一种单晶硅生长炉电极升降机构.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN107400925A(43)申请公布日2017.11.28(21)申请号201710651623.9(22)申请日2017.08.02(71)申请人上海汉虹精密机械有限公司地址200444上海市宝山区宝山城市工业园区山连路188号(72)发明人刘海贺贤汉郡司拓(74)专利代理机构上海顺华专利代理有限责任公司31203代理人顾雯(51)Int.Cl.C30B29/06(2006.01)C30B35/00(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图2页(54)发明名称一种单晶硅生长炉电极升降机构(57)摘要本发明涉及单晶炉设备技术领域，具体是一种单晶硅生长炉电极升降机构，包括安装在单晶炉炉底盘上的第一主电极、第一辅助电极、第二主电极、第二辅助电极、第一副电极和第二副电极这六个电极单元，其中：第一主电极和第一辅助电极通过第一连接轴联动形成第一对电极组，所述第一主电极与第一辅助电极共同连接第一侧部加热器。本发明的有益效果是，热场的侧部加热器和底部加热器可以随坩埚位置变化而变化，热场温度更均衡，有利于晶体生长，提升生长晶棒的品质。CN107400925ACN107400925A权利要求书1/1页1.一种单晶硅生长炉电极升降机构，其特征在于，包括安装在单晶炉炉底盘(99)上的第一主电极(100)、第一辅助电极(200)、第二主电极(300)、第二辅助电极(400)、第一副电极(500)和第二副电极(600)这六个电极单元，其中：第一主电极(100)和第一辅助电极(200)通过第一连接轴(12)联动形成第一对电极组，所述第一主电极(100)与第一辅助电极(200)共同连接第一侧部加热器；第二主电极(300)和第二辅助电极(400)通过第二连接轴(34)联动形成第二对电极组，所述第二主电极(300)与第二辅助电极(400)共同连接第二侧部加热器；第一副电极(500)和第二副电极(600)通过软轴(56)联动形成第三对电极组，所述第一副电极(500)与第二副电极(600)共同连接底部加热器；所述第一主电极(100)、第二主电极(300)、第一副电极(500)及第二副电极(600)分别连通电源，所述第一主电极(100)、第二主电极(300)及第一副电极(500)均配有动力单元(700)；每个电极单元均具有一安装在单晶炉炉底盘上的基架(11)及直线导轨(10)、电极升降架(9)、电缆连接板(8)、升降机(12)、焊接波纹管(14)、电极(15)、绝缘套(16)、冷却水管(17)及电极套(18)，所述基架(11)向上垂直安装直线导轨(10)，电极升降架(9)安装在所述直线导轨(10)的滑块上，所述电极升降架(9)上安装电极套(18)，该电极套(18)内依次设有绝缘套(16)和电极(15)，所述电极(15)的轴心线处设有冷却水管(17)，所述水管(17)连通四通接头(19)，该电极(15)的底部设有电缆连接板(8)，所述电极升降架(9)连接升降机(12)，该电极升降架(9)连接焊接波纹管(14)的一端，所述焊接波纹管(14)的另一端固定在所述单晶炉炉底盘(99)上；所述动力单元(700)包括伺服马达(7)、减速器(4)及齿轮箱(1)，在所述基架(11)上安装马达座(6)，所述伺服马达(7)安装在该马达座(6)上，所述伺服马达(7)依次连接第一联轴器(5)、减速器(4)、第二联轴器(2)及齿轮箱(1)，所述齿轮箱(1)与所述基架(11)固定连接。2.根据权利要求1所述的单晶硅生长炉电极升降机构，其特征在于，所述的第一侧部加热器和第二侧部加热器为一体式结构。3.根据权利要求1所述的单晶硅生长炉电极升降机构，其特征在于，所述的动力单元(700)还包括安装板(3)，所述安装板设置在基架(11)的一侧，所述减速器(4)与马达座(6)固定在该减速器安装板(3)上。4.根据权利要求1所述的单晶硅生长炉电极升降机构，其特征在于，所述的四通接头(19)设置在所述水管(17)的底部。5.根据权利要求1所述的单晶硅生长炉电极升降机构，其特征在于，所述的电极套(18)的上端与电极(15)的上端之间安装绝缘板(13)。2CN107400925A说明书1/3页一种单晶硅生长炉电极升降机构技术领域[0001]本发明涉及单晶炉设备技术领域，具体是一种单晶硅生长炉电极升降机构。背景技术[0002]现有主流单晶硅生长炉的主电极和副电极都是固定在炉底盘上，无法升降，因此与主电极相连的侧部加热器、与副电极相连的底部加热器都是固定的。在长晶时，坩埚位置会逐渐上升，与加热器位置发生变化，导致热场不均衡，影响长晶和生产晶棒品质。发明内容[0003]本发明的目的在于克服现有技术的不足，提供一种可分别操作两组侧部加热器及一