一种双面镀膜方法及管式PECVD设备.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN116024554A(43)申请公布日2023.04.28(21)申请号202211412781.6(22)申请日2022.11.11(71)申请人陕西隆基乐叶光伏科技有限公司地址710299陕西省西安市西安经济技术开发区泾渭新城泾环北路西段19号(72)发明人何强(74)专利代理机构北京润泽恒知识产权代理有限公司11319专利代理师葛珊杉(51)Int.Cl.C23C16/50(2006.01)C23C16/458(2006.01)C23C16/52(2006.01)权利要求书2页说明书8页附图3页(54)发明名称一种双面镀膜方法及管式PECVD设备(57)摘要本发明实施例提供一种双面镀膜方法及管式PECVD设备，方法包括：从上下料工位将装有电池片的石墨舟载具送入设有一个镀膜源的反应室中；检测电池片的第一待镀表面为正面或背面，控制调整镀膜条件为第一镀膜条件，并在第一待镀表面上沉积形成第一膜层；从石墨舟载具上取出电池片，进行翻转后，将电池片插入石墨舟载具中；控制调整镀膜条件为第二镀膜条件，并在第二待镀表面上沉积形成第二膜层；其中，第一待镀表面和第二待镀表面分别为电池片的正面和背面，第一镀膜条件和第二镀膜条件不相同；将装有电池片的石墨舟载具从反应室内输出至上下料工位。本发明可以减少设备数量，降低设备投入成本，有助于提高镀膜效率和产能的提升，并降低电池片损坏风险。CN116024554ACN116024554A权利要求书1/2页1.一种双面镀膜方法，应用于管式PECVD设备中对电池片进行双面镀膜，其特征在于，所述方法包括：从上下料工位将装有所述电池片的石墨舟载具送入所述管式PECVD设备的反应室中；其中，所述反应室中设置有一个镀膜源；检测所述电池片的第一待镀表面为所述电池片的正面或背面，并根据检测结果控制调整镀膜条件为第一镀膜条件，并在所述电池片的所述第一待镀表面上沉积形成第一膜层；从所述石墨舟载具上取出所述电池片，并对所述电池片的正背面进行翻转后，将所述电池片插入所述石墨舟载具中；控制调整所述镀膜条件为第二镀膜条件，并在所述电池片的第二待镀表面上沉积形成第二膜层；其中，所述第一待镀表面和所述第二待镀表面分别为所述电池片的正面和背面，所述第一镀膜条件和所述第二镀膜条件不相同；将装有所述电池片的石墨舟载具从所述反应室内输出至所述上下料工位。2.根据权利要求1所述的双面镀膜方法，其特征在于，所述控制调整所述镀膜条件为第二镀膜条件，包括：检测所述电池片的第二待镀表面为所述电池片的正面或背面，并根据检测结果控制调整所述镀膜条件为第二镀膜条件。3.根据权利要求1所述的双面镀膜方法，其特征在于，所述镀膜条件包括硅烷流量和氨气流量中的至少一个。4.根据权利要求3所述的双面镀膜方法，其特征在于，所述镀膜条件还包括反应时间、反应温度、反应压力和镀膜源功率中的至少一个。5.根据权利要求3或4所述的双面镀膜方法，其特征在于，所述第一镀膜条件包括：所述硅烷流量与所述氨气流量的比例介于1:3.5至1:10之间。6.根据权利要求5所述的双面镀膜方法，其特征在于，所述第一膜层包括至少两层沉积层；形成每层所述沉积层的硅烷流量与氨气流量的比例介于1:3.5至1:10之间，且所述至少两层沉积层的硅烷流量与氨气流量的比例不完全相同。7.根据权利要求3或4所述的双面镀膜方法，其特征在于，所述第二镀膜条件包括：所述硅烷流量与所述氨气流量的比例介于1:5至1:12之间。8.根据权利要求7所述的双面镀膜方法，其特征在于，所述第二膜层包括至少两层沉积层；形成每层所述沉积层的硅烷流量与氨气流量的比例介于1:5至1:12之间，且所述至少两层沉积层的硅烷流量与氨气流量的比例不完全相同。9.根据权利要求1所述的双面镀膜方法，其特征在于，所述第一膜层的总厚度为70纳米至80纳米，折射率介于2.2至2.07之间；和/或，所述第二膜层的总厚度为80纳米至100纳米，折射率介于2.28至2.0之间。10.一种管式PECVD设备，其特征在于，所述管式PECVD设备包括：反应室，所述反应室内设置有一个镀膜源；传送装置，所述传送装置用于从上下料工位将装有电池片的石墨舟载具送入所述反应室中，以及用于将装有所述电池片的石墨舟载具从所述反应室内输出至所述上下料工位；2CN116024554A权利要求书2/2页翻转装置，所述翻转装置设置于所述反应室外，所述翻转装置用于从所述石墨舟载具上取出所述电池片，并对所述电池片的正背面进行翻转后，将所述电池片插入所述石墨舟载具中；处理器，所述处理器与所述镀膜源电连接，所述处理器用于检测所述电池片的第一待镀表面为所述电池片的正面或背面，并根据检测结果控制调整镀膜条件为第一镀膜条件，并在所述电池片的所述第一待镀