一种安装多晶硅铸锭炉保温护毡的结构及多晶硅铸锭炉.pdf
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一种安装多晶硅铸锭炉保温护毡的结构及多晶硅铸锭炉.pdf
本发明公开了一种安装多晶硅铸锭炉保温护毡的结构,包括保温护毡和石墨护板,所述保温护毡与所述石墨护板均设置有螺孔,并通过所述螺孔螺栓连接。除此之外,本发明还公开了一种多晶硅铸锭炉,包括炉体、设置在所述炉体上的如上所述的便于安装多晶硅铸锭炉保温护毡的结构。所述便于安装多晶硅铸锭炉保温护毡的结构以及多晶硅铸锭炉,通过在石墨护板和保温护毡的相应位置设置螺孔,并通过螺栓连接,这样就消除了采用钼丝固定保温护毡对保温护毡造成的磨损,同时也可以在使用大尺寸内径坩埚后重复利用保温护毡,降低铸锭成本。并且这种安装结构,便于进
一种多晶硅铸锭炉热场及多晶硅铸锭炉.pdf
本发明实施例公开了一种多晶硅铸锭炉热场,包括保温隔热笼体,保温隔热顶板,保温隔热底板,带坩埚的热交换台和加热器,保温隔热顶板设置有进气孔和出气孔,多晶硅铸锭炉热场还包括设置在坩埚顶部的用于遮盖坩埚的遮挡盖板,遮挡盖板上设置有进气孔和出气孔,且遮挡盖板的出气孔与保温隔热顶板的出气孔之间通过封闭的排气通道相连接。本发明还提供了一种多晶硅铸锭炉。能够直接将硅蒸汽、氧化硅等腐蚀性气体直接排出到热场或者多晶硅铸锭炉外部,提高了热场以及多晶硅铸锭炉的使用寿命,降低了生产成本,同时也可减少硅锭的碳污染,本方案特别适用于
多晶硅铸锭炉的石墨加热器及多晶硅铸锭炉.pdf
本发明涉及一种多晶硅铸锭炉的石墨加热器,包括:顶部加热器,包括电阻值相等的两部分及两个石墨电极,所述两个石墨电极按照将所述电阻值相等的两部分并联的方式接线;侧部加热器组件,包括围成一圈且电阻值相等的四部分及四个石墨电极,所述四个石墨电极按照将所述电阻值相等的四部分并联的方式接线。上述石墨加热器,顶部加热器和侧部加热器组件各包括阻值相等若干部分,通过石墨电极实现并联接线,能够保证顶部加热器的每一部分上的电压彼此相等,相同时间内发热量相等;及保证侧部加热器组件的每一部分的电压也彼此相等,相同时间内发热量相等,
多晶硅铸锭炉和多晶硅铸锭方法.pdf
本发明公开了一种多晶硅铸锭炉,炉体包括上炉盖、炉身和炉底,炉底和炉身采用液压连接;所述保温体为立方形,保温体包括上保温体和下保温体;石墨平台位于保温体中,四个坩埚放置于石墨平台上;上加热体和下加热体都位于所述保温体中,且上加热体位于上保温体的顶面下方、下加热体位于石墨平台下方,上加热体和上保温体固定在一起并固定于炉身上,下加热体和下保温体固定在一起并能一起和上保温体分开并向下移动。本发明还公开了一种多晶硅铸锭方法。本发明能成倍地提高单个铸锭炉产量、并能保证质量良好,能提高现有设备的使用率并能节省设备投资成
多晶硅铸锭炉.pdf
本发明公开了一种能够提高铸锭生长速度的多晶硅铸锭炉。该多晶硅铸锭炉包括炉体,炉体上设置有抽气孔,所述炉体内设置有下托保温板与保温罩,保温罩与下托保温板共同构成保温隔热笼,所述保温隔热笼内设置有坩埚、坩埚护板、石墨底板、石墨盖板、侧部加热器、顶部加热器、热交换平台,所述石墨盖板上设置有多个通孔。通过在石墨盖板上设置多个通孔,顶部加热器的热量可以毫无阻隔的通过通孔传递到坩埚内,使得坩埚内上部的温度相对于原来而言能够有所提高,从而使坩埚内的温度梯度变化明显,进而增加铸锭的生长速度,这种方式只需在原有的石墨盖板上