玻璃母材的制造方法及制造装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN107879616A(43)申请公布日2018.04.06(21)申请号201710906968.4(22)申请日2017.09.29(30)优先权数据2016-1915242016.09.29JP(71)申请人住友电气工业株式会社地址日本大阪府(72)发明人牧原和昌古川将人(74)专利代理机构北京天昊联合知识产权代理有限公司11112代理人何立波张天舒(51)Int.Cl.C03B37/012(2006.01)权利要求书1页说明书6页附图2页(54)发明名称玻璃母材的制造方法及制造装置(57)摘要提供一种能够在玻璃母材的烧结时，降低炉心管变形而与玻璃母材接触的可能性的玻璃母材的制造方法及制造装置。玻璃母材(2)的制造方法包含将玻璃母材(2)插入至由石英玻璃构成的炉心管(11)内而对玻璃母材(2)进行烧结的烧结工序，该玻璃母材(2)的制造方法具有扩径工序，即，在执行烧结工序前，在将炉心管(11)加热至规定的温度的状态下以使炉心管(11)内部的压力高于炉心管(11)外部的压力的方式加压规定时间，使炉心管(11)的内径扩大。CN107879616ACN107879616A权利要求书1/1页1.一种玻璃母材的制造方法，其包含将玻璃母材插入至由石英玻璃构成的炉心管内而对所述玻璃母材进行烧结的烧结工序，在该玻璃母材的制造方法中，具有扩径工序，即，在执行所述烧结工序前，在将所述炉心管加热至规定的温度的状态下以使所述炉心管内部的压力高于所述炉心管外部的压力的方式加压规定时间，使所述炉心管的内径扩大。2.根据权利要求1所述的玻璃母材的制造方法，其中，在所述扩径工序中使所述炉心管的内径扩大，以使得所述炉心管的外周部与在所述炉心管的外部配置的加热器的内周部接触。3.根据权利要求1或2所述的玻璃母材的制造方法，其中，在所述烧结工序中对相对于执行所述扩径工序前的所述炉心管的内径具有大于或等于80％的外径的所述玻璃母材进行烧结。4.根据权利要求1至3中任一项所述的玻璃母材的制造方法，其中，在所述扩径工序中使所述炉心管的外径扩大5％以上。5.一种玻璃母材的制造装置，其具有：炉心管，其由石英玻璃构成；以及加热器，其配置于所述炉心管的外周侧，在该玻璃母材的制造装置中，所述炉心管的外周部与所述加热器的内周部接触。2CN107879616A说明书1/6页玻璃母材的制造方法及制造装置技术领域[0001]本发明涉及玻璃母材的制造方法及制造装置。背景技术[0002]已知将玻璃母材放入炉心管内而进行加热处理的玻璃母材的制造方法及制造装置(例如，参照专利文献1～3)。[0003]专利文献1：日本特开平11－1336号公报[0004]专利文献2：日本特开2014－214991号公报[0005]专利文献3：日本特开2003－137584号公报[0006]关于玻璃母材的制造装置中的炉心管，构成炉心管的石英玻璃在高温时软化，因此产生炉心管内和外部的压差，由此发生凹陷、膨胀等变形。如果由于凹陷而在炉心管产生内径变小的部位，则存在下述问题，即，无法将外径与炉心管内径接近的玻璃母材放入，或者玻璃母材与炉心管内壁接触而发生外伤等，由此有可能需要进行炉心管的更换。[0007]为了防止如上所述的炉心管内和外部的压差，在例如专利文献1中，在石英腔室和炉心管之间设置有压力隔壁板。另外，在专利文献3中，将He同时供给至炉心管内部和外部，独立地排气，由此对压差进行控制。另外，在专利文献2中，通过将碳制的套筒插入至炉心管内部，从而防止炉心管的变形。[0008]在上述各专利文献所涉及的技术中，需要压力隔壁板或同时供给至炉心管内部和外部并独立地排气的机构等设备，还需要对这些设备进行控制的机构等。另外，如果向炉心管内部插入套筒，则导致可插入至炉心管的玻璃母材的外径尺寸变小。但是，即使在使用上述各专利文献所涉及的技术的情况下，在对玻璃母材进行烧结时将炉心管的形状保持恒定也是困难的。发明内容[0009]本发明的目的在于提供一种能够在玻璃母材的烧结时，降低炉心管变形而与玻璃母材接触的可能性的玻璃母材的制造方法及制造装置。[0010]本发明的一个方式所涉及的玻璃母材的制造方法，[0011]其包含将玻璃母材插入至由石英玻璃构成的炉心管内而对所述玻璃母材进行烧结的烧结工序，[0012]在该玻璃母材的制造方法中，[0013]具有扩径工序，即，在执行所述烧结工序前，在将所述炉心管加热至规定的温度的状态下以使所述炉心管内部的压力高于所述炉心管外部的压力的方式加压规定时间，使所述炉心管的内径扩大。[0014]另外，本发明的一个方式所涉及的玻璃母材的制造装置，[0015]其具有：炉心管，其由石英玻璃构成；以及加热器，其配置于所述炉心管的外周侧，[001