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制备铟靶材的方法.pdf
2023-06-17
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子璇****君淑
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制备铟靶材的方法.pdf
本发明提供了一种制备铟靶材的方法，其包括步骤：检查背板；将背板固定于可控温平板加热炉的平板上；将挡板固定于背板的上表面的四周缘；设定可控温平板加热炉的温度为预热温度；将铟锭样品加入可控温熔料浇注炉中，设定可控温熔料浇注炉的加热温度以将铟锭样品熔化为铟液；将可控温熔料浇注炉内的铟液浇注在容置腔中；将容置腔中的铟液上面漂浮的杂质清理干净；使可控温平板加热炉停止对容置腔中的铟液加热；在室温下冷却容置腔中的铟液以使铟液固化在背板上而形成铟靶材；将铟靶材取出；将铟靶材的未焊合有固体铟的背板的四周缘的部分切除；对成型
2023-06-17
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本发明涉及一种氧化铟锡旋转靶材的制备方法，包括以下步骤：将由化学共沉淀法得到氧化铟锡粉末装入管状柔性模具中，以200～400MPa压力进行冷等静压成型，冷等静压结束后，卸压至常压，制得氧化铟锡管状素坯，再将氧化铟锡管状素坯在脱脂炉中进行脱脂，然后将脱脂后的坯体放入压力烧结炉中，按一定的烧结条件在氧气压力下进行压力烧结，得到相对密度在99%以上的氧化铟锡旋转靶材。本发明制备的氧化铟锡管状旋转靶材，其优点在溅射过程中，靶材可绕固定的条状磁铁组件旋转，因而360°靶面可被均匀刻蚀，同时溅射原子可向各个方向飞行，
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