一种气相沉积炉.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN109306473A(43)申请公布日2019.02.05(21)申请号201811427008.0(22)申请日2018.11.27(71)申请人湖南顶立科技有限公司地址410005湖南省长沙市长沙经济技术开发区星沙产业基地开元东路1318号综合楼606室(72)发明人戴煜胡祥龙周岳兵(74)专利代理机构北京集佳知识产权代理有限公司11227代理人罗满(51)Int.Cl.C23C16/52(2006.01)权利要求书1页说明书4页附图1页(54)发明名称一种气相沉积炉(57)摘要本发明公开了一种气相沉积炉，包括壳体，所述壳体内腔设置有底部开口的保温室，所述保温室的底部开口处设置有密封板且所述密封板与所述保温室完全分离，所述密封板上贯穿设置有导力杆且所述导力杆与所述密封板固定连接，所述导力杆上段一直延伸至所述保温室内腔且所述导力杆顶部设置有用于工件承载的料板，所述导力杆下段贯穿所述壳体底板且所述导力杆与所述壳体完全分离，所述导力杆底部一直延伸至所述壳体外部且所述导力杆底部设置有重量传感器。本发明提供的该气相沉积炉通过其结构设计，能在线监测正在进行气相沉积的工件的重量变化，有效提高工件的处理质量。CN109306473ACN109306473A权利要求书1/1页1.一种气相沉积炉，其特征在于，包括壳体，所述壳体内腔设置有底部开口的保温室，所述保温室的底部开口处设置有密封板且所述密封板与所述保温室完全分离，所述密封板上贯穿设置有导力杆且所述导力杆与所述密封板固定连接，所述导力杆上段一直延伸至所述保温室内腔且所述导力杆顶部设置有用于工件承载的料板，所述导力杆下段贯穿所述壳体底板且所述导力杆与所述壳体完全分离，所述导力杆底部一直延伸至所述壳体外部且所述导力杆底部设置有重量传感器。2.根据权利要求1所述的气相沉积炉，其特征在于，所述料板的前后左右四个角均设置有导力杆。3.根据权利要求1所述的气相沉积炉，其特征在于，所述导力杆下段套设有波纹管，所述波纹管顶面压紧在所述壳体底板的下表面上，所述波纹管底面压紧在所述重量传感器上。4.根据权利要求1所述的气相沉积炉，其特征在于，所述密封板与所述保温室之间设置有相互匹配的阶梯面。5.根据权利要求1所述的气相沉积炉，其特征在于，所述料板上设置有均匀密布的透气孔。6.根据权利要求1所述的气相沉积炉，其特征在于，所述壳体上设置有用于所述壳体内腔气压监测的压力传感器。7.根据权利要求6所述的气相沉积炉，其特征在于，所述壳体外部设置有控制器，所述压力传感器及所述重量传感器均与所述控制器相连接。8.根据权利要求1所述的气相沉积炉，其特征在于，所述保温室底面与所述壳体底板的上表面之间设置有环形挡板，且所述密封板被所述环形挡板所包围。9.根据权利要求1所述的气相沉积炉，其特征在于，所述密封板上插设有用于所述保温室内气相沉积所需反应气体输入的进气管，所述保温室顶板上插设有用于所述保温室气相沉积反应后气体输出的出气管。2CN109306473A说明书1/4页一种气相沉积炉技术领域[0001]本发明涉及化工设备领域，更具体地说，特别涉及一种气相沉积炉。背景技术[0002]化学气相沉积技术是应用气态物质在固体表面发生化学反应并产生固态沉积物的一种工艺，它大致包含三步：(1)形成挥发性物质；(2)把上述物质转移至沉积区域；(3)在固体上产生化学反应并产生固态物质。[0003]化学气相沉积法是生产碳碳、碳化硅、氮化硼等复合材料的常用方法，在沉积工艺的进行过程中，产品重量会逐渐增加，但由于目前气相沉积炉结构设计的局限性，现有气相沉积炉都不能在线监测正在进行气相沉积的工件的重量变化，只能是工艺完成后再取出工件进行称量，如此，在气相沉积工艺过程中，操作者无法根据工件的具体沉积状态调整设备的工艺参数及沉积时间，极大影响了工件的处理质量。发明内容[0004]本发明要解决的技术问题为提供一种气相沉积炉，该气相沉积炉通过其结构设计，能在线监测正在进行气相沉积的工件的重量变化，有效提高工件的处理质量。[0005]一种气相沉积炉，包括壳体，所述壳体内腔设置有底部开口的保温室，所述保温室的底部开口处设置有密封板且所述密封板与所述保温室完全分离，所述密封板上贯穿设置有导力杆且所述导力杆与所述密封板固定连接，所述导力杆上段一直延伸至所述保温室内腔且所述导力杆顶部设置有用于工件承载的料板，所述导力杆下段贯穿所述壳体底板且所述导力杆与所述壳体完全分离，所述导力杆底部一直延伸至所述壳体外部且所述导力杆底部设置有重量传感器。[0006]优选地，所述料板的前后左右四个角均设置有导力杆。[0007]优选地，所述导力杆下段套设有波纹管，所述波纹管顶面压紧在所述壳体底板的下表面上，所述