一种多晶硅铸锭炉的组合式加热器及多晶硅铸锭炉.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN107523864A(43)申请公布日2017.12.29(21)申请号201710893716.2(22)申请日2017.09.26(71)申请人深圳市石金科技股份有限公司地址518105广东省深圳市宝安区松岗街道同富裕工业区安润路2号(72)发明人南志华周莉李文红杨宗明翟雨佳(74)专利代理机构广州市华学知识产权代理有限公司44245代理人罗伟富(51)Int.Cl.C30B28/06(2006.01)C30B29/06(2006.01)权利要求书1页说明书6页附图6页(54)发明名称一种多晶硅铸锭炉的组合式加热器及多晶硅铸锭炉(57)摘要本发明公开一种多晶硅铸锭炉的组合式加热器，包括支架、顶部加热器、侧部加热器以及石墨电极组件；侧部加热器包括设置在支架侧面上的多个侧部加热模块，支架的每个侧面设置一个侧部加热模块，每个侧部加热模块由多个发热单元组合而成；每个侧部加热模块中的发热单元从下到上分成若干组加热组件；侧部加热模块在同一高度上的加热组件的总电阻值相同，同一侧部加热模块中的各个加热组件的总电阻值从下到上呈由小到大分布。所述组合式加热器能够在竖直方向上形成稳定的温度梯度，并且该温度梯度的控制更加方便和精确。本发明还公开一种多晶硅铸锭炉，该多晶硅铸锭炉在组合式加热器的作用下获得理想的温度分布梯度，从而能够获得更高品质的硅锭。CN107523864ACN107523864A权利要求书1/1页1.一种多晶硅铸锭炉的组合式加热器，包括支架、设置在支架顶端的顶部加热器、设在支架侧向的侧部加热器以及石墨电极组件；其特征在于，所述侧部加热器包括设置在支架侧面上的多个侧部加热模块，支架的每个侧面设置一个侧部加热模块，每个所述侧部加热模块由多个发热单元组合而成；每个侧部加热模块中的发热单元从下到上分成若干组加热组件；所有侧部加热模块在同一高度上的加热组件的总电阻值相同，同一侧部加热模块中的各个加热组件的总电阻值从下到上呈由小到大分布。2.根据权利要求1所述的一种多晶硅铸锭炉的组合式加热器，其特征在于，所述石墨电极组件包括与顶部加热器连接的第一石墨电极组以及与侧部加热器连接的第二石墨电极组；所述第一石墨电极组和第二石墨电极组分别与第一三相电源和第二三相电源连接。3.根据权利要求1所述的一种多晶硅铸锭炉的组合式加热器，其特征在于，当所述加热组件中的发热单元为多个时，这些发热单元沿竖向或/和径向排列。4.根据权利要求1所述的一种多晶硅铸锭炉的组合式加热器，其特征在于，所述发热单元包括蛇形的发热单元以及板状的发热单元。5.根据权利要求2所述的一种多晶硅铸锭炉的组合式加热器，其特征在于，所述支架包括四个连接板，每个连接板包括中间部以及连接在中间部两侧的两个连接部；每个连接板中的两个连接部分别与相邻两个侧部加热模块中的发热单元的一端连接；所述四个连接板将所有的发热单元连接一起形成矩形框结构。6.根据权利要求5所述的一种多晶硅铸锭炉的组合式加热器，其特征在于，每个连接部上均设有多个沿竖向排列的用于与发热单元连接的安装孔；每个发热单元的两端均设有与所述安装孔配合的固定孔；所述发热单元通过螺栓连接在连接板的连接部上。7.根据权利要求2所述的一种多晶硅铸锭炉的组合式加热器，其特征在于，所述顶部加热器包括五个顶部蛇形发热单元以及用于将每个顶部蛇形发热单元连接固定一起的固定连接块。8.根据权利要求7所述的一种多晶硅铸锭炉的组合式加热器，其特征在于，所述第一石墨电极组包括三个第一石墨电极，并且均匀地设置在顶部蛇形发热单元上；三个所述第一石墨电极将五个所述顶部蛇形发热单元平分为三个电阻值相等的顶部发热块；三个所述第一石墨电极分别与第一三相电源的U、V、W相相连。9.根据权利要求5所述的一种多晶硅铸锭炉的组合式加热器，其特征在于，所述第二石墨电极组有三个，并将所述侧部加热器上的加热组件在圆周方向上等分成电阻值相同的三部分；在加热组件上与所述第二石墨电极对应处设有用于连接第二石墨电极和加热组件的导电连接组件，所述连接板由导电材料制成；所述导电连接组件包括安装固定在加热组件上的竖板以及设置在竖板上端的横板，所述第二石墨电极设置在横板上；三个所述第二石墨电极分别与第二三相电源的U、V、W相相连接。10.一种多晶硅铸锭炉，包括炉体、加热器、坩埚以及隔热层，其特征在于，所述加热器为权利要求1-9任一项所述的一种多晶硅铸锭炉的组合式加热器。2CN107523864A说明书1/6页一种多晶硅铸锭炉的组合式加热器及多晶硅铸锭炉技术领域[0001]本发明涉及一种多晶硅铸锭设备，具体涉及一种多晶硅铸锭炉的组合式加热器及包含该加热器的多晶硅铸锭炉。背景技术[0002]目前，太阳能电池(组)多为多晶硅太阳能电池，其