一种单晶硅生长炉气缸锁紧机构.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN107541787A(43)申请公布日2018.01.05(21)申请号201710550350.9(22)申请日2017.07.07(71)申请人上海汉虹精密机械有限公司地址200444上海市宝山区宝山城市工业园区山连路188号(72)发明人刘海贺贤汉郡司拓(74)专利代理机构上海顺华专利代理有限责任公司31203代理人顾雯(51)Int.Cl.C30B35/00(2006.01)C30B29/06(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图2页(54)发明名称一种单晶硅生长炉气缸锁紧机构(57)摘要本发明涉及单晶炉设备技术领域，具体是一种具有气缸锁紧机构的单晶硅生长炉，包括至少两组安装在单晶硅生长炉上的气缸锁紧机构，每组气缸锁紧机构包括锁紧气缸、气缸支座、固定座、锁紧臂、锁紧块、转轴及无油衬套。本发明的有益效果是，通过气缸锁紧机构来对上炉筒与隔离阀之间实现自动锁紧和脱离、炉盖与炉筒水冷法兰之间自动锁紧和脱，不仅实现自动化作业，简化操作，且相较于原先的螺栓紧固，密封性能更好，稳定度更好，使用期限更长。CN107541787ACN107541787A权利要求书1/1页1.一种具有气缸锁紧机构的单晶硅生长炉，其特征在于，包括至少两组安装在单晶硅生长炉上的气缸锁紧机构，每组气缸锁紧机构包括锁紧气缸(1)、气缸支座(2)、固定座(3)、锁紧臂(5)、锁紧块(7)、转轴(8)及无油衬套(9)，其中一组气缸锁紧机构安装在上炉筒(100)与隔离阀(101)之间，该气缸锁紧机构的固定座(3)安装在上炉筒(100)上、锁紧块(7)安装在隔离阀(101)上，另一组气缸锁紧机构安装在炉盖(200)与炉筒水冷法兰(201)之间，所述气缸锁紧机构的固定座(3)安装在炉盖(200)上、锁紧块(7)安装在炉筒水冷法兰(201)上；所述固定座(3)上设有安装孔，在该安装孔内装配转轴(8)，所述转轴(8)上设有无油衬套(9)；所述锁紧臂(5)呈“9”字型，该锁紧臂(5)的上顶部伸出抵接块(51)，中部套接在所述转轴(8)上，底部形成抵接端(52)，所述锁紧臂(5)和固定座(3)分别相对转轴(8)的轴心转动；所述固定座(3)的一侧安装所述气缸支座(2)，所述锁紧气缸(1)的缸体固定安装在所述气缸支座(2)上，该锁紧气缸(1)的活塞杆与所述锁紧臂(5)的抵接块(51)活动抵接；所述锁紧块(7)上伸出挡边(71)，该挡边(71)与锁紧臂(5)的抵接端(52)活动抵接。2.根据权利要求1所述的单晶硅生长炉气缸锁紧机构，其特征在于，所述的转轴(8)上安装防止锁紧臂(5)脱离转轴(8)的挡圈(4)。3.根据权利要求1所述的单晶硅生长炉气缸锁紧机构，其特征在于，所述的锁紧块(7)的挡边(71)上端伸出防止所述锁紧臂(5)的抵接端(52)脱钩的挡块(6)。4.根据权利要求3所述的单晶硅生长炉气缸锁紧机构，其特征在于，所述的挡块(6)上形成用于罩住锁紧臂(5)的抵接块(51)两侧的挡板(61)。5.根据权利要求1所述的单晶硅生长炉气缸锁紧机构，其特征在于，所述的锁紧臂(5)与固定座(3)之间相对转动的夹角范围为0-60°。6.根据权利要求1所述的单晶硅生长炉气缸锁紧机构，其特征在于，所述的上炉筒(100)与隔离阀(101)之间设有的气缸锁紧机构的个数为三个，分别呈周向均布状；所述的炉盖(200)与炉筒水冷法兰(201)之间设有的气缸锁紧机构的个数为三个，分别呈周向均布状。2CN107541787A说明书1/3页一种单晶硅生长炉气缸锁紧机构技术领域[0001]本发明涉及单晶炉设备技术领域，具体是一种单晶硅生长炉气缸锁紧机构。背景技术[0002]单晶硅生长炉的上炉筒与隔离阀、炉盖和炉筒水冷法兰因生产和工艺要求，需要频繁的锁紧和脱离，现有单晶炉一般使用螺栓紧固，锁紧和脱离时，都需要人工操作，比较繁琐，不够自动化。发明内容[0003]本发明的目的在于克服现有技术的不足，提供一种实现上炉筒与隔离阀间的自动锁紧和脱离及炉盖与炉筒水冷法兰间的具有气缸锁紧机构的单晶硅生长炉。[0004]为了达到上述目的，本发明提供了一种具有气缸锁紧机构的单晶硅生长炉，包括至少两组安装在单晶硅生长炉上的气缸锁紧机构，每组气缸锁紧机构包括锁紧气缸、气缸支座、固定座、锁紧臂、锁紧块、转轴及无油衬套，其中一组气缸锁紧机构安装在上炉筒与隔离阀之间，该气缸锁紧机构的固定座安装在上炉筒上、锁紧块安装在隔离阀上，另一组气缸锁紧机构安装在炉盖与炉筒水冷法兰之间，所述气缸锁紧机构的固定座安装在炉盖上、锁紧块安装在炉筒水冷法兰上；[0005]所述固定座上设有安装孔，在该安装孔内装配转轴，所述转轴上设有无油衬套；[0006]所述锁紧臂呈“9”字型，该锁