涂装液供给装置.pdf
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相关资料
涂装液供给装置.pdf
一种涂装液供给装置,利用过滤装置对在多个涂装液箱内完成脱泡处理的涂装液进行净化,并从送液装置引导至涂装元件,在过滤装置和送液装置之间设置与各涂装液箱连通的连通路,并且在停止将涂装液引导至过滤装置的状态下更换过滤装置,利用抽真空装置经由连通路和涂装液箱对更换后的过滤装置内进行抽吸。
处理液供给装置和包括该处理液供给装置的基板处理装置.pdf
本发明提供处理液供给装置和包括该处理液供给装置的基板处理装置,与供给装置的工作无关地使配管内的处理液不会残留或滞留,从而可以防止细菌污染处理液并提高处理液的回收率,并提高所处理的基板的质量。本发明包括:用于喷射处理液的处理液喷射部;用于对储存在处理液储存槽中的处理液进行加压并将其提供给处理液喷射部的处理液供给部;将处理液供给部和处理液喷射部连接的配管模块,配管模块包括:与处理液供给部连接的主管部;从主管部分支的多个分支管部;从分支管部分支并与处理液喷射部连接的多个排出管部,分支管部包括第一配管、第二配管、
涂布液供给装置.pdf
一种涂布液供给装置(3),包括:收容涂布液的收容容器(5);在收容容器(5)内沿轴向移动,使收容于收容容器(5)的涂布液从收容容器(5)吐出的杆(6);以及将收容于收容容器(5)的涂布液(P)与杆(6)隔离,以与杆(6)形成封闭空间即封入空间(9)的方式安装于杆(6),并且相对于杆(6)的轴向移动进行伸缩的波纹管构件(8),在封入空间(9)封入有液体(W)。
抛光液供给臂及抛光液供给装置.pdf
本发明提供了一种抛光液供给臂及抛光液供给装置,属于抛光设备领域,该抛光液供给臂包括臂体、喷嘴固定件、喷嘴和抛光液输送管道;臂体具有沿其长度方向设置的第一安装槽和第二安装槽,喷嘴固定件设置在第一安装槽内,抛光液输送管道设置在第二安装槽内,喷嘴固定件内部沿其长度设置有供水管道,多个喷嘴分别与喷嘴固定件内部供水管道连通,并且多个喷嘴分布在喷嘴固定件的长度方向,喷嘴能够相对于喷嘴固定件转动以调整喷射角度。从而对抛光垫进行充分清洗,消除清洗盲区,保障晶圆的抛光均匀性。该抛光液供给装置中利用驱动机构通过传动轴驱动抛光
处理液供给装置、处理液供给方法以及存储介质.pdf
本发明提供一种处理液供给装置、处理液供给方法以及存储介质。处理液供给装置具备:供给管路,其连接于喷出部;泵,其设置于供给管路,向喷出部加压输送处理液;第一开闭阀,其设置于供给管路中的泵的下游侧的位置;过滤器,其设置于供给管路中的泵与第一开闭阀之间的位置,对处理液进行过滤;排出管路,其从供给管路中的过滤器与第一开闭阀之间的位置分支出来,用于从供给管路排出处理液;贮存部,其连接于排出管路,用于贮存从供给管路排出的处理液;第二开闭阀,其设置于排出管路;以及控制部,其控制第一开闭阀和第二开闭阀,以使由过滤器过滤后