一种夹具、晶棒抓取装置和单晶炉.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN114277440A(43)申请公布日2022.04.05(21)申请号202111396576.0(22)申请日2021.11.23(71)申请人浙江晶盛机电股份有限公司地址312300浙江省绍兴市上虞区通江西路218号(72)发明人叶钢飞曹建伟傅林坚朱亮倪军夫梁晋辉叶雷江(51)Int.Cl.C30B29/06(2006.01)C30B15/30(2006.01)权利要求书2页说明书18页附图33页(54)发明名称一种夹具、晶棒抓取装置和单晶炉(57)摘要本申请涉及单晶炉技术领域，尤其是涉及一种夹具，基座，基座固定；夹块，夹块具有两个，两个夹块相对设置，在两个夹块之间形成夹持空间，其中，至少一个夹块滑移连接于基座上，且滑移方向与两个夹块的设置方向平行；以及驱动组件，驱动组件固定于基座上，且作用于可滑移的夹块上。本申请的有益技术效果：夹块滑移连接于基座上，且调节块与夹块之间通过连杆连接，连杆的两端分别与调节块、夹块转动连接，通过驱动调节块相对于基座的位置，实现两个夹块对晶棒的夹持或放开，解决了现有技术中大尺寸的单晶炉取棒不便的技术问题，达到方便大尺寸单晶炉取棒的技术效果。CN114277440ACN114277440A权利要求书1/2页1.一种夹具，其特征在于，包括：基座，所述基座固定；夹块，所述夹块具有两个，两个所述夹块相对设置，在两个所述夹块之间形成夹持空间，其中，至少一个所述夹块滑移连接于所述基座上，且滑移方向与两个所述夹块的设置方向平行；以及驱动组件，所述驱动组件固定于所述基座上，且作用于可滑移的夹块上，所述驱动组件包括：调节块，所述调节块相对于所述基座位置可移动；连杆，所述连杆的数量与可滑移的夹块的数量一致，所述连杆位于所述调节块与每个可滑移的夹块之间，每个所述连杆的第一端转动连接于所述调节块上，每个所述连杆的第二端转动连接于可滑移的夹块上；以及第一驱动件，所述第一驱动件固定于所述基座上，所述第一驱动件连接并作用于所述调节块上，所述第一驱动件的作用方向垂直于两个所述夹块的设置方向，通过所述第一驱动件使得所述连杆带动可滑移的夹块在基座上移动。2.根据权利要求1所述的一种夹具，其特征在于，两个所述夹块均滑移连接于所述基座上，两个所述夹块对称设置，且两个所述夹块的对称轴经过所述调节块；所述连杆具有两个，两个所述连杆对称设置，且两个所述连杆的对称轴经过所述调节块。3.根据权利要求2所述的一种夹具，其特征在于，所述基座包括：固定板，所述固定板的位置固定；第一基板，所述第一基板连接于所述固定板上，且所述固定板与所述第一基板之间容置所述调节块。4.根据权利要求3所述的一种夹具，其特征在于，所述第一驱动件包括：第一丝杆，所述第一丝杆连接于所述固定板或第一基板上，所述第一丝杆位于两个所述夹块的对称轴上，第一丝杆垂直于所述第一基板，且所述第一丝杆通过螺纹连接所述调节块；第一电机，所述第一电机连接并作用于所述第一丝杆的一端。5.一种晶棒抓取装置，其特征在于，包括：抓取机构，所述抓取机构包括：固定座；夹具，所述夹具为权利要求1‑4任意一项中所述的夹具，所述夹具具有一个或多个，每个所述夹具固定连接于所述固定座，且所有夹具的夹持空间位于同一竖直空间；升降机构，所述升降机构连接于所述固定座上，所述升降机构具有一个竖直方向上移动的自由度，通过所述升降机构使得所述抓取机构能够在竖直方向上移动；以及旋转机构，所述旋转机构连接于所述升降机构上，所述旋转机构具有一个水平面上旋转的自由度，通过所述旋转机构使得所述抓取机构能够在水平面上转动。6.根据权利要求5所述的一种晶棒抓取装置，其特征在于，所述升降机构包括：第二基板；升降座，所述升降座滑移连接于所述第二基板上，滑移方向呈竖直方向，且所述升降座2CN114277440A权利要求书2/2页连接于所述固定座上；以及第二驱动件，所述第二驱动件固定连接于所述第二基板上，且所述第二驱动件作用于所述升降座上，通过所述第二驱动件使得所述升降座在所述第二基板上发生滑移。7.根据权利要求6所述的一种晶棒抓取装置，其特征在于，所述旋转机构包括：旋转体，所述旋转体呈竖直方向设置且可绕轴旋转，所述旋转体与所述第二基板固定连接；第三驱动件，所述第三驱动件连接并作用于所述旋转体，通过所述第三驱动件使得所述旋转体发生旋转。8.根据权利要求6所述的一种晶棒抓取装置，其特征在于，所述装置还包括推进机构，所述推进机构设置于所述抓取机构与所述升降机构之间，所述推进机构包括：第三基板，所述第三基板呈水平设置，所述第三基板滑移连接于所述升降座上，且所述第三基板与所述固定座固定连接；第四驱动件，所述第四驱动件固定连接于所述升降座上，且所述第四驱动件作用于所述第三基板，通过