一种单晶炉晶棒定位装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN109023507A(43)申请公布日2018.12.18(21)申请号201811126618.7(22)申请日2018.09.26(71)申请人锐捷芯盛（天津）电子科技有限公司地址300000天津市滨海新区华苑产业区梅苑路9号2号楼2门502(72)发明人杨光宇(51)Int.Cl.C30B15/00(2006.01)C30B29/06(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图2页(54)发明名称一种单晶炉晶棒定位装置(57)摘要本发明公开了一种单晶炉晶棒定位装置，包括上炉筒和定位装置，所述定位装置设有两个，且两个定位装置对称固定在上炉筒两侧，所述定位装置外侧固定有驱动装置，所述定位装置由定位壳、固定板、滑杆、丝杆、套筒和定位板组成，所述定位壳固定在上炉筒外壁上，且定位壳一侧与驱动装置固定，所述丝杆位于套筒内部，且套筒一端外侧与固定板固定，所述滑杆一端与上炉筒外壁固定，且另一端贯穿固定板并与固定板滑动连接，所述滑杆设有两个，本发明调节板通过调节弹簧可以在凸型槽内伸缩，满足对直径范围在正负2mm的之间的晶棒进行定位，在定位过程中更加有效的对晶棒起一个保护作用。CN109023507ACN109023507A权利要求书1/1页1.一种单晶炉晶棒定位装置，包括上炉筒(1)和定位装置(2)，其特征在于：所述定位装置(2)设有两个，且两个定位装置(2)对称固定在上炉筒(1)两侧，所述定位装置(2)外侧固定有驱动装置(3)，所述定位装置(2)由定位壳(4)、固定板(5)、滑杆(6)、丝杆(7)、套筒(8)和定位板(9)组成，所述定位壳(4)固定在上炉筒(1)外壁上，且定位壳(4)一侧与驱动装置(3)固定，所述丝杆(7)位于套筒(8)内部，且套筒(8)一端外侧与固定板(5)固定，所述滑杆(6)一端与上炉筒(1)外壁固定，且另一端贯穿固定板(5)并与固定板(5)滑动连接，所述滑杆(6)设有两个，且两个滑杆(6)对称分布在套筒(8)两侧，所述套筒(8)滑动贯穿上炉筒(1)，且套在丝杆(7)外侧，所述套筒(8)内设有内螺纹，且与丝杆(7)螺纹连接。2.根据权利要求1所述的一种单晶炉晶棒定位装置，其特征在于：所述定位板(9)内开有凸型槽(10)，且凸型槽(10)内设有调节件(11)，所述调节件(11)由调节板(12)、调节弹簧(13)、接触柱(14)和转轴(15)组成，所述调节弹簧(13)设有多个，且均匀分布在凸型槽(10)内，所述调节板(12)一侧通过调节弹簧(13)与凸型槽(10)内壁固定，所述调节板(12)远离调节弹簧(13)一侧开有接触槽(16)，所述接触柱(14)固定套接在转轴(15)外侧，且转轴(15)两端通过轴承与接触槽(16)内壁转动连接。3.根据权利要求1所述的一种单晶炉晶棒定位装置，其特征在于：所述驱动装置(3)由驱动电机(17)、电机台(18)、转动轴(19)、带动轴(20)、主动锥齿轮(21)、从动锥齿轮(22)和软轴(23)组成，所述驱动电机(17)通过电机台(18)固定在定位壳(4)一侧，且驱动电机(17)输出端与转动轴(19)固定，所述转动轴(19)和带动轴(20)外侧均与主动锥齿轮(21)固定，且主动锥齿轮(21)与从动锥齿轮(22)啮合，所述从动锥齿轮(22)设有两个，且分别固定套接在两个丝杆(7)一端外侧，所述软轴(23)两端均通过联轴器分别与转动轴(19)和带动轴(20)固定。4.根据权利要求2所述的一种单晶炉晶棒定位装置，其特征在于：所述接触柱(14)外侧设为弧形。5.根据权利要求3所述的一种单晶炉晶棒定位装置，其特征在于：所述带动轴(20)远离从动锥齿轮(22)一端通过轴承与定位壳(4)转动连接。2CN109023507A说明书1/3页一种单晶炉晶棒定位装置技术领域[0001]本发明涉及单晶硅生产设备技术领域，具体为一种单晶炉晶棒定位装置。背景技术[0002]单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。[0003]在用直拉法制造单晶体时，其过程中会经过熔化→缩颈生长→放肩生长→等径生长→尾部生长再形成需要的晶棒，在这个过程中我们需要对晶棒进行定位，防止晶棒与上炉体内壁碰撞，造成损坏，但由于晶棒在等径生长时其直径变化在正负2mm的之间，而现有的定位装置采用紧固方式来实现定位，在生产过程中会对晶棒造成损坏，为此，我们提出一种单晶炉晶棒定位装置。发明内容[0004]本发明的目的在于提供一种单晶炉晶棒定位装置，以解决上述背景技术中提出的问题。[0005]为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种单晶炉晶棒定位装置，包括上炉筒和定位装置，所述定位装置设有两个，且