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一种钼合金靶材制备方法、钼合金靶材和应用.pdf
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一种钼合金靶材制备方法、钼合金靶材和应用.pdf
本发明属于粉末冶金技术领域,具体提供一种钼合金靶材及其制备方法和应用。所述钼合金靶材的制备方法包括如下步骤:配制原料:按照所述靶材各元素质量配比称取原料混合,以质量百分数计,所述靶材包括如下成分,Ni:10%～30%,Ti:5%～25%,W:1%～20%和Re:0.5%～5%,余量为Mo和不可避免的杂质,且Mo的质量百分比≥50%;冷等静压;热等静压;热轧;退火。本申请方法制备的靶材塑韧性好,变形能力好,晶粒细小均匀。用本申请制备的靶材溅射沉积的薄膜厚度分布更均匀,可通过溅射方式附着在电子部件用层叠配线膜
2023-05-18
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本发明涉及一种钼合金靶材的制备方法，属于溅射靶材的制造技术领域，解决了现有技术中靶材致密度较低和晶粒较为粗大的问题。本发明通过将按照钼合金成分配比的混合粉末，进行预压成型，得到预成型钼合金靶坯，然后置于包套内预热除气，真空封焊，继续放入热等静压炉中，进行热等静压处理，得到致密化钼合金预制靶材，去除包套，再进行升温降压处理，精加工后得到钼合金靶材；其中升温降压处理的温度高于热等静压处理温度，升温降压处理的压力低于热等静压处理压力。从而实现了消除预制靶材内部‑表面的贯通气孔，得到致密度高、晶粒细小的钼合金靶材
2023-06-15
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钼合金靶材的制法.pdf
一种钼合金靶材的制法，其步骤为：（1）将钼粉与选自钛、铬、铌及钽族群的至少一种金属元素与碳的粉末混合成均匀的合金粉；（2）将该合金粉添入加压容器中，在真空下将加压容器进行除气制程，并密封除气孔；（3）利用热等静压工艺加压、加温，并添加入氧气于该加压容器中，使该合金粉成为合金胚；（4）将该合金胚于高温炉退火；（5）该合金经切割、精磨、机械加工成为钼合金靶材成品；本发明的制法可简化习知钼合金靶材的制程，且可减少钼合金靶材的生产周期及能有效提高钼合金材料的塑性。
2023-06-14
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本发明提供了一种钒钼合金靶材及其制备方法，该靶材由钒粉、钼粉及粘结剂制作组成，其中钒粉与钼粉的质量配比为99:1～90:10，所述钒粉与钼粉的纯度大于99.5％。该制备方法包括以下步骤：按比例称取钒粉与钼粉，并将两者充分混匀；将混匀的钒粉和钼粉加入粘结剂进一步混匀，并处理得到干燥的钒钼粉与粘结剂的复合粉末材料；将步骤(2)的复合粉末材料进行等离子喷涂操作；取下喷涂所得的构件，并对所述构件进行处理得到成品。本发明的钒钼合金靶材均匀性好，稳定性高。本发明的制备方法采用等离子喷涂方式简单易行，无需模具设计和昂贵
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