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制造光纤用玻璃母材的制造方法、及制造光纤用玻璃母材的装置.pdf

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本发明提供一种制造光纤用玻璃母材的制造方法,具备:第1工序,一边使收容有光纤用多孔质母材的石英炉芯管内流通至少包含卤素或氩的气体,一边对光纤用多孔质母材进行脱水;第2工序,在第1工序之后,使石英炉芯管内流通主成分为氦的气体而将石英炉芯管内至少局部地换气;以及第3工序,在第2工序之后,一边使石英炉芯管内流通主成分为氦的气体,一边使光纤用多孔质母材透明玻璃化。