化学气相沉积炉.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN102839361A*(12)发明专利申请(10)申请公布号CN102839361A(43)申请公布日2012.12.26(21)申请号201110324989.8(22)申请日2011.10.24(71)申请人南通天华和睿科技创业有限公司地址226009江苏省南通市经济开发区中央路52号创业中心515室(72)发明人季历程(51)Int.Cl.C23C16/455(2006.01)C23C16/458(2006.01)C23C16/34(2006.01)权利要求书权利要求书1页1页说明书说明书22页页附图附图11页(54)发明名称化学气相沉积炉(57)摘要本发明的目的在于提供一种气相沉积炉，该气相沉积炉包括炉体、加热体、进气口、出气口以及模具，进气口在炉体底部或顶部，其特征在于：在炉体内或炉体外设有旋转机构，所述旋转机构由1~36个齿轮、转盘、齿套、伞齿轮组、连接轴以及电机组成，电机通过伞齿轮组与转盘相连，齿轮通过连接轴固定在转盘上，齿套在所有齿轮外围固定，并与齿轮啮合，转盘转动带动齿轮沿着圆盘式齿套旋转，每个齿轮上都吊挂或直立一个模具，模具随着齿轮的自转公转实现了产品在炉内的公转与自转。采用该气相沉积炉制备热解氮化硼制品，能够提高PBN产品质量及其生产效率，降低生产成本。CN1028396ACN102839361A权利要求书1/1页1.化学气相沉积炉，其由下述几部分构成：炉体（1）、进气口（2）、出气口（3）、模具（4）、旋转机构（5）以及发热体（6）；其中：发热体（6）、进气口（2）、出气口（3）都布置在炉体（1）上，进气口（2）设置在炉体（1）的上部，旋转机构（5）由转盘（5.1）、齿轮（5.2）、连接轴（5.3）、伞齿轮组（5.4）、齿套（5.5）以及电机（5.6）组成，发热体（6）由感应线圈（6.1）、加热体（6.2）以及石墨套筒（6.3）组成；电机（5.6）通过伞齿轮组（5.4）与转盘（5.1）相连，齿轮（5.2）共有5个且皆通过连接轴（5.3）固定在转盘（5.1）上，且每个齿轮（5.2）上都设置有一个模具4；其特征在于：所述旋转机构（5）设置在炉体（1）内的上端；进气口为三同心圆进气口。2.按照权利要求1所述化学气相沉积炉，其特征在于：炉体1具体为双壁水冷炉体。2CN102839361A说明书1/2页化学气相沉积炉技术领域[0001]本发明涉及化学气相沉积技术的技术领域，特别提供了一种化学气相沉积炉。背景技术[0002]现有技术中,气相沉积炉包括炉体、加热体、进气口、出气口、模具等几部分，进气口在炉体底部或顶部，出气口通常与之相对，为使气相沉积均匀，进气口常采用同心圆筒的方式，模具对准进气口，且有齿轮使每一只吊挂的产品都进行自转。然而，当制作大尺寸的热解氮化硼制品时，容易导致锅底较厚，而侧壁较薄，同时由于原料气体在空间分布的不均匀，导致壁厚分布不均匀的现象时有发生。当同时制作多个热解氮化硼制品时，也容易导致导致壁厚分布不均匀。[0003]人们期望获得一种技术效果优良的化学气相沉积炉。发明内容[0004]本发明的目的在于提供一种技术效果优良的化学气相沉积炉。[0005]本发明具体提供了一种气相沉积炉，化学气相沉积炉，其由下述几部分构成：炉体1、进气口2、出气口3、模具4、旋转机构5以及发热体6；其中：发热体6、进气口2、出气口3都布置在炉体1上，进气口2设置在炉体1的上部，旋转机构5由转盘5.1、齿轮5.2、连接轴5.3、伞齿轮组5.4、齿套5.5以及电机5.6组成，发热体6由感应线圈6.1、加热体6.2以及石墨套筒6.3组成；电机5.6通过伞齿轮组5.4与转盘5.1相连，齿轮5.2共有5个且皆通过连接轴5.3固定在转盘5.1上，且每个齿轮5.2上都设置有一个模具4，模具随着齿轮5.2的动作实现模具4在炉体1内的公转与自转；其特征在于：所述旋转机构5设置在炉体1内的上端；进气口为三同心圆进气口。[0006]炉体1具体为双壁水冷炉体。[0007]该气相沉积炉的进气口为三同心圆进气口，在炉体1内或炉体1外设有旋转机构5，可以有多只产品模具4在炉体1内同时进行公转、自转。采用该气相沉积炉制备热解氮化硼（PBN）制品，能够提高PBN产品质量及其生产效率，降低生产成本采用三同心圆进气可以使原料气体混合的更加均匀，致使气体不发生明显的偏析，使得大坩埚与一炉多只的小坩埚颜色均匀。三同心圆进气口对于生产大尺寸产品的效果比同心圆进气口更好。[0008]采用本发明提供的气相沉积炉制备而得的产品，尺寸一致、颜色归一、规格相同，在提高产品合格率的同时，也大大提高了其生产效率。附图说明[0009]图1为一炉五只气相沉积炉结构图。具体实施方式[0010]实施例13CN102839361A说明书2/2