一种单晶硅生长炉的外部装料机构.pdf
雨巷****轶丽
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一种单晶硅生长炉的外部装料机构.pdf
本发明公开了一种单晶硅生长炉的外部装料机构,包括生长炉炉体,生长炉炉体的两侧上端均固定连接有支撑板,支撑板的上端共同固定连接有安装板,安装板的两侧之间的距离比两个支撑板之间的距离大,安装板的一侧安装有上料机构,安装板的中部安装有注料机构,安装板的中部安装有四个辅助支撑机构,本发明的安装板上设置了注料机构,注料机构的分流板插在生长炉炉体的内部,当单晶硅原料落入固定罩的内部时,分流板会将单晶硅原料分成多股,分流后的单晶硅原料会沿着分流板落到生长炉炉体的内侧壁上,并沿着生长炉炉体的内侧壁落到生长炉炉体的内部下端
用于单晶炉的外部装料机构.pdf
本发明涉及直拉硅单晶生长设备的辅助设备,旨在提供用于单晶炉的外部装料机构。该用于单晶炉的外部装料机构包括石英坩埚、真空吸盘、手动真空阀、真空表、密封圈和真空泵,真空吸盘上设有至少两个气咀,分别连接有手动真空阀和真空表,手动真空阀通过气咀与真空泵连接,真空吸盘通过密封圈和石英坩埚密封连接。本发明能在拉晶的任何时候将多晶硅料装入石英坩埚内,不需要等待擦炉完毕,再将石英坩埚先放入热场内再进行。使装料过程由全人工转变为机械化,节约了装料的时间,使操作更简单、便捷,同时也避免了装料过程中多晶硅原料碎屑掉入热场内带来
一种单晶硅生长炉气缸锁紧机构.pdf
本发明涉及单晶炉设备技术领域,具体是一种具有气缸锁紧机构的单晶硅生长炉,包括至少两组安装在单晶硅生长炉上的气缸锁紧机构,每组气缸锁紧机构包括锁紧气缸、气缸支座、固定座、锁紧臂、锁紧块、转轴及无油衬套。本发明的有益效果是,通过气缸锁紧机构来对上炉筒与隔离阀之间实现自动锁紧和脱离、炉盖与炉筒水冷法兰之间自动锁紧和脱,不仅实现自动化作业,简化操作,且相较于原先的螺栓紧固,密封性能更好,稳定度更好,使用期限更长。
用于单晶硅生长炉炉室锁紧机构.pdf
本发明涉及单晶硅制备设备,旨在提供一种用于单晶硅生长炉炉室锁紧机构。该用于单晶硅生长炉炉室锁紧机构包括锁紧块、锁紧钩、传递套、气动件、控制元件,用于副炉室和隔离阀进行锁紧与松开。本发明既能使实现副炉室单独升降保持松开状态,也能使副炉室与隔离阀同步升降时保持锁紧状态,保证了副炉室和隔离阀同步升降时候的安全性。
一种单晶硅生长炉电极升降机构.pdf
本发明涉及单晶炉设备技术领域,具体是一种单晶硅生长炉电极升降机构,包括安装在单晶炉炉底盘上的第一主电极、第一辅助电极、第二主电极、第二辅助电极、第一副电极和第二副电极这六个电极单元,其中:第一主电极和第一辅助电极通过第一连接轴联动形成第一对电极组,所述第一主电极与第一辅助电极共同连接第一侧部加热器。本发明的有益效果是,热场的侧部加热器和底部加热器可以随坩埚位置变化而变化,热场温度更均衡,有利于晶体生长,提升生长晶棒的品质。