用于超大尺寸硅锭的多晶铸锭炉炉体.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN106917138A(43)申请公布日2017.07.04(21)申请号201710268477.1(22)申请日2017.04.23(71)申请人连云港清友新能源科技有限公司地址222000江苏省连云港市海州区花果山大道17号3号楼305室(72)发明人不公告发明人(74)专利代理机构连云港润知专利代理事务所32255代理人朱小燕(51)Int.Cl.C30B28/06(2006.01)C30B29/06(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图4页(54)发明名称用于超大尺寸硅锭的多晶铸锭炉炉体(57)摘要一种用于超大尺寸硅锭的多晶铸锭炉炉体，包括设在多晶铸锭炉炉身中的冷却散热板，在冷却散热板的中心处设有测温取样孔，在冷却散热板的下表面上铺满冷却管道，冷却管道设有一个进口和一个出口，在冷却散热板的下表面四周设有与炉身相接的防护板Ⅰ，在冷却散热板上表面的测温取样孔四周设有防护板Ⅱ。本发明通过在多晶铸锭炉炉身中设冷却散热板，冷却散热板的下表面上设有冷却管道，冷却管道中通入液体或惰性气体用于冷却，其冷却能力强，冷却速度加快；通过设置防护板Ⅰ和防护板Ⅱ可以防止坩埚破裂后料液从温取样孔或冷却散热板的四周流出，从而加强了防护，提高了其安全性。CN106917138ACN106917138A权利要求书1/1页1.一种用于超大尺寸硅锭的多晶铸锭炉炉体，其特征在于：包括炉身和炉盖，炉身和炉盖的内壁和外壁之间均分别设有水冷夹层；在炉身的一侧设有炉盖提升柱，炉盖提升柱上套装有导向套筒，在炉盖提升柱的下端设有驱动炉盖提升柱上下运动的驱动机构，所述炉盖通过轴套安装在炉盖提升柱的上端；所述炉盖上设有检测口、预留口和若干进气口；所述炉身设有上端敞口的炉腔，在炉腔的底部设有若干冷却装置，在炉身的底部中心处设有与炉腔连通的的检测孔，在炉身的下部设有两个向外凸出、用于热交换控制器运动的容置腔，容置腔与炉腔连为一体，在炉身的下部还设有两个对称设置的抽真空出气口，在炉身的侧部和炉盖上分别设有数个铸锭炉加热组件接线放置腔。2.根据权利要求1所述的用于超大尺寸硅锭的多晶铸锭炉炉体，其特征在于：所述炉腔为正方形，所述容置腔对称设在炉身的两侧。3.根据权利要求2所述的用于超大尺寸硅锭的多晶铸锭炉炉体，其特征在于：所述抽真空出气口设在与容置腔相对的炉身两侧。4.根据权利要求1所述的用于超大尺寸硅锭的多晶铸锭炉炉体，其特征在于：所述进气口设有1-4个。5.根据权利要求1所述的用于超大尺寸硅锭的多晶铸锭炉炉体，其特征在于：所述炉盖的总厚度为40mm-100mm，炉身的总厚度为40-60mm。6.根据权利要求1所述的用于超大尺寸硅锭的多晶铸锭炉炉体，其特征在于：所述驱动机构包括电机驱动旋转的丝杆，丝杆竖直设置，所述炉盖提升柱设有中空的柱体，在柱体内设有与丝杆配合的螺母。7.根据权利要求1所述的用于超大尺寸硅锭的多晶铸锭炉炉体，其特征在于：所述冷却装置设有1-4个，每个冷却装置均设有冷却散热板，在冷却散热板的中心处设有测温取样孔，在冷却散热板的下表面上铺满冷却管道，冷却管道设有一个进口和一个出口，在冷却散热板的下表面四周设有与炉身底壁相接的防护板Ⅰ，在冷却散热板上表面的测温取样孔四周设有防护板Ⅱ。8.根据权利要求7所述的用于超大尺寸硅锭的多晶铸锭炉炉体，其特征在于：所述防护板Ⅰ和防护板Ⅱ为保温硬毡板、陶瓷板、氧化铝板、氧化锆板或石墨板，高度为20mm-60mm。9.根据权利要求1所述的用于超大尺寸硅锭的多晶铸锭炉炉体，其特征在于：所述冷却散热板为钼板或铜板，其厚度为20mm-60mm。10.根据权利要求1所述的用于超大尺寸硅锭的多晶铸锭炉炉体，其特征在于：所述冷却管道为钼管或铜管，其内径为20mm-60mm。2CN106917138A说明书1/3页用于超大尺寸硅锭的多晶铸锭炉炉体技术领域[0001]本发明涉及多晶硅生产设备技术领域，特别涉及一种用于超大尺寸硅锭的多晶铸锭炉炉体。背景技术[0002]太阳能光伏行业发展迅速，市场规模持续增长，但同时市场竞争激烈，为尽快实现平价上网，实现更大范围的普及应用，全行业各环节努力追求和获取高效率、低成本电池。在上游的晶硅环节，获得高品质、低成本的晶体非常重要，目前大尺寸（G6）多晶硅锭成为行业主流，下一代超大尺寸硅锭G7或G8成为当前趋势顺延发展的必由之路，可以提升硅锭重量，提高生产率，降低单耗、提高晶体品质。[0003]多晶硅铸锭炉是用于制造多晶硅锭的设备，利用定向凝固法生产多晶硅锭，首先将已装好硅料的坩埚装入炉腔中，然后进行抽空、加热、熔化、长晶、退火、冷却等工艺步骤。[0004]现有的多晶铸锭炉炉体结构不适用于超大尺寸硅锭的使用，因此需要一种用于超大尺寸硅