一种多晶硅铸锭炉热场及多晶硅铸锭炉.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN102212881A*(12)发明专利申请(10)申请公布号CN102212881A(43)申请公布日2011.10.12(21)申请号201110135310.0(22)申请日2011.05.24(71)申请人江西赛维LDK太阳能高科技有限公司地址338000江西省新余市高新经济开发区赛维工业园专利办公室(72)发明人胡动力张涛(74)专利代理机构广州三环专利代理有限公司44202代理人郝传鑫潘中毅(51)Int.Cl.C30B29/06(2006.01)C30B28/06(2006.01)权利要求书1页说明书4页附图1页(54)发明名称一种多晶硅铸锭炉热场及多晶硅铸锭炉(57)摘要本发明实施例公开了一种多晶硅铸锭炉热场，包括保温隔热笼体，保温隔热顶板，保温隔热底板，带坩埚的热交换台和加热器，保温隔热顶板设置有进气孔和出气孔，多晶硅铸锭炉热场还包括设置在坩埚顶部的用于遮盖坩埚的遮挡盖板，遮挡盖板上设置有进气孔和出气孔，且遮挡盖板的出气孔与保温隔热顶板的出气孔之间通过封闭的排气通道相连接。本发明还提供了一种多晶硅铸锭炉。能够直接将硅蒸汽、氧化硅等腐蚀性气体直接排出到热场或者多晶硅铸锭炉外部，提高了热场以及多晶硅铸锭炉的使用寿命，降低了生产成本，同时也可减少硅锭的碳污染，本方案特别适用于硅粉及其他硅料的提纯。CN1028ACCNN110221288102212888A权利要求书1/1页1.一种多晶硅铸锭炉热场，包括保温隔热笼体，所述保温隔热笼体上部的保温隔热顶板和底部的保温隔热底板，置于所述保温隔热笼体内部的带坩埚的热交换台和加热器，其特征在于，所述保温隔热顶板设置有进气孔和出气孔，所述多晶硅铸锭炉热场还包括设置在所述坩埚顶部的用于遮盖所述坩埚的遮挡盖板，所述遮挡盖板上设置有进气孔和出气孔，且所述遮挡盖板的出气孔与所述保温隔热顶板的出气孔之间通过封闭的排气通道相连接。2.如权利要求1所述的多晶硅铸锭炉热场，其特征在于，所述遮挡盖板的进气孔与所述保温隔热顶板的进气孔之间通过封闭的排气通道相连接。3.如权利要求2所述的多晶硅铸锭炉热场，其特征在于，所述保温隔热顶板设置的进气孔和出气孔包括一个或者多个，所述遮挡盖板开设的进气孔和出气孔的数量对应于所述保温隔热顶板的进气孔和出气孔数量。4.如权利要求3所述的多晶硅铸锭炉热场，其特征在于，所述排气通道为由石墨管，或者碳化硅管，或者氧化铝管构成的用于供气体流通的封闭的通道。5.如权利要求4所述的多晶硅铸锭炉热场，其特征在于，所述遮挡盖板包括一个进气孔，所述进气孔开设在所述遮挡盖板的中心位置；所述遮挡盖板的出气孔包括四个，分别设置在所述遮挡盖板的四个角上，或者所述遮挡盖板的出气孔包括八个，分别设置在所述遮挡盖板的四个角上和四条边的中间位置。6.如权利要求5所述的多晶硅铸锭炉热场，其特征在于，所述遮挡盖板为碳碳盖板或者石墨盖板。7.一种多晶硅铸锭炉，其特征在于，包括如权利要求1至6任一项所述的多晶硅铸锭炉热场。8.如权利要求7所述的多晶硅铸锭炉，其特征在于，还包括与所述保温隔热顶板的出气孔相连接的，延伸至所述多晶硅铸锭炉外部的封闭的排气通道，其用于将该保温隔热顶板的出气孔排出的气体排出到所述多晶硅铸锭炉之外。2CCNN110221288102212888A说明书1/4页一种多晶硅铸锭炉热场及多晶硅铸锭炉技术领域[0001]本发明涉及多晶硅铸锭炉的设计与制造技术领域，尤其涉及一种多晶硅铸锭炉热场及多晶硅铸锭炉。背景技术[0002]在多晶硅的铸造过程中，需要向多晶硅铸锭炉热场的坩埚中充入流动的氩气作为保护气，保护气经过坩埚的硅液表面时，会携带大量的硅蒸汽，其中包括如硅蒸汽、氧化硅等腐蚀性气体。同时，请参见图1，是现有的多晶硅铸锭炉热场的结构以及气体排放示意图，由图可以看出，由于现有的多晶硅铸锭炉热场，坩埚与盖板有一定缝隙，从热场顶部的保温隔热顶板的进气孔注入氩气作为保护气使用后，在热场底部的保温隔热底板打开时排出。这使得在保护气的使用以及排出的过程中，保护气所携带的硅蒸汽中包括如氧化硅等腐蚀性气体会腐蚀热场的保温隔热笼体、保温隔热顶板、石墨护板，保温隔热底板、热交换台以及加热器等装置，导致热场的损坏，使得现有的热场在一年或者两年内需要更换；同时，硅蒸汽、氧化硅等腐蚀性气体腐蚀热场各部件又会产生一氧化碳、二氧化碳等气体，从而造成硅锭的碳污染。发明内容[0003]本发明实施例所要解决的技术问题在于，提供一种多晶硅铸锭炉热场及多晶硅铸锭炉，可避免腐蚀性气体对热场各装置的腐蚀，同时也可减少硅锭的碳污染。[0004]为了解决上述技术问题，本发明实施例提供了一种多晶硅铸锭炉热场，包括保温隔热笼体，所述保温隔热笼体上部的保温隔热顶板和底部的保温隔热底板，置于所述保温隔热笼