域[0001]本发明涉及一种涂敷装置以及涂敷方法，即使采用加压供给方式，也能够抑制在开始进行涂敷处理时，最初从喷嘴喷出的涂覆液以鼓起的方式被涂敷的情况，能够从涂敷处理的开始时刻起以适当的涂膜厚度在涂敷对象物上进行涂敷，并且结构简单，且用于进行涂膜厚度调节的控制也较为容易。背景技术[0002]专利文献1、2公开了一种涂覆装置，该涂敷装置采用通过基于加压的挤出进行供给的加压供给方式，将贮存于罐内部的涂覆液向相对于基板等涂敷对象物进行相对移动的喷嘴供给，由此从喷嘴喷出涂覆液，对涂敷对象物进行涂敷处理。[0003]专利文献1的“狭缝式涂敷装置”的课题在于提供不增加设备成本，且控制涂敷开始和结束时的药液的喷出量从而得到均匀的涂敷膜的狭缝式涂敷装置，在涂敷开始和结束时控制药液的喷出量的狭缝式涂敷装置中，具备：具有进行所述涂敷药液供给的开启(ON)/断开(OFF)的一直关闭的单动药液阀的机构、具有能够通过来自控制器的电信号自如地改变用于驱动(控制)该药液阀的开闭的