一种石英舟清洗饱和工艺.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN107123613A(43)申请公布日2017.09.01(21)申请号201710259490.0(22)申请日2017.04.20(71)申请人通威太阳能（合肥）有限公司地址230088安徽省合肥市高新区长宁大道888号(72)发明人钱忠刚郑傲然詹杰于伟涛(74)专利代理机构昆明合众智信知识产权事务所53113代理人张玺(51)Int.Cl.H01L21/673(2006.01)B08B3/12(2006.01)B08B3/08(2006.01)权利要求书1页说明书3页(54)发明名称一种石英舟清洗饱和工艺(57)摘要本发明涉及太阳能电池板制造技术领域，尤其为一种石英舟清洗饱和工艺，包括以下步骤：1)在石英舟清洗槽内加入配比为3：1：(5-15)的HF、HCL和纯水的混合物；2)将石英舟放入清洗槽内浸泡清洗；3)采用气体对清洗后的石英舟进行吹干处理；4)将石英舟放入炉管中通过流量稳定的4.5-5.5slm的N2、1450-1550sccm的POCL3和350-400sccmO2进行沉积反应，反应时间为115min-125min，反应温度为865℃-875℃；5)沉积结束后，停止POCL3的通入，将N2的流量控制在8.8-9.2slm，O2的流量控制在950-1050sccm进行推进处理，处理时间为4.5min-5.5min，温度控制在870-880℃；6)推进结束后停止O2的通入，将N2的流量控制在27-33slm处理时间为2.5min-3.5min，温度控制在825-835℃。改变石英舟酸洗配比，减少石英舟在炉管内通POCL3沉积时间，从而提升产能。CN107123613ACN107123613A权利要求书1/1页1.一种石英舟清洗饱和工艺，其特征在于，包括以下步骤：1)在石英舟清洗槽内加入配比为3：1：(5-15)的HF、HCL和纯水的混合物；2)将石英舟放入清洗槽内浸泡清洗15min-50min，此过程中用频率为40HZ的超声波进行辅助清洗；3)采用气体对清洗后的石英舟进行吹干处理；4)将石英舟放入炉管中通过流量稳定的4.5-5.5slm的N2、1450-1550sccm的POCL3和350-400sccmO2进行沉积反应，反应时间为115min-125min，反应温度为865℃-875℃；5)沉积结束后，停止POCL3的通入，将N2的流量控制在8.8-9.2slm，O2的流量控制在950-1050sccm进行推进处理，处理时间为4.5min-5.5min，温度控制在870-880℃；6)推进结束后停止O2的通入，将N2的流量控制在27-33slm,进行冷却，冷却时间为2.5min-3.5min，温度控制在825-835℃。2.根据权利要求1所述的一种石英舟清洗饱和工艺，其特征在于，4)中炉管中通过流量稳定的5slm的N2、1500sccm的POCL3和375sccmO2进行沉积反应，反应时间为120min，反应温度为870℃。3.根据权利要求1所述的一种石英舟清洗饱和工艺，其特征在于，5)中将N2的流量控制在9slm，O2的流量控制在1000sccm进行推进处理，处理时间为5min，温度控制在875℃。4.根据权利要求1所述的一种石英舟清洗饱和工艺，其特征在于，6)中将N2的流量控制在30slm冷却时间为3min，温度控制在830℃。2CN107123613A说明书1/3页一种石英舟清洗饱和工艺技术领域[0001]本发明涉及太阳能电池板制造技术领域，具体为一种石英舟清洗饱和工艺。背景技术[0002]太阳能电池板扩散用石英舟在使用一段时间后会变脏，容易造成电池板卡槽印、崩边等不良，因此需要对石英舟进行定期清洗。新清洗的石英舟在使用前需进行饱和处理，目的是保证正常生产时，不会造成硅片外观和方阻异常。[0003]之前石英舟清洗饱和工艺流程存在以下问题，饱和时间长，影响产能；清洗饱和过的石英舟外观效果差，舟尾清洗不干净；POCL3、O2、N2用量较多；故需要对石英舟清洗饱和流程进行优化，来改善清洗效果、降低运营成本及提升产能。发明内容[0004]本发明的目的在于提供一种石英舟清洗饱和工艺，以解决上述背景技术中提出的问题。所述石英舟清洗饱和工艺具有减少饱和时间，节约气体用量的特点。[0005]为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：[0006]一种石英舟清洗饱和工艺，包括以下步骤：[0007]1)在石英舟清洗槽内加入配比为3：1：(5-15)的HF、HCL和纯水的混合物；[0008]2)将石英舟放入清洗槽内浸泡清洗15min-50min，此过程中用频率为40HZ的超声波进行辅助清洗；[0009]3)采用气体对清洗后的石英舟进行吹干处理；[0010]