一种用于超大尺寸硅锭的多晶铸锭炉炉体.pdf
骊蓉****23
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一种用于超大尺寸硅锭的多晶铸锭炉的冷却装置,包括设在多晶铸锭炉下炉体中的冷却散热板,在冷却散热板的中心处设有测温取样孔,在冷却散热板的下表面上铺满冷却管道,冷却管道设有一个进口和一个出口,在冷却散热板的下表面四周设有与下炉体相接的防护板Ⅰ,在冷却散热板上表面的测温取样孔四周设有防护板Ⅱ。本发明通过在多晶铸锭炉下炉体中设冷却散热板,冷却散热板的下表面上设有冷却管道,冷却管道中通入液体或惰性气体用于冷却,其冷却能力强,冷却速度加快;通过设置防护板Ⅰ和防护板Ⅱ可以防止坩埚破裂后料液从温取样孔或冷却散热板的四周流
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