可变叶片冷井装置及其抽真空方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN109141010A(43)申请公布日2019.01.04(21)申请号201810752283.3(22)申请日2018.07.10(71)申请人益发施迈茨工业炉（上海）有限公司地址201100上海市闵行区剑川路953弄154号厂房(72)发明人李琳曾爱群(74)专利代理机构上海唯源专利代理有限公司31229代理人曾耀先(51)Int.Cl.F27B5/06(2006.01)F27D7/06(2006.01)F27B5/18(2006.01)权利要求书2页说明书6页附图4页(54)发明名称可变叶片冷井装置及其抽真空方法(57)摘要本发明提供了一种可变叶片冷井装置及其抽真空方法，该装置包括：油扩散泵；冷井壳体，安装于所述油扩散泵上，所述冷井壳体具有一冷凝空腔，所述冷凝空腔贯通所述冷井壳体的两端，所述冷凝空腔的一端对准所述油扩散泵的吸气口；叶片组件，通过管轴组件可转动地安装于所述冷凝空腔内，所述管轴组件的第一端和第二端分别可转动地插设于所述冷井壳体的内侧壁中，所述冷井壳体的外侧壁上安装有驱动电机，所述驱动电机传动连接于所述管轴组件的第二端；以及监控设备，包括控制器和真空传感器，所述真空传感器电信号连接于所述控制器，所述控制器连接于所述驱动电机。本发明解决了使用传统冷井时导致油扩散真空泵的抽速下降幅度大的问题。CN109141010ACN109141010A权利要求书1/2页1.一种可变叶片冷井装置，其特征在于，包括：油扩散泵；冷井壳体，安装于所述油扩散泵上，所述冷井壳体具有一冷凝空腔，所述冷凝空腔贯通所述冷井壳体的两端，所述冷凝空腔的一端对准所述油扩散泵的吸气口；叶片组件，通过管轴组件可转动地安装于所述冷凝空腔内，所述管轴组件的第一端和第二端分别可转动地插设于所述冷井壳体的内侧壁中，所述冷井壳体的外侧壁上安装有驱动电机，所述驱动电机传动连接于所述管轴组件的第二端；以及监控设备，包括控制器和真空传感器，所述真空传感器电信号连接于所述控制器，所述控制器连接于所述驱动电机。2.根据权利要求1所述的可变叶片冷井装置，其特征在于，所述管轴组件包括并排设置的驱动管轴和从动管轴，所述叶片组件包括通过驱动管轴可转动地安装于所述冷凝空腔内的驱动叶片和通过从动管轴可转动地安装于所述冷凝空腔内的从动叶片，所述驱动管轴、所述从动管轴的两端分别可转动地插设于所述冷井壳体的内侧壁中，所述驱动管轴的第二端传动连接于所述驱动电机，所述驱动管轴的第一端传动连接于所述从动管轴。3.根据权利要求2所述的可变叶片冷井装置，其特征在于，所述驱动管轴和所述从动管轴沿所述冷井壳体的径向方向并排设置。4.根据权利要求2所述的可变叶片冷井装置，其特征在于，所述冷井壳体的相对两侧的侧壁中分别形成进水腔和排水腔，所述驱动管轴、所述从动管轴的第一端伸至所述进水腔中，所述驱动管轴、所述从动管轴的第二端伸至所述排水腔中，所述驱动管轴、所述从动管轴的第一端分别形成有连通所述进水腔的进水孔，所述驱动管轴、所述从动管轴的第二端分别形成有连通所述排水腔的排水孔，所述冷井壳体的外侧壁上形成连通于所述进水腔的进水口以及连通于所述排水腔的出水口。5.根据权利要求4所述的可变叶片冷井装置，其特征在于，所述驱动管轴的第一端同轴连接有驱动齿轮，所述从动管轴的第一端同轴连接有从动齿轮，所述驱动齿轮与所述从动齿轮之间啮合有传动齿轮。6.根据权利要求4所述的可变叶片冷井装置，其特征在于，所述驱动电机的输出端伸至所述排水腔中并同轴连接于所述驱动管轴的第二端。7.一种如权利要求1～6中的任意一项所述的可变叶片冷井装置的抽真空方法，其特征在于，包括以下步骤：开启油扩散泵，使得真空炉中的气体经由冷井壳体的冷凝空腔排出；监控设备的真空传感器获取所述冷凝空腔内的气压值、生成携带所述气压值的第一信号并对外发送；监控设备的控制器接收所述第一信号，并根据所述气压值的大小控制所述驱动电机转动所述管轴组件，使得所述叶片组件遮挡相应的所述油扩散泵的吸气口的面积。8.根据权利要求7所述的抽真空方法，其特征在于，所述根据所述气压值判断所述油扩散泵的抽真空阶段，所述控制器根据不同的抽真空阶段控制所述驱动电机转动所述管轴组件的步骤包括：当所述气压值处于10-2pa至10pa范围内时，所述控制器启动所述驱动电机，所述驱动电机驱动所述管轴组件转动，所述叶片组件与所述冷井壳体的内侧壁呈60°角度设置，使得所2CN109141010A权利要求书2/2页述吸气口的开启度达到30％；当所述气压处于10-3pa至10-2pa范围内时，所述控制器启动所述驱动电机，所述驱动电机驱动所述管轴组件转动，所述叶片组件与所述冷井壳体的内侧壁呈30°角度设置，使得所述吸气口的开启度达到60％；当