一种多晶硅还原炉停炉冷却方法及多晶硅还原炉冷却系统.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN107720757A(43)申请公布日2018.02.23(21)申请号201711115989.0(22)申请日2017.11.13(71)申请人亚洲硅业（青海）有限公司地址810007青海省西宁市城东区经济技术开发区金硅路1号(72)发明人丁小海唐国强王生红蔡延国宗冰王体虎(74)专利代理机构北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙)11371代理人吴莎(51)Int.Cl.C01B33/035(2006.01)权利要求书1页说明书5页附图1页(54)发明名称一种多晶硅还原炉停炉冷却方法及多晶硅还原炉冷却系统(57)摘要本发明涉及多晶硅生产技术领域，公开了一种多晶硅还原炉停炉冷却方法及多晶硅还原炉冷却系统。多晶硅还原炉停炉冷却方法是利用被加热后的冷却气体对多晶硅还原炉进行吹扫，冷却气体在多个硅棒之间定向流动并从还原炉周围散逸同时带走热量。冷却气体的温度高于环境温度并低于还原炉中部的硅棒温度。这样经过预热的冷却气体与硅棒或者炉内部件的温差较小(相对环境气体)，在冷却过程中不容易产生炸裂。并且冷却气体的吹扫使得硅棒之间具有较快的气体流动，有利于冷却气体从还原炉中部的硅棒之间带走热量。多晶硅还原炉冷却系统包括了非接触式测温仪、加热装置、空气抽运泵、吹气装置以及连通以上各装置的管道。CN107720757ACN107720757A权利要求书1/1页1.一种多晶硅还原炉停炉冷却方法，其特征在于，其包括：在多晶硅还原炉钟罩取下的情况下，将冷却气体通入还原炉内，使所述冷却气体在多个硅棒之间定向流动并从还原炉周围散逸同时带走热量；其中，所述冷却气体的温度高于环境温度，所述冷却气体的温度低于最靠近多晶硅还原炉中部的硅棒的温度。2.根据权利要求1所述的多晶硅还原炉停炉冷却方法，其特征在于，所述冷却气体由所述多晶硅还原炉的中部向四周吹扫。3.根据权利要求1所述的多晶硅还原炉停炉冷却方法，其特征在于，所述冷却方法还包括加热步骤，所述加热步骤包括对还未进入所述多晶硅还原炉的所述冷却气体进行加热。4.根据权利要求1所述的多晶硅还原炉停炉冷却方法，其特征在于，所述冷却方法还包括净化步骤，所述净化步骤包括使用过滤器对还未进入所述多晶硅还原炉的所述冷却气体进行过滤净化。5.根据权利要求1-4中任一项所述的多晶硅还原炉停炉冷却方法，其特征在于，所述冷却气体通入所述多晶硅还原炉时的温度比所述多晶硅还原炉内最靠近中部的硅棒温度低10℃以上。6.根据权利要求1所述的多晶硅还原炉停炉冷却方法，其特征在于，经过加热的冷却气体通过管道输送到所述多晶硅还原炉，所述管道的端部连通吹气装置，所述吹气装置为管状，所述吹气装置的一端连通所述管道，所述吹气装置的侧壁设置有喷头，所述吹气装置沿竖直方向插入到所述多晶硅还原炉中部，并由所述多晶硅还原炉的中心向外侧吹气。7.根据权利要求1所述的多晶硅还原炉停炉冷却方法，其特征在于，所述冷却气体通过管道输送到所述多晶硅还原炉，所述管道上设置加热装置，所述冷却方法包括利用测温仪检测所述多晶硅还原炉内最靠近中心的硅棒温度，并将所述测温仪与控制器电连接，所述控制器与加热装置电连接，所述控制器根据硅棒温度数据并控制所述加热装置的加热温度始终低于所述硅棒温度。8.一种多晶硅还原炉冷却系统，其特征在于，其包括空气抽运泵、加热装置以及吹气装置，所述空气抽运泵、所述加热装置以及所述吹气装置通过管道连通，所述吹气装置用于在多晶硅还原炉中由内向外吹送冷却气体；所述吹气装置包括围成腔体的侧壁，所述侧壁上设置有用于将所述吹气装置内的所述冷却气体喷出的喷头。9.根据权利要求8所述的多晶硅还原炉冷却系统，其特征在于，所述吹气装置为管状，所述吹气装置的一端与所述管道连通，所述吹气装置的另一端封闭；多个所述喷头在所述吹气装置的长度方向上间隔排列设置。10.根据权利要求8或9中所述的多晶硅还原炉冷却系统，其特征在于，所述多晶硅还原炉冷却系统还包括控制器和测温仪，所述加热装置与所述测温仪分别与所述控制器电连接，所述测温仪用于检测多晶硅还原炉中硅棒的温度；所述控制器能够根据所述测温仪反馈的温度信息，控制所述加热装置的功率以调节通入所述多晶硅还原炉的冷却气体的温度。2CN107720757A说明书1/5页一种多晶硅还原炉停炉冷却方法及多晶硅还原炉冷却系统技术领域[0001]本发明涉及一种多晶硅生产领域，且特别涉及一种多晶硅还原炉停炉冷却方法及多晶硅还原炉冷却系统。背景技术[0002]目前，多晶硅还原炉停炉后，一般先采用氮气置换还原炉钟罩内物料气体，再打开还原炉钟罩，将硅棒暴露在室内环境中自然冷却到一定的温度再进行卸炉及后续作业。这种利用硅棒与环境的温度梯度得到降温的方法，是静态冷却，热对流效果不明显，且