多晶硅铸锭炉.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号(10)申请公布号CNCN103556221103556221A(43)申请公布日2014.02.05(21)申请号201310564175.0(22)申请日2013.11.14(71)申请人乐山新天源太阳能科技有限公司地址614000四川省乐山市高新区建业大道9号(72)发明人陈五奎李军马涛徐文州冯加保虎春萍(74)专利代理机构成都宏顺专利代理事务所(普通合伙)51227代理人王睿(51)Int.Cl.C30B28/06(2006.01)C30B29/06(2006.01)权权利要求书1页利要求书1页说明书4页说明书4页附图3页附图3页(54)发明名称多晶硅铸锭炉(57)摘要本发明公开了一种能够提高铸锭生长速度的多晶硅铸锭炉。该多晶硅铸锭炉包括炉体，炉体上设置有抽气孔，所述炉体内设置有下托保温板与保温罩，保温罩与下托保温板共同构成保温隔热笼，所述保温隔热笼内设置有坩埚、坩埚护板、石墨底板、石墨盖板、侧部加热器、顶部加热器、热交换平台，所述石墨盖板上设置有多个通孔。通过在石墨盖板上设置多个通孔，顶部加热器的热量可以毫无阻隔的通过通孔传递到坩埚内，使得坩埚内上部的温度相对于原来而言能够有所提高，从而使坩埚内的温度梯度变化明显，进而增加铸锭的生长速度，这种方式只需在原有的石墨盖板上打几个通孔即可，基本不会增加成本，改装也很方便。适合在多晶硅生产设备领域推广应用。CN103556221ACN103562ACN103556221A权利要求书1/1页1.多晶硅铸锭炉，包括炉体（1），炉体（1）上设置有抽气孔（2），所述炉体（1）内设置有下托保温板（3）与保温罩（4），保温罩（4）放置在下托保温板（3）上，保温罩（4）与下托保温板（3）共同构成保温隔热笼，所述保温罩（4）上连接有能够使保温罩（4）上下移动的升降杆（5），所述保温隔热笼内设置有坩埚（6）、坩埚护板（7）、石墨底板（8）、石墨盖板（9）、侧部加热器（10）、顶部加热器（11）、热交换平台（12），所述石墨底板（8）放置在热交换平台（12）上，坩埚（6）放置在石墨底板（8）上，坩埚护板（7）设置在坩埚（6）外侧，侧部加热器（10）设置在坩埚护板（7）的外侧，石墨盖板（9）设置在坩埚（6）上方，顶部加热器（11）设置在石墨盖板（9）上方，所述热交换平台（12）通过石墨立柱（22）固定在炉体（1）底部，坩埚护板（7）的上端设置有尾气排放孔（13），还包括进气管（14），所述进气管（14）依次穿过炉体（1）、保温罩（4）、顶部加热器（11）、石墨盖板（9）后伸入坩埚（6）内，其特征在于：所述石墨盖板（9）上设置有多个通孔（17）。2.如权利要求1所述的多晶硅铸锭炉，其特征在于：所述炉体（1）底部安装有溢流毯（18），所述溢流毯（18）为四层结构，从上到下依次为针织陶瓷纤维毯层、针织陶瓷纤维毯层、陶瓷纤维毯层、碳毡层，所述针织陶瓷纤维毯层的厚度为10mm、针织陶瓷纤维毯层的厚度为10mm、陶瓷纤维毯层的厚度为25mm、碳毡层的厚度为10mm。3.如权利要求2所述的多晶硅铸锭炉，其特征在于：所述溢流毯（18）的上表面安装有溢流丝（19）。4.如权利要求3所述的多晶硅铸锭炉，其特征在于：在相邻的石墨立柱（22）之间均设置有溢流丝（19）。5.如权利要求4所述的多晶硅铸锭炉，其特征在于：所述下托保温板（3）上设置有多个溢流孔（20）。6.如权利要求5所述的多晶硅铸锭炉，其特征在于：所述坩埚（6）与坩埚护板（7）之间设置有碳毡（21）。7.如权利要求6所述的多晶硅铸锭炉，其特征在于：所述尾气排放孔（13）为圆孔。2CN103556221A说明书1/4页多晶硅铸锭炉技术领域[0001]本发明涉及多晶硅生产设备领域，尤其是一种多晶硅铸锭炉。背景技术[0002]太阳能电池可以将光能转换为电能，是现代节能社会发展的一个重点。根据基体材料的不同，现有的太阳能电池分为多晶硅太阳能电池、单晶硅太阳能电池和类单晶硅太阳能电池。其中，单晶硅太阳能电池的转化效率高，但生产成本也高，多晶硅太阳能电池的转化效率比单晶硅太阳能电池低1%-2%，但其生产成本也低，而类单晶硅太阳能电池是介于单晶硅电池和多晶硅太阳能电池之间的电池。综合考虑，目前市场上的太阳能电池仍以多晶硅太阳能电池为主。[0003]现有用于生产多晶硅太阳能电池的多晶硅锭通常采用铸锭工艺制的，铸锭工艺一般是通过多晶硅铸锭炉实现的，现有的多晶硅铸锭炉包括，包括炉体，炉体上设置有抽气孔，所述炉体内设置有下托保温板与保温罩，保温罩放置在下托保温板上，保温罩与下托保温板共同构成保温隔热笼，所述保温罩上连接有能够使保温罩上下移动的升降杆，所述保温隔热笼内设置有坩埚、坩埚护板、石墨底板、石墨盖板、