多晶硅铸锭炉.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号(10)申请公布号CNCN103556220103556220A(43)申请公布日2014.02.05(21)申请号201310564069.2(22)申请日2013.11.14(71)申请人乐山新天源太阳能科技有限公司地址614000四川省乐山市高新区建业大道9号(72)发明人陈五奎李军马涛樊茂德徐文州冯加保(74)专利代理机构成都宏顺专利代理事务所(普通合伙)51227代理人王睿(51)Int.Cl.C30B28/06(2006.01)C30B29/06(2006.01)权权利要求书1页利要求书1页说明书5页说明书5页附图3页附图3页(54)发明名称多晶硅铸锭炉(57)摘要本发明公开了一种能够使铸锭的电阻率均匀分布的多晶硅铸锭炉。通过在多晶硅铸锭炉的进气管的出气口处设置将其密封的挡块，所述挡块上设置有多个旋向相同的螺旋孔，所述多个螺旋孔围绕进气管的中心轴线排列，所述螺旋孔的进口位于挡块的上表面，出口位于挡块的下表面，当氩气经过螺旋孔后，氩气的出气方式被改变，由原来的直吹改为旋转出气，从螺旋孔旋转喷出的氩气会带动坩埚内的硅液旋转，从而使硅液中含有的杂质在硅溶液中得到充分扩散，使液相成分分布均匀，保证铸锭的电阻率分布均匀，而且坩埚内的硅液被搅动，可以促使硅液中含有的可挥发杂质尽快挥发，从而保证铸锭本身的质量和性能。适合在多晶硅生产设备领域推广应用。CN103556220ACN103562ACN103556220A权利要求书1/1页1.多晶硅铸锭炉，包括炉体（1），炉体（1）上设置有抽气孔（2），所述炉体（1）内设置有下托保温板（3）与保温罩（4），保温罩（4）放置在下托保温板（3）上，保温罩（4）与下托保温板（3）共同构成保温隔热笼，所述保温罩（4）上连接有能够使保温罩（4）上下移动的升降杆（5），所述保温隔热笼内设置有坩埚（6）、坩埚护板（7）、石墨底板（8）、石墨盖板（9）、侧部加热器（10）、顶部加热器（11）、热交换平台（12），所述石墨底板（8）放置在热交换平台（12）上，坩埚（6）放置在石墨底板（8）上，坩埚护板（7）设置在坩埚（6）外侧，侧部加热器（10）设置在坩埚护板（7）的外侧，石墨盖板（9）设置在坩埚（6）上方，顶部加热器（11）设置在石墨盖板（9）上方，所述热交换平台（12）通过石墨立柱（22）固定在炉体（1）底部，坩埚护板（7）的上端设置有尾气排放孔（13），还包括进气管（14），所述进气管（14）依次穿过炉体（1）、保温罩（4）、顶部加热器（11）、石墨盖板（9）后伸入坩埚（6）内，其特征在于：所述进气管（14）的出气口处设置有将其密封的挡块（15），所述挡块（15）上设置有多个旋向相同的螺旋孔（16），所述多个螺旋孔（16）围绕进气管（14）的中心轴线排列，所述螺旋孔（16）的进口位于挡块（15）的上表面，出口位于挡块（15）的下表面。2.如权利要求1所述的多晶硅铸锭炉，其特征在于：从螺旋孔（16）喷出的气流与进气管（14）中心轴线之间的夹角为20℃～30℃。3.如权利要求2所述的多晶硅铸锭炉，其特征在于：所述从螺旋孔（16）喷出的气流与进气管（14）中心轴线之间的夹角为28℃。4.根据权利要求1至3中任意一项权利要求所述的多晶硅铸锭炉，其特征在于：所述石墨盖板（9）上设置有多个通孔（17）。5.如权利要求4所述的多晶硅铸锭炉，其特征在于：所述炉体（1）底部安装有溢流毯（18），所述溢流毯（18）为四层结构，从上到下依次为针织陶瓷纤维毯层、针织陶瓷纤维毯层、陶瓷纤维毯层、碳毡层，所述针织陶瓷纤维毯层的厚度为10mm、针织陶瓷纤维毯层的厚度为10mm、陶瓷纤维毯层的厚度为25mm、碳毡层的厚度为10mm。6.如权利要求5所述的多晶硅铸锭炉，其特征在于：所述溢流毯（18）的上表面安装有溢流丝（19）。7.如权利要求6所述的多晶硅铸锭炉，其特征在于：在相邻的石墨立柱（22）之间均设置有溢流丝（19）。8.如权利要求7所述的多晶硅铸锭炉，其特征在于：所述下托保温板（3）上设置有多个溢流孔（20）。9.如权利要求8所述的多晶硅铸锭炉，其特征在于：所述坩埚（6）与坩埚护板（7）之间设置有碳毡（21）。10.如权利要求9所述的多晶硅铸锭炉，其特征在于：所述尾气排放孔（13）为圆孔。2CN103556220A说明书1/5页多晶硅铸锭炉技术领域[0001]本发明涉及多晶硅生产设备领域，尤其是一种多晶硅铸锭炉。背景技术[0002]太阳能电池可以将光能转换为电能，是现代节能社会发展的一个重点。根据基体材料的不同，现有的太阳能电池分为多晶硅太阳能电池、单晶硅太阳能电池和类单晶硅太阳能电池。其中，单晶硅太阳能电池的转化效率高，但生产成本也高，多晶硅太阳