一种炉外装炉的方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN106917144A(43)申请公布日2017.07.04(21)申请号201510993940.X(22)申请日2015.12.25(71)申请人有研半导体材料有限公司地址101300北京市顺义区林河工业开发区双河路南侧(72)发明人王雅楠刘卓崔彬姜舰韩秋雨(74)专利代理机构北京北新智诚知识产权代理有限公司11100代理人刘秀青熊国裕(51)Int.Cl.C30B35/00(2006.01)权利要求书1页说明书2页附图1页(54)发明名称一种炉外装炉的方法(57)摘要本发明公开了一种炉外装炉的方法，在炉外采用环形夹具固定石墨坩埚，将石英坩埚置于石墨坩埚内，装料；将石墨坩埚、石英坩埚及多晶料整体放入炉内；装剩余部分热场或多晶料即可。所述环形夹具包括机械吊臂及直线导轨及滑块，其中机械吊臂安装在直线导轨上，并卡箍在石墨坩埚的外壁，滑块用于定位机械吊臂，根据石墨坩埚的大小，通过锁紧螺母将滑块固定在直线导轨的合适的位置上。本发明通过力矩等原理实现石墨坩埚、石英坩埚、多晶料的整体取放，整体性好，安全、方便。CN106917144ACN106917144A权利要求书1/1页1.一种炉外装炉的方法，其特征在于，在炉外采用环形夹具固定石墨坩埚，将石英坩埚置于石墨坩埚内，装料；将石墨坩埚、石英坩埚及多晶料整体放入炉内；装剩余部分热场或多晶料即可。2.根据权利要求1所述的炉外装炉的方法，其特征在于，所述环形夹具包括机械吊臂及直线导轨及滑块，其中机械吊臂安装在直线导轨上，并卡箍在石墨坩埚的外壁，滑块用于定位机械吊臂，根据石墨坩埚的大小，通过锁紧螺母将滑块固定在直线导轨的合适的位置上。3.根据权利要求1或2所述的炉外装炉的方法，其特征在于，所述环形夹具上安装有用于连接起重设备的吊环。4.根据权利要求1或2所述的炉外装炉的方法，其特征在于，所述环形夹具的材质为不锈钢或四氟材料。5.根据权利要求2所述的炉外装炉的方法，其特征在于，所述机械吊臂在接触石墨坩埚的部位覆盖四氟材料。2CN106917144A说明书1/2页一种炉外装炉的方法技术领域[0001]本发明涉及一种炉外装炉的方法，应用于单晶制备过程中的第一个重要步骤-装炉(装料)。背景技术[0002]在单晶制备过程中的第一个重要步骤-装炉(装料)中，现有操作顺序为：先将石墨坩埚放入炉内，然后将石英坩埚放入石墨坩埚内，再将多晶料装入石英坩埚。[0003]由于工作环境、热场尺寸等条件限制，造成操作人员装料困难，无法按照技术标准装料，甚至由于操作人员下腰幅度偏大使多晶料与石英坩埚撞击的几率增大，有砸毁石英坩埚的可能。[0004]在装好料后本应正常运行，但由于设备、热场等原因(捡漏高、加热时电极故障等)需要捡料，操作人员会将已经装入的多晶料捡出，再将石英坩埚抬出，再将石墨坩埚取出，进行排查工作。不仅工作量大，也增加了石英坩埚沾污、热场损坏等风险。[0005]随着热场尺寸的升级，投料量的不断增加，生产环境的制约等，先装石英坩埚再逐步装料的方法越来越不方便，增加了砸埚、装料不规范等风险，在装好炉设备存在问题需要捡料的情况下，风险更是增加数倍。发明内容[0006]本发明的目的在于提供一种炉外装炉的方法，将石墨坩埚、石英坩埚、多晶料整体装入炉内，减少外界金属污染等问题。[0007]为实现上述目的，本发明采取以下技术方案：[0008]一种炉外装炉的方法，在炉外采用环形夹具固定石墨坩埚，将石英坩埚置于石墨坩埚内，装料；将石墨坩埚、石英坩埚及多晶料整体放入炉内；装剩余部分热场或多晶料即可。[0009]所述环形夹具包括机械吊臂及直线导轨及滑块，其中机械吊臂安装在直线导轨上，并卡箍在石墨坩埚的外壁，滑块用于定位机械吊臂，根据石墨坩埚的大小，通过锁紧螺母将滑块固定在直线导轨的合适的位置上。[0010]所述环形夹具上安装有用于连接起重设备的吊环。[0011]所述环形夹具的材质为不锈钢或四氟材料，所述机械吊臂在接触石墨坩埚的部位覆盖四氟材料。[0012]本发明的优点在于：[0013]本发明通过力矩等原理实现石墨坩埚、石英坩埚、多晶料的整体取放，整体性好，安全、方便。附图说明[0014]图1为本发明中环形夹具与石墨坩埚的安装结构示意图。3CN106917144A说明书2/2页[0015]图2为图1中机械吊臂1的结构示意图。具体实施方式[0016]下面结合附图对本发明做进一步说明，但并不意味着对本发明保护范围的限制。[0017]在本发明中，使用环形夹具将石墨坩埚、石英坩埚及多晶料整体放入炉内。如图1所示，所使用的环形夹具包括机械吊臂1及直线导轨2及滑块3，其中机械吊臂1安装在直线导轨2上，并卡箍在石墨坩埚4的外壁，滑块3用于定位机械吊臂1，根据石墨坩埚的大小，