一种石英扩散炉的点火室.pdf
春景****23
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相关资料
一种石英扩散炉的点火室.pdf
本申请涉及一种石英扩散炉的点火室,属于扩散炉的技术领域,包括点火室本体,所述点火室本体上穿设有测温偶,所述点火室本体上还设置有用于对所述测温偶进行遮蔽的防护装置,所述防护装置包括,防护罩,所述防护罩固定连接于所述点火室本体且所述测温偶位于所述防护罩内;防护叶片,所述防护叶片有多个且均转动连接于所述防护罩,多个所述防护叶片周向设置且形成对所述防护罩的遮蔽。本申请具有对测温偶的突出部分进行遮蔽以提高安全性的效果。
一种扩散炉专用石英炉管.pdf
本实用新型公开了一种扩散炉专用石英炉管,具体涉及石英炉管领域,包括石英炉管主体,所述石英炉管主体的两端均通过轴承转动连接有转动连接板,两个所述转动连接板底部固定连接有固定连接基板,两个所述转动连接板内侧表面均设置有驱动电机,两个所述驱动电机的输出端均固定套接有驱动齿轮,所述石英炉管主体两端均固定套接有从动转环。本实用新型通过设置从动转环,通过直接在石英炉管主体的两端设置从动转环,以降低外部多设置传动零件,传动简单化,且从动转环上的从动啮合齿牙使得驱动齿轮驱动石英炉管主体时,不会打滑传动效率高于表面直接贴合
一种用于氢氧合成的氧化扩散炉系统点火腔室.pdf
本发明涉及一种用于氢氧合成的氧化扩散炉系统点火腔室,包括腔体及分别位于腔体两端的导流板和通气管,所述通气管末端具有出气口,所述导流板另一端分别连通氧气入口和氢气入口,所述腔体上位于导流板一端的下方设置有测温偶管,所述测温偶管与外部控制器连接,所述外部控制器根据测温偶管检测的温度控制氧气入口和氢气入口的开关,通过温度检测可以实时判断腔体内气体是否充分燃烧,当温度过低,燃烧不充分时,及时通过控制器关闭气体入口,防止发生危险。
一种石英扩散炉用保温桶.pdf
本发明涉及一种石英扩散炉用保温桶,包括顶板及位于顶板下方的多层挡板,所述顶板和挡板以及挡板之间均通过连接棒焊接定位,且所述顶板和挡板以及挡板之间均通过定位钉来控制焊接高度;所述定位钉为石英钉。顶板与挡板之间高度一致,且连接棒与挡板和顶板焊接固定,结构稳定,隔热效果好,有效保证反应效果。还提供了一种石英扩散炉用保温桶的加工方法。
一种立式扩散炉专用叠加型石英舟.pdf
本发明公开了一种立式扩散炉专用叠加型石英舟,属于石英舟结构技术领域。包括石英舟本体,所述本体上设有用于放置硅片的舟槽,所述本体包括中空的中心筒、支撑板和石英棒,支撑板沿中心筒周向均匀设置在中心筒外侧面上且相对中心筒中心轴线平行;相邻的所述支撑板间设有多根石英棒,所述石英棒间平行设置且对应硅片的下部弧形间隔排列,所述石英棒朝向硅片一侧均匀设置多个刻槽,石英棒间的刻槽一一对应并共同构成所述舟槽,所述舟槽以中心筒轴心线为中心相对呈放射性设置;所述中心筒位于两相邻支撑板之间设置有贯通中心筒内腔的排气口。本发明适合