一种带抗氧化涂层管式PECVD石墨舟及制造方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN108441842A(43)申请公布日2018.08.24(21)申请号201810510945.6(22)申请日2018.05.24(71)申请人山东伟基炭科技有限公司地址250102山东省济南市高新区综合保税区港兴一路2777号(72)发明人姜明理马里奥李为兵苗晓东张江城李文江董凤荣(74)专利代理机构济南诚智商标专利事务所有限公司37105代理人刘乃东(51)Int.Cl.C23C16/458(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图1页(54)发明名称一种带抗氧化涂层管式PECVD石墨舟及制造方法(57)摘要本发明公开了一种带抗氧化涂层管式PECVD石墨舟及制造方法，在石墨舟毛坯料中浸渍有树脂，石墨舟毛坯经过固化处理、加工、高温处理使树脂充分炭化，在石墨舟表面形成一层薄膜，包括以下步骤：先把石墨原材料放置在真空炉内高温纯化、形成石墨舟毛坯料；石墨舟毛坯料放入调配的树脂中浸渍；石墨舟毛坯料固化处理形成坯体；固化后的坯体加工成成品；加工完的成品高温处理，树脂炭化，在成品表面形成薄膜；本发明能够在石墨舟片表面形成一层均匀的抗氧化薄膜使用寿命长，大大降低了使用和维护成本，具有良好的经济效益和社会效益。CN108441842ACN108441842A权利要求书1/1页1.一种带抗氧化涂层管式PECVD石墨舟，其特征是，在石墨舟毛坯料中浸渍有树脂，石墨舟毛坯经过固化处理、加工、高温处理使树脂充分炭化，在石墨舟表面形成一层薄膜。2.如权利要求1所述的一种带抗氧化涂层管式PECVD石墨舟，其特征是，所述薄膜的为厚度2～4μm的均匀薄膜。3.如权利要求1或者2任意一项所述的带抗氧化涂层管式PECVD石墨舟的制造方法，其特征是，包括以下步骤：1)先把石墨原材料放置在炉内，在2300～2400℃温度下进行高温纯化，去除石墨原材料内部杂质，形成石墨舟毛坯料；2)把下好的石墨舟毛坯料放入调配的树脂中浸渍1.5～2小时，使树脂完全浸渍到石墨舟毛坯料的材料内部；3)浸渍后的石墨舟毛坯料用烘箱升温至100～120℃温度，保温2～3小时进行固化处理形成坯体；4)将固化后的坯体加工成成品；5)将加工完的成品放入炉中在1400～1500℃温度下进行高温处理，保温2小时，使树脂充分炭化，在成品表面形成一层厚度为2～4μm的均匀薄膜。4.如权利要求3所述的带抗氧化涂层管式PECVD石墨舟的制造方法，其特征是，所述步骤1)把石墨原材料放置在真空炉内进行高温纯化。5.如权利要求3所述的带抗氧化涂层管式PECVD石墨舟的制造方法，其特征是，所述步骤3)石墨舟毛坯料在石墨烘箱内进行固化处理。6.如权利要求3所述的带抗氧化涂层管式PECVD石墨舟的制造方法，其特征是，所述步骤5)成品在真空炉中高温处理。2CN108441842A说明书1/3页一种带抗氧化涂层管式PECVD石墨舟及制造方法技术领域[0001]本发明涉及石墨舟技术领域，尤其涉及一种带抗氧化涂层管式PECVD石墨舟及制作方法。背景技术[0002]在硅片镀膜工艺中会使用到管式PECVD石墨舟，普通石墨舟在使用80～100次左右需要拆卸酸洗、漂洗、烘干，之后必须挂假片经过预处理(即饱和工艺)镀一层氮化硅膜，从而使得内壁各处均呈氮化硅状态，保证石墨舟内壁及硅片表面沉积速率一致，然后再投入正式生产、以保证后续产品质量，存在的缺陷和问题是：工序复杂，生产和使用维护成本高，降低了生产效率，效率和效率浪费严重，经济效益和社会效益低。发明内容[0003]为了克服上述现有技术存在的缺点，本发明目的是提供一种带抗氧化涂层管式PECVD石墨舟；本发明的石墨舟，能够在石墨舟片表面形成一层均匀的抗氧化薄膜，抗氧化薄膜的强度和耐磨性高，耐高温性能好，在使用一定次数后经过拆卸酸洗、漂洗、烘干，不需要挂假片经过预处理镀氮化硅膜及其他工艺处理就能够保持后续生产的产品质量、不影响镀膜品质，使用寿命长，大大降低了使用和维护成本，提高了生产效率，也避免了现有技术存在的方法存在的效率低、成本高、浪费严重的问题，具有良好的经济效益和社会效益。[0004]本发明还提供一种带抗氧化涂层管式PECVD石墨舟的制造方法。[0005]本发明解决其技术问题所采取的技术方案是：[0006]一种带抗氧化涂层管式PECVD石墨舟，在石墨舟毛坯料中浸渍有树脂，石墨舟毛坯经过固化处理、加工、高温处理使树脂充分炭化，在石墨舟表面形成一层抗氧化薄膜。[0007]所述抗氧化薄膜的为厚度2～4μm的均匀薄膜。[0008]一种带抗氧化涂层管式PECVD石墨舟的制造方法，包括以下步骤：[0009]1)先把石墨原材料放置在炉内，在2300～2400℃温度下进行高温纯化，去除石墨原材料内部杂质，形成石墨舟毛坯