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一种钼合金靶材制备方法、钼合金靶材和应用.pdf
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一种钼合金靶材制备方法、钼合金靶材和应用.pdf
本发明属于粉末冶金技术领域,具体提供一种钼合金靶材及其制备方法和应用。所述钼合金靶材的制备方法包括如下步骤:配制原料:按照所述靶材各元素质量配比称取原料混合,以质量百分数计,所述靶材包括如下成分,Ni:10%～30%,Ti:5%～25%,W:1%～20%和Re:0.5%～5%,余量为Mo和不可避免的杂质,且Mo的质量百分比≥50%;冷等静压;热等静压;热轧;退火。本申请方法制备的靶材塑韧性好,变形能力好,晶粒细小均匀。用本申请制备的靶材溅射沉积的薄膜厚度分布更均匀,可通过溅射方式附着在电子部件用层叠配线膜
2023-05-18
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一种钼合金靶材的制备方法.pdf
本发明涉及一种钼合金靶材的制备方法，属于溅射靶材的制造技术领域，解决了现有技术中靶材致密度较低和晶粒较为粗大的问题。本发明通过将按照钼合金成分配比的混合粉末，进行预压成型，得到预成型钼合金靶坯，然后置于包套内预热除气，真空封焊，继续放入热等静压炉中，进行热等静压处理，得到致密化钼合金预制靶材，去除包套，再进行升温降压处理，精加工后得到钼合金靶材；其中升温降压处理的温度高于热等静压处理温度，升温降压处理的压力低于热等静压处理压力。从而实现了消除预制靶材内部‑表面的贯通气孔，得到致密度高、晶粒细小的钼合金靶材
2023-06-15
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钼合金靶材的制法.pdf
一种钼合金靶材的制法，其步骤为：（1）将钼粉与选自钛、铬、铌及钽族群的至少一种金属元素与碳的粉末混合成均匀的合金粉；（2）将该合金粉添入加压容器中，在真空下将加压容器进行除气制程，并密封除气孔；（3）利用热等静压工艺加压、加温，并添加入氧气于该加压容器中，使该合金粉成为合金胚；（4）将该合金胚于高温炉退火；（5）该合金经切割、精磨、机械加工成为钼合金靶材成品；本发明的制法可简化习知钼合金靶材的制程，且可减少钼合金靶材的生产周期及能有效提高钼合金材料的塑性。
2023-06-14
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本发明提供了一种钒钼合金靶材及其制备方法，该靶材由钒粉、钼粉及粘结剂制作组成，其中钒粉与钼粉的质量配比为99:1～90:10，所述钒粉与钼粉的纯度大于99.5％。该制备方法包括以下步骤：按比例称取钒粉与钼粉，并将两者充分混匀；将混匀的钒粉和钼粉加入粘结剂进一步混匀，并处理得到干燥的钒钼粉与粘结剂的复合粉末材料；将步骤(2)的复合粉末材料进行等离子喷涂操作；取下喷涂所得的构件，并对所述构件进行处理得到成品。本发明的钒钼合金靶材均匀性好，稳定性高。本发明的制备方法采用等离子喷涂方式简单易行，无需模具设计和昂贵
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本发明涉及一种钼铌合金靶材及其制备方法、黑化膜。其中，钼铌合金靶材包括如下质量份的原料组分：钼45‑89.1份、铌5‑9.9份以及金属氧化物1‑50份；其中，所述金属氧化物选自氧化铝和氧化锌中的至少一种。上述钼铌合金靶材的原料组分配比合理，在传统的钼铌合金靶材的基础上，添加至少一种上述金属氧化物，经实验验证，经上述钼铌合金靶材最终制得的黑化膜可以减少或消除电子产品表面的反射光，增加透光量，减少杂散光吸收。
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