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一种扩散炉炉门密封结构.pdf
2023-06-17
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本发明涉及扩散炉技术领域，尤其涉及扩散炉炉门密封结构，包括石英管、炉门本体、平移机构和旋转机构，平移机构和旋转机构均与炉门本体连接，分别用于带动炉门本体平移和旋转，进而使炉门打开或关闭，石英管包括第一管段和沿第一管段的轴向向外延伸出的第二管段，第一管段的内径小于第二管段的内径，炉门本体包括轴向上平行设置的内门和外门，在炉门闭合时，内门嵌入到第二管段内将第一管段的管口封堵，外门将第二管段的管口封堵。该炉门密封结构采用内门和外门双层封堵，即使内门在长期使用后密封性下降，外层门依然能够起到良好的封堵效果，提高了
2023-06-17
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