一种制备CoCrAlY合金靶材的方法.pdf
明钰****甜甜
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一种制备CoCrAlY合金靶材的方法.pdf
本发明公开了一种制备CoCrAlY合金靶材的方法,该方法的步骤包括:通过提供成分配比的重量百分比wt%为:Cr:26‑32,Al:6‑10,Y:0.5‑1.5,其余为Co;选择配置合金;在真空感应炉(VIM)中采用熔炼和浇铸工艺制备CoCrAlY合金。通过本发明,能够通过合理选择各种合金及其熔铸顺序工艺,稳定其中低熔点和活泼易氧化元素的含量,使熔体清亮少渣流动性好,保证了成分配比,提高了合金熔炼的成品率和质量稳定性,同时减少了Y元素的损耗,避免了Y元素无法加入的现象,制备得到成分合格,无偏析的CoCrAl
一种钼合金靶材制备方法、钼合金靶材和应用.pdf
本发明属于粉末冶金技术领域,具体提供一种钼合金靶材及其制备方法和应用。所述钼合金靶材的制备方法包括如下步骤:配制原料:按照所述靶材各元素质量配比称取原料混合,以质量百分数计,所述靶材包括如下成分,Ni:10%~30%,Ti:5%~25%,W:1%~20%和Re:0.5%~5%,余量为Mo和不可避免的杂质,且Mo的质量百分比≥50%;冷等静压;热等静压;热轧;退火。本申请方法制备的靶材塑韧性好,变形能力好,晶粒细小均匀。用本申请制备的靶材溅射沉积的薄膜厚度分布更均匀,可通过溅射方式附着在电子部件用层叠配线膜
一种CdIn合金靶材及其制备方法.pdf
本发明提供了一种CdIn合金靶材及其制备方法,属于靶材制备领域。本发明制备CdIn合金旋转靶通过熔炼法制备,简单快速,成本低廉。本发明制备方法不受制于热压烧结设备及烧结模具的限制,可实现尺寸和形状的自由调整。本发明铸造法制备的靶材具有较高的密度,致密度接近100%,明显优于烧结法制备的掺铟氧化镉靶材95%的致密度。铸造CdIn合金靶材较大程度保留了合金的金属性能,具有良好的塑性和韧性,克服了烧结法制备的掺铟氧化镉靶材脆性极大,磕碰及靶材溅射过程工艺控制稍微不良就可能造成开裂导致报废靶材的缺点。
一种钼合金靶材的制备方法.pdf
本发明涉及一种钼合金靶材的制备方法,属于溅射靶材的制造技术领域,解决了现有技术中靶材致密度较低和晶粒较为粗大的问题。本发明通过将按照钼合金成分配比的混合粉末,进行预压成型,得到预成型钼合金靶坯,然后置于包套内预热除气,真空封焊,继续放入热等静压炉中,进行热等静压处理,得到致密化钼合金预制靶材,去除包套,再进行升温降压处理,精加工后得到钼合金靶材;其中升温降压处理的温度高于热等静压处理温度,升温降压处理的压力低于热等静压处理压力。从而实现了消除预制靶材内部‑表面的贯通气孔,得到致密度高、晶粒细小的钼合金靶材
一种AlCu合金靶材制备方法.pdf
本发明公开了一种AlCu合金靶材制备方法,涉及真空镀膜领域,旨在解决常规AlCu合金靶材气孔、表面缺陷较多的问题,其技术方案要点是:S1:按照原子质量份数,将99%~99.9%的Al粉末、0.1%~1%的Cu粉体倒入真空气雾化设备中,制备AlCu合金粉末;S2:将所述混合粉体进行压制成型,得到AlCu合金圆棒形毛坯;S3:将所述合金圆棒形毛坯进行挤压成型,挤压后快速冷却产品,得到AlCu合金毛坯管靶材或者平面圆靶材;S4:将上述靶材进行退火;S5:将上述合金毛坯管靶材与6系铝合金加工后焊接并加工得到AlC