抛光液供给臂及抛光液供给装置.pdf
Ja****44
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相关资料
抛光液供给臂及抛光液供给装置.pdf
本发明提供了一种抛光液供给臂及抛光液供给装置,属于抛光设备领域,该抛光液供给臂包括臂体、喷嘴固定件、喷嘴和抛光液输送管道;臂体具有沿其长度方向设置的第一安装槽和第二安装槽,喷嘴固定件设置在第一安装槽内,抛光液输送管道设置在第二安装槽内,喷嘴固定件内部沿其长度设置有供水管道,多个喷嘴分别与喷嘴固定件内部供水管道连通,并且多个喷嘴分布在喷嘴固定件的长度方向,喷嘴能够相对于喷嘴固定件转动以调整喷射角度。从而对抛光垫进行充分清洗,消除清洗盲区,保障晶圆的抛光均匀性。该抛光液供给装置中利用驱动机构通过传动轴驱动抛光
金相抛光液自动供给机.pdf
一种金相抛光液自动供给机,用于金相试样的研磨与抛光,由搅拌电机、储液缸、搅拌轴、叶片、液泵电机、柱塞液泵、单向阀、连接导管、喷嘴和单片机构成,其特点是储液缸上部装有搅拌电机,搅拌电机输出端与搅拌轴相连接,搅拌轴下端装有叶片,液泵电机输出端与凸轮相连接,凸轮又与柱塞液泵的活塞相连接,柱塞液泵的缸体通过导管分别与储液缸及出液端喷嘴相连接,柱塞液泵的两端导管上各设有单向阀,控制液体只能向单方向流动。本发明具有出液量准确、出液时间间隔可自行设置、自动化程度较高、并根据操作需求不同可实现在自动功能和手动功能之间切换
金相抛光液自动供给机的可变行程机构.pdf
金相抛光液自动供给机的可变行程机构,涉及一种实验抛光机构,所述机构包括圆盘、中心孔、侧孔、导槽、滑块、垫圈、螺母、连杆、圆盘侧孔内的螺纹孔、螺套、螺杆、紧定螺钉、手轮、螺钉;圆盘中间开中心孔,连接电机轴,圆盘的侧面开圆柱形阶梯侧孔,侧孔由外向内为大孔和小孔,大孔靠近圆盘外端加工一段内螺纹;大孔上方开导槽,导槽与侧孔相通;螺杆分为两段,两段之间设有轴肩,螺杆的一端插入侧孔中,其顶端伸入侧孔的小孔中,伸入到侧孔的大孔中的一段螺杆上有螺纹,螺杆的另一段无螺纹且伸出圆盘侧孔外面;螺杆的轴肩位于侧孔的大孔中;本发明
一种简易抛光液流量控制供给装置及其控制方法.pdf
本发明涉及一种简易抛光液流量控制供给装置及其控制方法,包括抛光液抽取部分、控制部分、流量控制装置、涡轮流量计和执行装置;所述控制部分通过数据线连接抛光液抽取部分、流量控制装置、涡轮流量计,执行装置通过闸线与流量控制装置连接,执行装置套在抛光液抽取部分的导管Ⅱ外。本发明装置结构简单、经济实用、使用方便;能有效实现抛光液吸取、流量控制;部分装置可以拆卸、替换,可以减少清洗困难。
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本发明公开了一种金属板镜面抛光用抛光液自动供给装置,涉及抛光设备技术领域,主要为了解决现有供液装置无法自动调节抛光液流量的问题;包括抛光液箱、喷头和用于连接抛光液箱和喷头的供液管路,还包括有用于自动调节抛光液流量的调节组件,所述调节组件包括齿轮、与齿轮啮合的齿条和螺旋式水龙头,所述供液管路包括供液主管和供液分管,还包括有管路清理组件,所述管路清理组件包括清水箱、供水管、三通接头和主连接管,设有调节组件,能够根据抛光量自动调节抛光液流量的效果,自动化程度高,避免造成浪费或影响抛光质量;设有管路清理组件,在抛