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一种石英舟清洗装置.pdf

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本实用新型公开了一种石英舟清洗装置,包括槽体、底部支撑结构、中部支撑结构及循环装置,所述槽体的上端开口,用于盛放清洗药液;底部支撑结构设置于所述槽体的内部;中部支撑结构设置于所述槽体的内部并位于所述底部支撑结构的上方,所述中部支撑结构能够调整与所述底部支撑结构的相对位置,以向所述底部支撑结构上放置石英舟;所述底部支撑结构和所述中部支撑结构均用于支撑石英舟。该石英舟清洗装置可以分两层放置石英舟,提高一次清洗的石英舟个数,从而提高石英舟的清洗效率;通过设置循环装置,可以使清洗药液在槽体内循环流动,从而提高石英舟的清洗效果。