用于超大尺寸硅锭的多晶铸锭炉的热交换控制装置.pdf
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用于超大尺寸硅锭的多晶铸锭炉的热交换控制装置.pdf
本发明是一种用于超大尺寸硅锭的多晶铸锭炉的热交换控制装置,包括相对错层重叠设置的第一保温组件和第二保温组件,第一保温组件设有上下设置的第一下保温板和第一上保温板,第二保温组件设有上下设置的第二下保温板和第二上保温板,在第一下保温板和第二上保温板相向一侧上分别设有开口,在第一上保温板和第二下保温板相向一侧上分别设有与对应的开口配合密封的密封部;在第一保温组件和第二保温组件的下方分别设有驱动其前后同时运动的牵引导轨。本发明的第一保温组件和第二保温组件同时向中间或两端运动,从而能做到精确控制开口的大小,能有效的
用于超大尺寸硅锭的多晶铸锭炉的冷却装置.pdf
一种用于超大尺寸硅锭的多晶铸锭炉的冷却装置,包括设在多晶铸锭炉下炉体中的冷却散热板,在冷却散热板的中心处设有测温取样孔,在冷却散热板的下表面上铺满冷却管道,冷却管道设有一个进口和一个出口,在冷却散热板的下表面四周设有与下炉体相接的防护板Ⅰ,在冷却散热板上表面的测温取样孔四周设有防护板Ⅱ。本发明通过在多晶铸锭炉下炉体中设冷却散热板,冷却散热板的下表面上设有冷却管道,冷却管道中通入液体或惰性气体用于冷却,其冷却能力强,冷却速度加快;通过设置防护板Ⅰ和防护板Ⅱ可以防止坩埚破裂后料液从温取样孔或冷却散热板的四周流
用于超大尺寸硅锭的多晶铸锭炉炉体.pdf
一种用于超大尺寸硅锭的多晶铸锭炉炉体,包括设在多晶铸锭炉炉身中的冷却散热板,在冷却散热板的中心处设有测温取样孔,在冷却散热板的下表面上铺满冷却管道,冷却管道设有一个进口和一个出口,在冷却散热板的下表面四周设有与炉身相接的防护板Ⅰ,在冷却散热板上表面的测温取样孔四周设有防护板Ⅱ。本发明通过在多晶铸锭炉炉身中设冷却散热板,冷却散热板的下表面上设有冷却管道,冷却管道中通入液体或惰性气体用于冷却,其冷却能力强,冷却速度加快;通过设置防护板Ⅰ和防护板Ⅱ可以防止坩埚破裂后料液从温取样孔或冷却散热板的四周流出,从而加强
一种用于超大尺寸硅锭的多晶铸锭炉炉体.pdf
本发明公开的属于多晶铸锭炉技术领域,具体为一种用于超大尺寸硅锭的多晶铸锭炉炉体,包括铸锭炉体,所述铸锭炉体下侧设置有支撑架,所述铸锭炉体中设置有导热板,所述导热板上侧放置有坩埚,所述坩埚上侧设置有固定座,所述固定座与铸锭炉体上端之间安装有加热器升降装置,所述固定座上侧中部安装有上加热器,通过隔热箱提升装置的设置,隔热箱提升装置能够带动隔热箱上下移动,且配合封板升降装置带动封板上下移动,使隔热箱和封板之间能够接触配合,封闭隔热箱,上加热器和侧加热器产生的热量集中在隔热箱内腔中,向隔热箱外侧的逸散量较少,从而
多晶硅铸锭炉、多晶硅铸锭方法和多晶硅锭.pdf
本发明实施例提供了一种多晶硅铸锭炉,包括炉体、隔热笼,以及设置所述隔热笼内的坩埚、热交换台、护板和加热器隔热笼;所述隔热笼外壁上设有至少一个供氢组件,所述供氢组件包括一密封的储液箱和用于连通所述储液箱与所述隔热笼的至少一个导管,所述储液箱用于盛装液态碳氢化合物,所述供氢组件用于提供所述坩埚内的硅液进行氢钝化的氢源。该多晶硅铸锭炉能够便携、安全、有效地提供氢源,有利于多晶硅锭在制备过程中的氢钝化。本发明还提供了多晶硅铸锭方法和多晶硅锭。