改善PERC高效电池EL良率的工艺.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN107331728A(43)申请公布日2017.11.07(21)申请号201710470049.7(22)申请日2017.06.20(71)申请人常州亿晶光电科技有限公司地址213000江苏省常州市金坛市尧塘镇金武路18号(72)发明人高翔孙铁囤姚伟忠(74)专利代理机构常州市英诺创信专利代理事务所(普通合伙)32258代理人郑云(51)Int.Cl.H01L31/18(2006.01)H01L31/0224(2006.01)H01L31/049(2014.01)权利要求书1页说明书2页附图1页(54)发明名称改善PERC高效电池EL良率的工艺(57)摘要本发明涉及太阳能电池片制备技术领域，尤其是一种改善PERC高效电池EL良率的工艺，该工艺包括以下步骤：a、将炉管内的温度提升至800±200℃，然后向炉管内通入5000±1000sccm氮气进行吹扫，去除炉管内杂质物；b、接着向炉管内通入5000±1000sccm氧气，将步骤a中不能去除的杂质进行氧化反应；c、将炉管内的温度降至500±200℃，通入氮气进行吹扫，将杂质氧化反应后的生成物吹除；d、最后将硅片送入炉管内进行退火处理，本发明的改善PERC高效电池EL良率的工艺将沉淀在炉管里的杂质通过提升温度，通入氮气和氧气，将杂质氧化反应并吹除后，再进行退火处理，Voc和效率有所提升，EL无异常。CN107331728ACN107331728A权利要求书1/1页1.一种改善PERC高效电池EL良率的工艺，其特征在于：该工艺包括以下步骤：a、将炉管内的温度提升至800±200℃，然后向炉管内通入5000±1000sccm氮气进行吹扫，去除炉管内杂质物；b、接着向炉管内通入5000±1000sccm氧气，将步骤a中不能去除的杂质进行氧化反应；c、将炉管内的温度降至500±200℃，将里面的杂质凝固，变成粉尘，通入氮气进行吹扫，将杂质氧化反应后的生成物吹除；d、最后将硅片送入炉管内进行退火处理。2CN107331728A说明书1/2页改善PERC高效电池EL良率的工艺技术领域[0001]本发明涉及太阳能电池片制备技术领域，尤其是一种改善PERC(钝化发射极背面接触太阳能电池)高效电池EL良率的工艺。背景技术[0002]目前常规退火是高温去水汽，增加氧化铝的致密性，在实际的生产过程中发现，炉管工艺次数达到一定量时，制程电池片EL测试检测出硅片的表面有黑点存在，VOC偏低。发明内容[0003]本发明要解决的技术问题是：为了解决现有技术炉管工艺次数达到一定量时，硅片退火去水汽时，所制程的电池片EL测试时，存在硅片表面有黑点存在且VOC偏低的问题，现提供一种改善PERC(钝化发射极背面接触太阳能电池)高效电池EL良率的工艺。[0004]本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：一种改善PERC(钝化发射极背面接触太阳能电池)高效电池EL良率的工艺，该工艺包括以下步骤：[0005]a、将炉管内的温度提升至800±200℃，然后向炉管内通入5000±1000sccm氮气进行吹扫，去除炉管内杂质物；[0006]b、接着向炉管内通入5000±1000sccm氧气，将步骤a中不能去除的杂质进行氧化反应；[0007]c、将炉管内的温度降至500±200℃，将里面的杂质凝固，变成粉尘，通入氮气进行吹扫，将杂质氧化反应后的生成物吹除；[0008]d、最后将硅片送入炉管内进行退火处理。[0009]本发明的有益效果是：本发明的改善PERC高效电池EL良率的工艺将沉淀在炉管里的杂质通过提升温度，通入氮气和氧气，将杂质氧化反应并吹除后，再进行退火处理，Voc和效率有所提升，EL无异常，附图说明[0010]下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。[0011]图1是对比例1中常规高温去水汽制成电池片后的EL示意图；[0012]图2是实施例1中高温去水汽后制成电池片后的EL示意图。具体实施方式[0013]现在结合附图对本发明作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本发明的基本结构，因此其仅显示与本发明有关的构成，方向和参照(例如，上、下、左、右、等等)可以仅用于帮助对附图中的特征的描述。因此，并非在限制性意义上采用以下具体实施方式，并且仅仅由所附权利要求及其等同形式来限定所请求保护的主题的范围。3CN107331728A说明书2/2页[0014]实施例1[0015]一种改善PERC高效电池EL良率的工艺，该工艺包括以下步骤：[0016]a、将炉管内的温度提升至800±200℃，然后向炉管内通入5000±1000sccm氮气进行吹扫，去除炉管内杂质物；[0017]b、接着向炉管内通入5000±1000sccm氧气，将步骤a中不