一种晶棒防坠落装置及单晶炉.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN113337882A(43)申请公布日2021.09.03(21)申请号202110627854.2(22)申请日2021.06.05(71)申请人北京北方华创真空技术有限公司地址102600北京市大兴区北京经济技术开发区文昌大道8号1幢401室(72)发明人陈辉黄鸣常晓鱼(74)专利代理机构北京维正专利代理有限公司11508代理人张岭赵保迪(51)Int.Cl.C30B15/00(2006.01)C30B29/06(2006.01)权利要求书1页说明书4页附图4页(54)发明名称一种晶棒防坠落装置及单晶炉(57)摘要本申请涉及单晶硅生产的领域，尤其是涉及一种晶棒防坠落装置及单晶炉，其包括至少两个安装机构和至少两个感应晶棒坠落且阻挡晶棒坠落的自锁机构，所述的自锁机构与安装机构相连接，所述的自锁机构包括感应晶棒坠落的感应组件和夹紧坠落晶棒的夹紧组件，所述的感应组件与夹紧组件活动连接。本申请具有感应组件感应晶棒坠落，夹紧组件对坠落的晶棒夹紧，夹紧组件对晶棒形成自锁，防止晶棒继续坠落，减少了晶棒坠落导致单晶炉损坏和造成人身事故的情况，也使晶棒能够保持完整，减少经济损失的效果。CN113337882ACN113337882A权利要求书1/1页1.一种晶棒防坠落装置，其特征在于：包括至少两个安装机构（1）和至少两个感应晶棒（3）坠落且阻挡晶棒（3）坠落的自锁机构（2），所述的自锁机构（2）与安装机构（1）相连接，所述的自锁机构（2）包括感应晶棒（3）坠落的感应组件（21）和夹紧坠落晶棒的夹紧组件（22），所述的感应组件（21）与夹紧组件（22）活动连接。2.根据权利要求1所述的一种晶棒防坠落装置，其特征在于：所述的感应组件（21）包括位于晶棒（3）上方的传感器（211）和对夹紧组件（22）限位的电磁推杆（212），所述的传感器（211）与电磁推杆（212）电连接，所述的电磁推杆（212）位于夹紧组件（22）下方并与夹紧组件（22）活动连接。3.根据权利要求2所述的一种晶棒防坠落装置，其特征在于：所述的夹紧组件（22）包括翻板（221）和至少一个扭簧（222），所述的扭簧（222）的一端与安装机构（1）相连接，其另一端与翻板（221）相连接，翻板（221）靠近晶棒（3）的一端端面为弧形面，两个翻板（221）与夹紧的晶棒（3）形成过盈配合。4.根据权利要求3所述的一种晶棒防坠落装置，其特征在于：所述的安装机构（1）包括圆管（11），所述的圆管（11）的一端延伸至晶棒（3）的生产设备内，其另一端连接有安装件（12），所述的电磁推杆（212）和翻板（221）均安装于安装件（12）靠近晶棒（3）的一面。5.根据权利要求4所述的一种晶棒防坠落装置，其特征在于：所述的安装件（12）靠近晶棒（3）的侧面上设置有U形架（4），所述的翻板（221）远离晶棒（3）的一端延伸至U形架（4）的两个侧壁之间，所述的U形架（4）与翻板（221）上穿插有插杆（5），翻板（221）与插杆（5）转动连接，所述的插杆（5）延伸出U形架（4）侧壁的两端各安装一个所述扭簧（222），扭簧（222）的一端头插接于安装件（12）内，其另一端头插接于翻板（221）的侧边。6.根据权利要求5所述的一种晶棒防坠落装置，其特征在于：所述的电磁推杆（212）位于翻板（221）、U形架（4）的下方并插接于翻板（221）内。7.一种单晶炉，其特征在于：包括如权利要求1‑6中任一项所述的晶棒防坠落装置，所述的晶棒防坠落装置设置于副室（6）内。8.根据权利要求7所述的一种单晶炉，其特征在于：所述的副室（6）的顶部设置有提拉晶棒（3）的提拉头（61），所述的传感器（211）设于提拉头（61）上。2CN113337882A说明书1/4页一种晶棒防坠落装置及单晶炉技术领域[0001]本申请涉及单晶硅生产的领域，尤其是涉及一种晶棒防坠落装置及单晶炉。背景技术[0002]单晶炉是半导体技术领域生长单晶的常用设备，单晶炉的副室中的提拉头对形成的晶棒进行提拉，在工作过程中，由于副室的旋转或者的震动，导致籽晶或者钨丝绳断裂，使晶棒坠落，对单晶炉造成损坏。[0003]针对上述中的相关技术，发明人认为在工作过程中，由于副室的旋转或者震动，导致籽晶或者钨丝绳断裂，使晶棒坠落，对单晶炉造成损坏，也可能会造成人身事故。发明内容[0004]为了改善在工作过程中，由于副室的旋转或者的震动，导致籽晶或者钨丝绳断裂，使晶棒坠落，对单晶炉造成损坏，可能造成人身事故的问题，本申请提供一种晶棒防坠落装置及单晶炉。[0005]第一方面，本申请提供一种晶棒防坠落装置，采用如下的技术方案：一种晶棒防坠落装置，包括至少两个安装机构和至少两个感应晶棒坠落且阻挡晶棒坠落的自