一种管间资源共用的管式PECVD设备.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN109023305A(43)申请公布日2018.12.18(21)申请号201810989914.3(22)申请日2018.08.28(71)申请人湖南红太阳光电科技有限公司地址410205湖南省长沙市高新开发区桐梓坡西路586号(72)发明人李明吴德轶郭艳成秋云张春成(74)专利代理机构湖南兆弘专利事务所(普通合伙)43008代理人周长清廖元宝(51)Int.Cl.C23C16/455(2006.01)C23C16/517(2006.01)权利要求书1页说明书5页附图6页(54)发明名称一种管间资源共用的管式PECVD设备(57)摘要本发明公开了一种管间资源共用的管式PECVD设备，包括炉体柜、真空与压力系统、气路系统、射频系统、第一转换组件、第二转换组件和第三转换组件，所述炉体柜内安装有多根炉管，所述真空与压力系统通过第一转换组件与多根炉管相连，用于实现与不同炉管的连接切换；所述气路系统通过第二转换组件与多根炉管相连，用于实现与不同炉管的连接切换；所述射频系统通过第三转换组件与多根炉管相连，用于实现与不同炉管的连接切换。本发明的管间资源共用的管式PECVD设备具有结构简单、部件利用率高、成本低且占用面积小等优点。CN109023305ACN109023305A权利要求书1/1页1.一种管间资源共用的管式PECVD设备，其特征在于，包括炉体柜（3）、真空与压力系统、气路系统、射频系统、第一转换组件（7）、第二转换组件（8）和第三转换组件，所述炉体柜（3）内安装有多根炉管（6），所述真空与压力系统通过第一转换组件（7）与多根炉管（6）相连，用于实现与不同炉管（6）的连接切换；所述气路系统通过第二转换组件（8）与多根炉管（6）相连，用于实现与不同炉管（6）的连接切换；所述射频系统通过第三转换组件与多根炉管（6）相连，用于实现与不同炉管（6）的连接切换。2.根据权利要求1所述的管间资源共用的管式PECVD设备，其特征在于，所述第一转换组件（7）包括多个第一开关组件，多个第一开关组件的一端分别与多根炉管（6）一一对应连接，多个第一开关组件的另一端相互连接后形成公共端与真空与压力系统相连。3.根据权利要求2所述的管间资源共用的管式PECVD设备，其特征在于，所述第一开关组件为真空挡板阀。4.根据权利要求2所述的管间资源共用的管式PECVD设备，其特征在于，所述真空与压力系统包括真空泵（5）、抽气管道、阀组和压力测量组件；所述真空泵（5）通过抽气管道与所述第一转换组件（7）相连，所述阀组和压力测量组件安装于所述抽气管道上。5.根据权利要求1至4中任意一项所述的管间资源共用的管式PECVD设备，其特征在于，所述第二转换组件（8）包括与气路系统中多个输出气路一一对应的多组供气管路，每组供气管路中包括多个供气支路，每组供气管路中的多个供气支路的一端共同连接至对应的输出气路，每组供气管路中的多个供气支路的另一端分别与各炉管一一对应连接；各所述供气支路上均设置有第二开关组件。6.根据权利要求5所述的管间资源共用的管式PECVD设备，其特征在于，所述第二开关组件包括常闭气动阀，各常闭气动阀均对应设有压缩气体供气回路。7.根据权利要求5所述的管间资源共用的管式PECVD设备，其特征在于，所述气路系统包括N2O供气回路、NH3供气回路、SiH4供气回路和多根N2供气回路，所述SiH4供气回路与一根N2供气回路汇合后形成第一输出气路，所述N2O供气回路与NH3供气回路汇合后形成第二输出气路。8.根据权利要求7所述的管间资源共用的管式PECVD设备，其特征在于，所述N2O供气回路、NH3供气回路、SiH4供气回路和各根N2供气回路上均设置有手动阀和常闭气动阀，各常闭气动阀均对应设置有压缩气体供气回路。9.根据权利要求1至4中任意一意所述的管间资源共用的管式PECVD设备，其特征在于，所述第三转换组件包括射频系统的多输出接口，各输出接口与各炉管（6）分别相连。10.根据权利要求1至4中任意一项所述的管间资源共用的管式PECVD设备，其特征在于，所述第三转换组件包括多个射频回路，各所述射频回路的一端均与所述射频电源相连，各所述射频回路的另一端则分别与各炉管（6）对应连接；各所述射频回路上均设有第三开关组件。2CN109023305A说明书1/5页一种管间资源共用的管式PECVD设备技术领域[0001]本发明主要涉及光伏设备技术领域，特指一种管间资源共用的管式PECVD设备。背景技术[0002]光伏发电系统是一种利用太阳能电池半导体材料的“光伏效应”将太阳光辐射能直接装换为电能的一种新型发电系统。太阳能电池，又称光伏电池，是光伏发电系统中最核心的器件。目前，技术最成熟，并具有商业价值的