均匀加热的扩散炉炉体.pdf
猫巷****雪凝
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相关资料
均匀加热的扩散炉炉体.pdf
本发明公开了一种均匀加热的扩散炉炉体,涉及芯片加工领域,现有12寸扩散炉炉体内各处温度均匀性较低的问题,其技术方案要点是包括炉体外壁、保温层、设置在保温层上的电阻带以及设置在保温层上的若干固定板;在保温层上靠近炉体前端三分之一的部分,相邻两圈电阻带之间的距离为3~25毫米,炉体中间三分之一端的相邻两圈电阻带之间的距离为4~30毫米,炉体后端三分之一的部分,相邻两圈电阻带之间的距离为3~25毫米;炉体外壁与保温层之间留有空腔,炉体外壁上固定连接有进气管,保温层内壁上开设有进气孔,通过对炉体内各处电阻带的距离
扩散炉炉体.pdf
本发明公开了一种扩散炉炉体,涉及芯片加工领域,现有八寸扩散炉炉体内各处温度均匀性较低的问题,其技术方案要点是包括呈圆筒状设置的炉体外壁、设置在外壁内侧的呈圆筒状设置的保温层、设置在保温层上的螺旋设置的电阻丝以及设置在保温层上用于将电阻丝固定在保温层上的若干绝缘子;在保温层上靠近炉体前端三分之一的部分,相邻两圈电阻丝之间的距离为3~10毫米,炉体中间三分之一端的相邻两圈电阻丝之间的距离为4~毫米,炉体后端三分之一的部分,相邻两圈电阻丝之间的距离为3~10毫米,通过对炉体内各处电阻丝的距离进行控制,提高了炉体
双炉体加热炉.pdf
本发明适用于块状物料如炼钢用铁合金加热烘烤等,涉及一种双炉体加热炉,包括外炉体、内炉体、炉盖。外炉体是钢制容器,设有隔热保温层,内部设置有承台、上部有密封圈、其承台的上下侧分别设有通气孔;内炉体底部有耐热钢制成的篦板、上部设置有吊装孔或吊装耳轴、内部盛装铁合金料;内炉体坐放在外炉体内的承台上,内炉体与外炉体内的承台的接触面为密封面;炉盖坐放在外炉体上的密封圈上;当炉盖移开后,内炉体能够被吊进或吊出外炉体。本发明对铁合金料加热均匀,结构简单,可靠性高,炉内无烧嘴,无局部高温,不会烧坏炉墙,热效率高,配套使用
加热炉的炉体支撑机构.pdf
本发明提供了一种加热炉的炉体支撑机构,属于机械技术领域。它解决了现有技术存在着稳定性差的问题。本加热炉的炉体支撑机构设置在加热炉的炉体外侧,本支撑机构包括底板、加固杆、压杆和连接结构,上述底板抵靠在炉体下部处且底板边沿伸出炉体,上述加固杆下端固连在底板上,所述压杆水平设置且压杆连接在加固杆上,所述压杆内端抵靠在炉体外侧,上述连接结构固连在炉体背部处。本加热炉的炉体支撑机构稳定性高。
一种扩散炉炉体调节装置.pdf
本发明公开了一种扩散炉炉体调节装置,包括固定座、调节座以及用于支撑所述扩散炉炉体的第一支撑件和第二支撑件,所述调节座包括水平调节支座和高度调节支座,所述第一支撑件安装于水平调节支座上,所述第二支撑件安装于高度调节支座上,所述水平调节支座可沿固定座移动地安装于固定座上,所述高度调节支座可沿水平调节支座移动地安装于水平调节支座上并带动第二支撑件靠近或远离第一支撑件。本发明具有调节方便、调节精度和准确度高的优点。