一种多晶铸锭炉.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN109161962A(43)申请公布日2019.01.08(21)申请号201811434712.9(22)申请日2018.11.28(71)申请人扬州荣德新能源科技有限公司地址225131江苏省扬州市出口加工区扬子江南路9号(72)发明人常传波杨振帮袁聪唐骏(74)专利代理机构北京金信知识产权代理有限公司11225代理人黄威郭迎侠(51)Int.Cl.C30B28/06(2006.01)C30B29/06(2006.01)权利要求书1页说明书4页附图1页(54)发明名称一种多晶铸锭炉(57)摘要本发明实施例提供了一种多晶铸锭炉，包括：炉体，其内部具有圆筒形炉腔；隔热笼，其与所述炉腔外形匹配，并悬设在所述炉腔内；保温机构，其装设于所述隔热笼内以形成至少部分位于所述隔热笼内的圆筒形保温腔室；加热机构，其装设于所述保温腔室内；以及冷却机构，其装设于所述保温腔室内，用于在硅料进入晶体生长阶段后降低保温腔室底部的温度，形成上高下低的垂直温度场。本发明的多晶铸锭炉能够用于有效解决炉腔内热场空间利用率差，硅片光电转换效率不均匀，晶体生长动力低的问题，保证晶体的生产效率及质量。CN109161962ACN109161962A权利要求书1/1页1.一种多晶铸锭炉，其特征在于，包括：炉体，其内部具有圆筒形炉腔；隔热笼，其与所述炉腔外形匹配，并悬设在所述炉腔内；保温机构，其装设于所述隔热笼内以形成至少部分位于所述隔热笼内的圆筒形保温腔室；加热机构，其装设于所述保温腔室内；冷却机构，其装设于所述保温腔室内，用于在硅料进入晶体生长阶段后降低保温腔室底部的温度，形成上高下低的垂直温度场。2.根据权利要求1所述的多晶铸锭炉，其特征在于，所述保温机构包括圆板状的上保温板和下保温板，以及多块圆弧形的侧保温板，多块所述侧保温板固定铺设在所述隔热笼的内壁上，所述上保温板与下保温板分别设于所述隔热笼的上端和下端。3.根据权利要求1所述的多晶铸锭炉，其特征在于，所述保温机构包括圆板状的上保温板和下保温板，以及多块由柔性材质制成的侧保温板，多块所述侧保温板固定铺设在所述隔热笼的内壁上，所述上保温板与下保温板分别设于所述隔热笼的上端和下端。4.根据权利要求2或3所述的多晶铸锭炉，其特征在于，所述隔热笼的上端及下端敞口，所述上保温板盖设在所述隔热笼的上端口处，所述炉体的下端设有立柱，所述下保温板通过所述立柱固定在位于所述隔热笼外的炉体内。5.根据权利要求2或3所述的多晶铸锭炉，其特征在于，所述加热机构包括多个加热器，多个所述加热器位于所述上保温板的下方。6.根据权利要求5所述的多晶铸锭炉，其特征在于，所述加热器包括设于所述隔热笼上端的上加热器和设于所述隔热笼内并呈圆筒形网状结构的侧加热器。7.根据权利要求2或3所述的多晶铸锭炉，其特征在于，所述冷却机构包括热交换器，所述下保温板穿设在所述立柱上，所述热交换器通过所述立柱固定在所述下保温板的上方。8.根据权利要求7所述的多晶铸锭炉，其特征在于，所述热交换器具有均与炉体连通用于分别引入及导出冷却水的进水管和出水管。9.根据权利要求7所述的多晶铸锭炉，其特征在于，所述热交换器内设有环形水路，所述进水管与出水管均与所述环形水路连通。2CN109161962A说明书1/4页一种多晶铸锭炉技术领域[0001]本发明实施例涉及多晶硅生产制备领域，特别涉及一种多晶硅铸锭炉。背景技术[0002]为实现多晶硅锭的定向凝固生长，铸锭炉内需要安装一稳定的热场。目前常用的多晶硅铸锭炉内设有一立方体形的隔热笼，隔热笼内部设有保温部件、加热部件、热交换台，热交换台位于下保温板的上方。硅块置于隔热控内，在硅块熔化过程中，将隔热笼下降到最低位置，隔热笼和下保温板将硅块完全包裹，通过加热使硅块完全熔化。在硅料熔化完成进入晶体生长阶段后，通过提升隔热笼，使热量从隔热笼和下保温板间的缝隙流出，从而降低热场底部温度，获得晶体生长所需的驱动力。[0003]但是随着投料量的增加，炉内硅液的潜热增大，仅依靠隔热笼和下保温板打开的缝隙带走热量，晶体生长的驱动力明显不足，将直接导致硅锭生长速率缓慢，影响单位时间内的硅锭产出。同时目前多晶铸锭炉在圆筒形炉型的基础上采用方形热场，浪费空间的同时热场温度梯度均匀性较差，边角晶砖产出的硅片光电转换效率明显较中心偏低。发明内容[0004]本发明提供了一种用于解决炉腔内热场空间利用率差，硅片光电转换效率不均匀，晶体生长动力低的多晶铸锭炉。[0005]为了解决上述技术问题，本发明实施例提供了一种多晶铸锭炉，包括：[0006]炉体，其内部具有圆筒形炉腔；[0007]隔热笼，其与所述炉腔外形匹配，并悬设在所述炉腔内；[0008]保温机构，其装设于所述隔热笼内以形成至